【課題】第１に、マスクパターンのエッジ付近で生じる回折像の波形パターンのスイングを抑制し、露光対象基板上に形成されるパターンのエッジ形成位置のばらつきを低減することができ、第２に、マスクパターンのエッジ付近における回折像の波形パターンのスロープを急峻化することで、パターン線幅のばらつきを抑えることができるアライナ装置を提供する。
【解決手段】斜入射光学系４０を駆動させて、少なくとも入射角度±θの２つの照明光で露光対象基板２を露光し、照明光の入射角度±θに応じて露光対象基板２上で略平行にシフトする２つの回折像を重複させ、これら回折像の回折によるスイングを抑制する構成としてある。また、偏光変換光学系２０により、照明光の偏光方向を、マスクパターン１Ａのエッジ１ａと平行な方向に揃えて、露光対象基板２上に形成される回折像の回折によるスロープを急峻化する構成としてある。 （もっと読む）

【課題】 発光ダイオードや固体発光素子を用いた光源装置と、該光源装置を用いることにより輝度の高い投影画像を投影可能なプロジェクタとを提供する。
【解決手段】 光源装置と、導光装置と、表示素子と、投影側光学系と、プロジェクタ制御手段とを備えるプロジェクタにおいて、光源装置は、電気エネルギを励起光に変換する第一光源153としての青色発光ダイオード161Bと、該第一光源153からの射出光を受けて第一光源153からの射出光とは異なる分光分布の光を発光する第二光源154としての平板状に形成された蛍光物質169とを有し、第一光源153の発光領域の面積が第二光源154の発光領域の面積よりも広く形成されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】照明光源の形状の目標に対する一致度合が正確に評価する。
【解決手段】 目標Ψ_０に基づいて照明光学系の瞳面に形成された照明光源の形状Ψを計測し（ステップ２０８）、計測されるべき照明光源の形状を、照明光学系内の光学部材の特性を考慮して前記目標に基づいて予測し（ステップ２０５）、前記計測の結果〈Ψ〉と前記予測の結果Ψ_Ｉとのずれに基づいて、照明光源の形状の目標に対する一致度合を評価する（ステップ２０９、２１０）。これにより、照明光源の形状の目標に対する一致度合が正確に評価される。 （もっと読む）

【課題】照明光源の形状を必要な形状に容易に調整できるようにする。
【解決手段】光源調整方法は、照明光源の目標とする形状に対する実際の形状の変化を表す画像変調パラメータＺ_jを設定するステップ１０２と、照明系変調パラメータｆＢｊに基づいて照明光源の形状が調整される第１の照明光学系に関して、画像変調パラメータＺ_jと照明系変調パラメータｆＢｊとの変換の行列Ｂを求めるステップ１１３，１１４と、その行列Ｂを用いて、画像変調パラメータＺ_jの第１組の値ＺＶ_jに対応する照明系変調パラメータｆＢｊの第２組の値ｆＢＶｊを求めるステップ１１６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】光エネルギーを効率的に利用可能な新たな集光手段を提供する。
【解決手段】本発明を例示する態様の集光光学素子１０は、光透過性を有するＡ部材１１とＡ部材中に分散された光透過性を有する粒子状のＢ部材１２とを有して構成される。Ｂ部材の粒子径は入射光の波長をλとしたときに０．１λ〜１０λである。そして、Ａ部材１１における、電界振幅がｘ軸方向に沿った光の屈折率をｎ_ax、電界振幅がｙ軸方向に沿った光の屈折率をｎ_ayとし、Ｂ部材１２における、電界振幅がｘ軸方向に沿った光の屈折率をｎ_bx、電界振幅がｙ軸方向に沿った光の屈折率をｎ_byとしたときに、ｎ_axとｎ_bxとが異なり、ｎ_ayとｎ_byとが実質的に等しくなるように集光光学素子１０が構成される。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、集光形太陽電池のシステムにおいて複雑で高コストな不都合を回避するため、簡単に得ることができる反射鏡とその作成方法と太陽電池のシステムを提供することである。
【解決手段】反射鏡として、柔軟に曲がり弾性により復元力を有し、少なくとも一方の面に鏡面を有する平面板を、所望の曲面を有する曲面体の曲面に配置したものあり、その簡単な作成方法とこれを用いた太陽電池のシステムとしたものである。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンに対して用いられる有効光源の決定に有利な技術を提供する。
【解決手段】基板に形成すべき目標パターンに基づいて、前記照明光学系の瞳面に形成すべき光強度分布として、光強度が正の値となる正値部分と、光強度が負の値となる負値部分とを含む光強度分布を算出するステップと、前記算出された光強度分布に含まれる負の値の絶対値に定数ｔ（０＜ｔ≦１）を乗じた値で置換した置換部分とを含む光強度分布を仮決定するステップと、前記仮決定された光強度分布で照明したときに投影光学系の像面に形成される像を算出するステップと、前記算出された像が評価基準を満たすかどうかを判定するステップを有し、前記評価基準を満たすと判定された場合には前記仮決定された光強度分布を瞳面に形成すべき光強度分布として決定し、前記評価基準を満たさないと判定された場合には前記定数ｔを変更する。 （もっと読む）

【課題】固体発光素子が発光する射出光を、照明系を構成するライトガイドに効率よく入射させる小型で簡単な集光光学系を持った光源装置を可能にする。
【解決手段】正のパワーを持つ集光レンズ系と透明な円柱状反射部材と固体発光素子より構成される光源装置において、前記集光レンズ系は少なくとも、平面を有する平凸レンズを含み、前記平凸レンズは 固体発光素子の発光面の像が虚像になるように空気間隙を持って平凸レンズの平面側を固体発光素子の発光面に対面して配置し、円柱状反射部材を集光レンズの光軸と同じ軸をもって集光レンズの射出部側に配置した光源装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】特殊な光源を用いず、通常の超高圧水銀灯の放電管やレーザー光源を用いつつ、照明効率が良い照明光学系を提供する。
【解決手段】光源１８から導入した光を照射対象物に照射する照明光学系１０であって、照射対象物と共役な面１４に入射した光の一部を取得し、該取得した光を照射対象物と共役な面１４に再度導く循環光学系１７を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の光学要素からの光を用いる場合に、それらの光学要素からの光が後続の光学部材の表面の狭い領域に集光されにくくする。
【解決手段】光源７からの光を用いてレチクル面を照明する照明装置２であって、その光の光路に二次元的に配列される複数のミラー要素３と、複数のミラー要素３を駆動し、個別に光の偏向方向を制御する駆動部４と、複数のミラー要素３で偏向された光をフライアイレンズ１５の入射面２２Ｉに導くリレー光学系１４と、を備え、リレー光学系１４は、複数のミラー要素３における光の偏向方向が同一方向にそろったときに、その同一方向の光が入射面２２Ｉで１点に集光することを阻む。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低く抑えることができ、故障が発生した場合の復旧作業が容易であり、且つ、緊急時に内部を循環する熱媒体を速やかに回収することができるレシーバー２により、発電コストの抑制を実現した太陽光集光システムを提供することである。
【解決手段】レシーバー２を複数のモジュール２０の立体的な組合せで構成し、モジュールの少なくとも一部が台形状モジュール２０Ｂであり、台形状モジュールが、上方ヘッダー２１Ｂと、上方ヘッダーより短い下方ヘッダー２２Ｂと、２つのヘッダーを連結する複数の受熱管２３を有し、受熱管が、正面視Ｘにおいて上方から下方に向けて細くなるクサビ形となり、側面視Ｙにおいて、上方から下方に向けて太くなるクサビ形となるように、断面形状を逐次変更して構成する。 （もっと読む）

【課題】 投射レンズの光束の吸収及びレンズ鏡筒の壁面で遮光される光束を少なくし、投射レンズの光学性能の変動が少なく、良好なる画質の投射画像が得られる画像投射装置を得ること。
【解決手段】 画像表示素子と、光源手段から出射した光束で前記画像表示素子を照明する照明光学系と、ズーム機能を有し、前記画像表示素子からの光束を被投射面に投射する投射光学系と、該投射光学系を保持するレンズ鏡筒と、該投射光学系のズーム位置に基づいて、該投射光学系及び該レンズ鏡筒の少なくとも一方の温度を制御する温度制御手段と、を有すること。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、又は振動を発生することなく光学素子に対する光束の照射位置を変更できる光学装置を提供する。
【解決手段】露光光が照射されるレンズ３２を有する光学装置において、露光光と波長域の異なる非露光光ＬＢＡを発生する光源と、その光源で発生される非露光光ＬＢＡをレンズ３２の表面の一部に照射する照射ユニット４８Ａと、その光源とレンズ３２の表面との間に配置される音響光学変調素子５２Ａと、レンズ３２の表面に対する非露光光ＬＢＡの照射位置を変更するために音響光学変調素子５２Ａを駆動するＡＯＭ駆動系２７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光源からの光の利用効率の低減を抑制しつつ、効率よくシンチレーションを低減し、高画質な画像を表示することができる投写型表示装置を提供する。
【解決手段】投写型表示装置は、光源からの光を出射する集光光学系１と、入射された光を変調して画像光を出射する画像形成領域２ａを持つライトバルブ２と、集光光学系１からの光を画像形成領域２ａに導く照明光学系４と、画像形成領域２ａから出射された画像光を拡大投写する投写光学系３と、照明光学系４における画像形成領域２ａとの共役位置近傍に配置され、照明光学系４から入射する光に垂直な基準面に複数の微細光学素子が規則的に配列された構造を持つ拡散素子５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】光源の影を発生させずに対向照明が可能である、副走査位置で照度や照度分布が変化しない光利用効率の良い原稿照明装置、原稿照明方法及び画像読取装置を提供する。
【解決手段】光を照射するための固体光源と、固体光源から照射された光束の一部を透過させて、残りの光束を反射させて照明領域へ導くために透過領域と反射領域を有した第１の反射手段と、第１の反射手段を透過した光束を照明領域へ導くための少なくとも２以上の第２の反射手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 非対称補完型双極子素子を備えた光リソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】 集積回路の形成中に光フォトリソグラフィを最適化するための装置、該装置を設計する方法、該装置を用いるツール、及び、該装置の使用法を提供する。本装置は非対称補完型双極子素子を備え、該非対称補完型双極子素子は、第１の軸に関して等距離且つ鏡像関係にあり、本質的に同一の第１の面積及び選択された光の波長に対する本質的に同一の第１の光学密度を有する、第１の開口部及び第２の開口部と、第２の軸に関して等距離且つ鏡像関係にあり、本質的に同一の第２の面積及び選択された光の波長に対する本質的に同一の第２の光学密度を有する、第３の開口部及び第４の開口部とを備え、ここで、第１の軸は第２の軸に対して垂直であり、第１の光学密度は第２の光学密度とは異なる。 （もっと読む）

【課題】 被照射面を光量損失の少ない明るく効率良く照明することができる照明光学系を得ること。
【解決手段】 被照明面を照明する照明光学系であって、光源手段から出射した光束を収斂光として出射する、曲面反射面を含む第１光学手段と、該第１光学手段から出射した光束を集光する正レンズと、該正レンズから出射した光束の集光状態を変える負の屈折力の第２光学手段と、該第２光学手段から出射した光束を複数の光束に分割する光束分割手段と、該光束分割手段から出射した光束の偏光方向を揃えて出射する偏光変換素子と、該偏光変換手段から出射した光束を被照射面に導光する集光手段と、を有し、該第２光学手段は、該光源手段から出射した光束が該第１光学手段と該正レンズにより集光される集光点よりも光軸方向において該光源手段側に配置されていること。 （もっと読む）

【課題】均一照度を有するインコヒーレントな放射を生成するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】本システム及び方法は、コヒーレントなビームからインコヒーレントなビームを形成するのに用いられる。このシステムは、放射源及び反射ループシステムを備える。放射源は、コヒーレントなビームまたは部分コヒーレントなビームを生成する。反射ループシステムは、部分コヒーレントなビームを受光し１つのループまたは非重複の複数ループを通じて反射してインコヒーレントなビームを形成する。 （もっと読む）

【課題】 被照射面上の各点での瞳強度分布をそれぞれ所要の分布に調整することのできる照明光学系。
【解決手段】 光源（１）からの光で被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系（２〜１２）は、オプティカルインテグレータ（８）よりも後側の照明瞳に瞳強度分布を形成する分布形成光学系（３〜８）と、照明瞳を含む照明瞳空間に配置された補正ユニット（９）とを備えている。補正ユニットは、第１透過率分布を有する第１フィルタ（９１）と、その後側に配置されて第２透過率分布を有する第２フィルタ（９２）とを備えている。第１フィルタと第２フィルタとの相対位置は変更可能であり、第１フィルタと第２フィルタとの相対位置の変化および第１フィルタへの光の入射角度の変化に応じて第１フィルタおよび第２フィルタによる減光率が変化するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ヘリオスタットの状態は変化させずに得られる熱エネルギーの調整を図ることができる太陽光集光システムを提供する。
【解決手段】センタミラー１が上下方向に平行移動するため、センタミラー１からの反射光が一点に集光した状態から、センタミラー１を上下に平行移動させると、反射光の集光範囲が広がり、単位面積当たりで得られる熱エネルギーが低下する。従って、集光部の熱エネルギーが大きくなり過ぎる場合は、一部のヘリオスタット７の向きを変えるのではなく、センタミラー１を上下に平行移動させるだけで、その移動量に応じて、熱エネルギーが低下するため、熱エネルギーの調整が容易である。 （もっと読む）