【課題】
テレセントリック光学系と明視野照明と暗視野照明を備え、低重心で小型化された撮像装置を提供する。
【解決手段】
正面（１１）及び背面（１２）を扁平面とする扁平形状に形成されたケーシング（１３）の正面側に前群レンズ（６）を配したアパーチャ（１４）が形成され、ケーシング内で背面側に向けて取り付けられた撮像素子（２）の撮像光軸（Ｘ_Ｃ）が、直角に屈曲されて背面に沿ってテレセントリック光学系（３）の絞り（５）を透過した後、アパーチャの中心軸に沿って正面側に向かって直角に屈曲され、アパーチャの周囲に発光素子を環状に配した暗視野照明ユニット（８）と、撮像光軸から分岐された照明光軸（Ｘ_Ｂ）上で絞りと対応する位置から前群レンズの開口角と略等しい角度で照明光を拡散させる光源装置（２１）を備えた明視野照明ユニット（７）を備えた。 （もっと読む）

【課題】最適な検鏡法を容易に判別する技術を提供する。
【解決手段】拡大観察装置１００は、複数の検鏡法を切り換える切換順序を決定し（Ｓ１０１）、決定された切換順序に従って複数の検鏡法を切り換える（Ｓ１０２）。さらに、各検鏡法への切換後に試料の画像を生成し（Ｓ１０３）、画像が生成される毎に、生成された画像を表示する（Ｓ１０５）。 （もっと読む）

【課題】パターン段差の小さいウエハなど、明視野観察では十分なコントラストが得られない試料に対してコントラストの高い画像の観察又は撮像を可能にする。
【解決手段】撮像に用いる対物レンズを通して試料を照明し、撮像光学系に開口フィルタを設けて、明視野観察成分の光を大幅に減衰させて撮像する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の状態によらず、高い検出感度を得るための調整が容易であり、検出感度の劣化要因となる照明光の発生を防ぐことが可能な照明装置、および光学装置を提供すること。
【解決手段】一定の領域１を照明するように構成され、光源として複数のＬＥＤを有し、その複数のＬＥＤと一定の領域１との間に、互いに異なる偏光方向１５、２５、３５をそれぞれ有する複数の偏光子１２、２２、３２を有し、複数のＬＥＤは、それぞれ数個〜十数個のＬＥＤからなる複数のＬＥＤ群１０、２０、３０に分割して駆動することができるように構成され、各ＬＥＤ群の出射光はそれぞれ１つの偏光子のみを通過するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】明視野照明と暗視野照明の切り換えるための構成が簡単な顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】明視野観察時には結像光路２０ａの対物レンズ２１を介し、暗視野観察時には暗視野光路２０ｂを介して標本３１に照明光を照射するように構成された顕微鏡装置１００は、光源５１と、この光源５１からの照明光を標本３１に照射する照明光学系５０と、を有する。そして、照明光学系５０は、入射端２０１ａが光源５１に向かって照明光学系５０の光軸を囲むように輪帯状に配置され、射出端２０１ｂが暗視野光路２０ｂに照明光を導くように配置された複数の光ファイバ２０１からなる輪帯光束生成部材２００と、この輪帯光束生成部材２００の入射端２０１ａの光源側に挿脱自在に配置され、光源５１からの光を入射端２０１ａに導く光路切替ユニット２０２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】結果の研究およびコンピュータ解析のために、対象物を染色し、対象物を準備する方法を提供することにある。
【解決手段】・対象物を非蛍光体により染色し、
・生成プロセスで、前記非蛍光体の分子を、励起されると蛍光することのできる分子に修正し、
・励起プロセスで、前記修正された分子を励起し、これにより蛍光させ、
・記録プロセスで、
−前記染色された対象物をフレームごとに検出装置によって光学的にキャプチャし、
−前記フレーム中に蛍光する分子を少なくとも１つの検出装置によって、回折に依存する大きさを有するスポットとして記録し、
−前記記録されたフレームを記憶媒体に記憶し、
・前記生成プロセス、前記励起プロセス、および前記記録プロセスを周期的に繰り返すナノスコピー方法。 （もっと読む）

【課題】暗視野照明及び明視野照明による画像を独立かつ同時に取得することにより、検査時間を短縮して、作業効率を向上させる。
【解決手段】対物レンズ４１は、試料１２からの光を集光する光学系４１ａを保持する内筒４１ｂと、内筒４１ｂの外壁を囲繞し且つ同心に設けられた鏡筒４１ｃとを備える。照明光学系２０は、偏光子２５とリング状の１／２波長板２７とを含む。検出光学系４０は、一方が偏光子２５と平行ニコル条件を満足し、他方が偏光子２５と直交ニコル条件を満足する第１及び第２の検光子４３，４４を有する。撮像装置として、試料１２からの光を対物レンズ４１及び第１の検光子４３を介して撮像する第１の撮像素子５１と、暗視野照明による試料１２からの光を対物レンズ４１及び第２の検光子４４を介して撮像する第２の撮像素子５２とを有する。 （もっと読む）

【課題】プレパラート内に空気が含まれる場合でも、当該空気の領域以外の領域を、合焦処理等の対象となる領域として判定することができる顕微鏡、領域判定方法、プログラムを提供すること。
【解決手段】本発明に係る顕微鏡は、スライドガラスとカバーガラスとの間に封入剤を用いて試料が封入されたプレパラートに暗視野照明を照射する暗視野照明系と、前記暗視野照明が照射された前記プレパラートの暗視野画像を撮像する撮像部と、前記撮像された暗視野画像をもとに、前記スライドガラス及び前記カバーガラスの間に含まれる空気と前記封入剤との境界を検出し、前記空気の領域以外の領域を前記試料に対する関心領域として判定する領域判定部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】連続的な光シートを用いるＳＰＩＭ顕微鏡を提供する。
【解決手段】ｙ方向の照明光源４とｚ方向検出光カメラ１６とを有するＳＰＩＭ顕微鏡（選択的面結像顕微鏡）が開示される。ｘスキャナ１２は、ｘ方向に照明光線を走査することによって、連続的な光シート１を生成する。照明光線の光線経路内に設置されたズーム光学系１３を有する照明光学系によって、照明光線の焦点距離を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】 観察中の物体の像を最良の状態で観察するために適した照明光の強度分布を導き出して形成する顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】 被検体（６０）を観察する光学式の顕微鏡システム（１００）は、被検体の透過光又は反射光を結像する結像光学系（７０）と、照明光を被検体に照射する照明光源（３０）と、結像光学系の瞳の共役位置における照明光の強度分布を可変する第１空間光変調素子（９０）を有し、照明光源からの光を被検体に照射する照明光学系（４０）と、結像光学系を介した光を検出するイメージセンサ（８０）と、イメージセンサで検出される出力データと第１空間光変調素子で形成される照明光の強度分布とに基づき、被検体の観察に適した照明光の強度分布を計算するための計算部（２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡照明システム、顕微鏡および傾斜入射照明方法の提供。
【解決手段】光源２と、光軸１６を中心にして延びる照明ビーム経路１５’を生成するための開口部９を有する開口装置と、を含む顕微鏡照明システム１であって、このシステムでは、光軸１６から偏心して延びる照明ビーム経路１５を、開口部９を変位することによって傾斜入射照明用に生成可能である。開口装置には、回転軸１１を中心に回転可能であり、かつ異なるサイズの複数の開口部９が円周方向に形成される開口ホイール８が含まれ、前記開口部のそれぞれは、開口ホイール８を回転させることによって、光軸１６を中心として、または光軸１６の回りの所定領域内で光軸１６から偏心して配置することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置決め用の印と濃淡パターンの両方を良好に観察する。
【解決手段】照明装置１１７の光源から発せられた照明光は、集光レンズ１１８を透過し、ハーフミラー１２０により反射され、ダイクロイックミラー１１５を透過し、対物レンズ１１６の瞳において結像された後、対物レンズ１１６を介して太陽電池パネル１０２に照射される。太陽電池パネル１０２からの反射光は、対物レンズ１１６、ダイクロイックミラー１１５、ハーフミラー１２０を透過し、結像レンズ１２１により結像される。遮光体１１９は、照明光の波長をλ、太陽電池パネル１０２のアライメントマークの線幅をｗとした場合、対物レンズ１１６の略２λ／ｗ未満の開口数の範囲内に入射する照明光を遮断する。本発明は、例えば、レーザ加工装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】位相差光学系を用いたデフォーカス量検出処理において、デフォーカス量の検出可能範囲内に観察対象をより高速に配置することが可能な顕微鏡制御装置及び処理範囲決定方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る顕微鏡制御装置は、サンプルの拡大像を撮像する顕微鏡のステージ又は鏡筒の少なくとも何れかを駆動制御して、サンプルの焦点位置を調整する駆動制御部と、複数の焦点位置で顕微鏡により撮像されたサンプルの複数の位相差像のそれぞれについて、当該位相差像内の局所的な領域での合焦度の評価値を算出する評価値算出部と、算出された合焦度の評価値に基づき、位相差像を利用してサンプルのデフォーカス量を検出するデフォーカス量検出処理の処理範囲を決定する処理範囲決定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位相差光学系を用いたデフォーカス検出処理において、ディストーション補正処理に要する演算負荷を抑制することが可能な顕微鏡制御装置及び光学的歪み補正方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る顕微鏡制御装置は、顕微鏡により撮像されたサンプルの一組の位相差像に基づいて生成された、当該位相差像間の位相差に関する位相差情報を、前記顕微鏡に固有な光学的歪みに起因する位相差のオフセット情報に基づいて補正するオフセット処理部と、オフセット補正後の前記位相差情報に基づいて、前記サンプルのデフォーカス量を算出するデフォーカス量算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】デフォーカス量の推定誤差を抑制するとともに、デフォーカス量演算処理に要する負荷を抑制することが可能な顕微鏡制御装置及び領域判定方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る顕微鏡制御装置は、顕微鏡により撮像されたサンプルの一組の位相差像の一方について、当該位相差像の一方を構成する局所的な領域毎に、前記サンプルの有無を評価するための評価値を算出する評価値算出部と、算出された評価値に基づいて、前記位相差像の一方において前記サンプルが撮像されている領域を判定する領域判定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】照明が単一の方向だけから捕らえられる場合に起こる可能性がある反射された強度変化の結果としての基体表面の態様の不正確なまたは不完全な特徴付けを克服する。
【解決手段】基板１２の表面から複数の方向において反射される照明を同時に捕らえるように構成される。一組の照明器５２ａ５２ｂと、表面を離れて反射された照明の少なくとも２つのビームを同時に捕らえるように構成される画像捕獲装置である３Ｄ輪郭カメラ５６とを含む。画像捕獲装置によって同時に捕らえられる照明の少なくとも２つのビームは、反射されたそれらの移動通路間で異なる角度の分離を有する。一連の照明器は、表面に入射する細線照明の一以上のビームを供給するために配置され、構成される一組の細線照明器を含むことができる。例えば、細線照明の２つのビームは、表面の垂直軸に異なる入射角で表面に導くことができる。 （もっと読む）

【課題】高開口数、長作動距離のレンズ系に対しても、光量ロスを低減して有効なエピダーク照明を供給することが可能な構成の落射暗視野照明用対物レンズ、及びこれを備えた顕微鏡を提供する。
【解決手段】落射照明装置から供給されるリング状の光束を集光させて標本１６を照明する略中空円筒状の光学部材４０と、この光学部材４０に同軸的に包囲されて標本１６からの反射光を結像するレンズ系３１とを備えて構成される対物レンズ３０であって、光学部材４０は、落射照明装置から供給される光束を拡径させてレンズ系３１の略光軸方向へ偏向させる光偏向部４１と、光偏向部４１により偏向された光束を略光軸方向に沿って導く導光部４５と、導光部４５により導かれた光束を標本１６に集光させる集光部４８とが一体的に繋がって構成される。 （もっと読む）

【課題】サムネイル画像から高倍率画像を取得する領域を正確に認識することが可能な、顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明の顕微鏡は、スライドガラス上に載置されたサンプルをカバーガラスおよび封入剤で覆ってなるプレパラートを照明する暗視野照明および明視野照明と、暗視野照明により照射されたプレパラートを撮像して暗視野画像を取得し、明視野照明により照射されたプレパラートを撮像して明視野画像を取得する撮像部と、撮像部により取得された暗視野画像および明視野画像に基づいて、プレパラートにおけるカバーガラスのエッジを検出し、検出されたカバーガラスのエッジの内部領域を、サンプルの拡大部位像取得領域として決定する拡大部位像取得領域決定部と、を備える。 （もっと読む）