【課題】光エネルギーを効率的に利用可能な新たな集光手段を提供する。
【解決手段】本発明を例示する態様の集光光学素子１０は、光透過性を有するＡ部材１１とＡ部材中に分散された光透過性を有する粒子状のＢ部材１２とを有して構成される。Ｂ部材の粒子径は入射光の波長をλとしたときに０．１λ〜１０λである。そして、Ａ部材１１における、電界振幅がｘ軸方向に沿った光の屈折率をｎ_ax、電界振幅がｙ軸方向に沿った光の屈折率をｎ_ayとし、Ｂ部材１２における、電界振幅がｘ軸方向に沿った光の屈折率をｎ_bx、電界振幅がｙ軸方向に沿った光の屈折率をｎ_byとしたときに、ｎ_axとｎ_bxとが異なり、ｎ_ayとｎ_byとが実質的に等しくなるように集光光学素子１０が構成される。 （もっと読む）

【課題】 照明光学系に用いられて瞳強度分布を被照射面上の位置毎に調整することのできる調整ユニット。
【解決手段】 調整ユニット（１０）は、光源（１）からの光により被照射面（Ｍ）を照明する照明光学系（２〜１１）に用いられて、照明光学系の照明瞳に形成される瞳強度分布を調整する。調整ユニットは、被照射面と光学的に共役な共役位置に隣接する位置に配置されて、光束の入射位置に応じた角度分布を該光束に付与して射出する角度分布付与素子を備えている。角度分布付与素子は、瞳強度分布を被照射面上の位置毎に調整するために所定の軸線（ＡＸ）廻りに回転可能である。 （もっと読む）

【課題】 第２の光源の光を、第1の光源からの光が存在しない領域に導入し、第1の光源からの光と合成する光照射装置において、第１の光源から出射した光の量を減らさないように、第２の光源からの光を合成すること。
【解決手段】 第１の光源からの光をインテグレータの方向に反射する平面ミラーの、第１の光源からの光が照射される領域に囲まれた放射強度の弱い領域に貫通孔を形成し、この貫通孔から第２の光源からの光を導入する。第２の光源は、例えばレーザダイオードであり、レーザダイオードからの光はファイバを用いて平面ミラーの裏面側から貫通孔を介して導入する。 （もっと読む）

【課題】 非対称補完型双極子素子を備えた光リソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】 集積回路の形成中に光フォトリソグラフィを最適化するための装置、該装置を設計する方法、該装置を用いるツール、及び、該装置の使用法を提供する。本装置は非対称補完型双極子素子を備え、該非対称補完型双極子素子は、第１の軸に関して等距離且つ鏡像関係にあり、本質的に同一の第１の面積及び選択された光の波長に対する本質的に同一の第１の光学密度を有する、第１の開口部及び第２の開口部と、第２の軸に関して等距離且つ鏡像関係にあり、本質的に同一の第２の面積及び選択された光の波長に対する本質的に同一の第２の光学密度を有する、第３の開口部及び第４の開口部とを備え、ここで、第１の軸は第２の軸に対して垂直であり、第１の光学密度は第２の光学密度とは異なる。 （もっと読む）