【課題】絞り羽根を所定の位置にロックする部材の脱落を防止することができる手動絞り装置を提供する。
【解決手段】光軸上に開口部を有する絞りフォルダー２と、この絞りフォルダーに収容されて開口部２０の面積を可変とする２枚の羽根３１、３２からなる絞り羽根３と、絞り羽根３に連結される回動レバー５と、回動レバー５にねじ込まれて絞り羽根３の移動をロックするロック用つまみ部材６を有する手動用操作部材４とを備え、回動レバー５はロック用つまみ６の一端部がねじ込まれるめねじ部５３と、そのめねじ部を取り囲む一対の爪部５２ａ、５２ｂを有し、ロック用つまみ６は、操作部６１とめねじ部５３にねじ込まれるおねじ部６２からなり、おねじ部６２の手前にはねじ込み動作に伴って爪部５２ａ、５２ｂに当接して弾性変形させる拡径部６３が形成されている。 （もっと読む）

【課題】絞り機構を、光学絞り機構として利用した場合に、光源と照射位置との相対距離に応じた照射条件で光を照射し、照射位置に依存しない均一な光量を、連続的に照射する。
【解決手段】内側から外側へ遮蔽面積が増大する第１の絞り機構と、外側から内側へ遮蔽面積が増大する第２の絞り機構と、を備え、第１の絞り機構を、円の中心部に配置し、第２の絞り機構を、円の外縁部に配置して、第１の絞り機構と、第２の絞り機構との間に、リング状の開口部を形成し、第１の絞り機構と、第２の絞り機構とを、それぞれ独立に、又は連動させて操作し、第１の絞り機構と第２の絞り機構の開閉方向を任意に変化させて、リング状の開口部のリング直径と、リング状の開口部の開口面積と、を任意に変化させることにより、リング状の開口部を通過する光の位置と光の量とを任意に変化させる。 （もっと読む）

【課題】半導体リソグラフィ光学システムにおいて、狭い設置領域で使用可能であると共に、レンズを汚す粒子を生成しないシステム絞りを備えた光学結像装置を提供する。
【解決手段】光学結像装置（ＰＬ）は少なくとも１つのシステム絞り（１）を備え、該システム絞りは、球状に湾曲し回転可能に取り付けられた複数の可動薄板を備える。該可動薄板は、一体構成のソリッドステート関節動作継手部により、互いに接触することなく回転するように回転軸受中心軸に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】部品点数が少なく組み立てが容易で遮光羽根を良好に揺動でき、光軸方向に装置高さを低くできて、電気−機械変換素子の効率を向上させることができる光量制御装置を提供すること。
【解決手段】遮光羽根揺動手段３０により、ベースプレート１０に備えた遮光羽根２０を揺動させ遮光羽根２０で第１の開口１３を絞り通過光の光量を制御する。遮光羽根揺動手段３０は、ベースプレート１０に、軸線がベースプレート１０に沿った平面上で、遮光羽根２０の回転中心を曲率中心とする円弧状の駆動部材３１と、駆動部材３１を摩擦係合状態で円弧状に支持する摩擦係合部材３２と、駆動部材３１の端面に一端面を固着された電気−機械変換素子３３と、電気−機械変換素子３３の他端面に固着された被駆動ヘッド３４と、被駆動ヘッド３４と一体に設けられ遮光羽根２０に連結されている駆動ピン３５から構成されている。 （もっと読む）

【課題】略Ｕ字形のヨークを有する電磁アクチュエータが少なくとも１枚の羽根を往復作動させるカメラ用羽根駆動装置であって、装置の薄型化と、地板の小型化を図っても、設計の自由度が得られるようにしたカメラ用羽根駆動装置を提供すること。
【解決手段】地板１の羽根室とは反対側の面に、電磁アクチュエータが取り付けられ、略Ｕ字形のヨーク６に筒状に巻回されたコイル５が、逃げ孔１ｉに挿入され、地板１の羽根室側の面に近接して配置されるようになっている。逃げ孔１ｉの底部には、羽根室への貫通領域と非貫通領域とがあって、非貫通領域には、地板１の羽根室側の面からカバー板２側へ向けて所定の厚さを有する梁部１１ｊが形成されていて、そこにシャッタ羽根８のストッパ１ｓを設けるとともに、カバー板２側の面をカバー板２の受け面にしている。 （もっと読む）

【課題】外部からの衝撃による羽根の位置ずれが抑制された羽根駆動装置及び光学機器を提供する。
【解決手段】実施例１に係る羽根駆動装置１は、開口１２を有すると共に摺動溝１５を有する基板１０と、開口１２の開口量を調整する羽根２０と、摺動溝１５を介して電磁アクチュエータ６０からの動力を羽根２０へ伝達する伝達部材３０とを備え、伝達部材３０は、旋回する腕部材４０と、摺動溝１５内を移動すると共に伝達部材３０に外部からの衝撃によって摺動溝１５の内面に圧接する係合部材５０とを含む。 （もっと読む）

【課題】 開口精度をより向上できる光路絞り・開閉装置を提供する。
【解決手段】 光路絞り・開閉装置１は、アクチュエータによって回転駆動されるアーム２０と、アーム２０によってスライド駆動される、光路開口を絞るか開閉する羽根と、光路開口を有するベースと、を具備する。アーム２０には、羽根がベースから外れるのを防止する羽根押さえ部２４ｂを有するフック２４が形成されており、羽根押さえ部２４ｂが、アーム２０のボス部２２（回転軸）の略直角方向に突出しているとともに、羽根押さえ部２４ｂと対向するアーム２０のベース部２１の部分が抜き穴Ｃ２となっている。羽根の押さえ部を、羽根が係合するアーム２０の係合ピン２３ではなく、別物のフック２４に形成することにより、係合ピン２３の寸法精度を上げることができ、係合ピン２３の真円度が高くなる。 （もっと読む）

【課題】複数枚の絞り羽根を同時に同じ方向へ回転させて絞り開口の大きさを変化させるようにした絞りリングが、地板の羽根室側の面に形成された凹部内で、安定して往復回転できるようにしたカメラ用絞り装置を提供すること。
【解決手段】地板１の羽根室側の面に形成された凹部１ｂ内には、絞りリング３が配置されていて、ステップモータの回転子７の出力軸７ａに取り付けられた歯車８により、往復回転させられるようになっている。絞り羽根４，５，６は、各々の羽根軸４ａ，５ａ，６ａを、地板１の孔１ｊ，１ｋ，１ｍに回転可能に嵌合させ、連結ピン４ｂ，５ｂ，６ｂを、絞りリング３のカム溝３ａ，３ｂ，３ｃに嵌合させている。絞りリング３の外周部には、径方向に弾性を有するようにして弾性部３ｅ，３ｆ，３ｇが形成され、凹部１ｂの内周壁１ｃに常に接触しているので、如何なる場合でも、絞りリング３はがたつかない。 （もっと読む）

【課題】 ステッピングモータにおいて、通電を切った時に不安定となる停止位置で通電を切ると、コギングトルクによって、本来の停止位置より、小絞り方向へ１ステップ分ずれるか、開放方向へ１ステップ分ずれるかを特定できない。
結果的に本来の停止位置に対して±１ステップの誤差が生じるため、通電を切った場合には、絞り口径の精度が低くなるという問題点がある。
【解決手段】 遮光羽根の嵌合部を長穴形状で構成することで、１−２相励磁駆動の２相通電時、つまり不安定位置で通電をＯＦＦした時の遮光羽根のばらつき方向を特定する。 （もっと読む）

【課題】円滑な作動が行われ、作動音の発生も抑制されるとともに、低コストで製作することのできる絞り装置を提供すること。
【解決手段】地板１に立設されている一方の支軸１ｃには、リング状の二つの間隔規制部材３，４が回転可能に取り付けられ、他方の支軸１ｄには、リング状の二つの間隔規制部材６，７が回転可能に取り付けられている。絞り羽根７は、地板１の開口部１ａよりも大きな開口部７ａと、開口部１ａよりも小さな絞り開口部７ｂと、回転子１０の出力ピン１０ａを嵌合させている円形の孔７ｃと、長孔７ｄとを有していている。そして、この絞り羽根７は、幅方向の一端側に形成された長孔７ｄを、間隔規制部材３，４の間で支軸１ｃに嵌合させているが、他端側は間隔規制部材６，７の間に配置されているだけで、支軸１ｄには接触していない。 （もっと読む）

【課題】簡単な駆動機構により開口径を変化させることが可能な絞り機構を提供する。
【解決手段】絞り板１ａ、１ｂ、１ｃの周りにベアリング（図示を省略）で滑らかに回転するように支持された回転円板８が配置され、回転円板８面上には120°間隔でピン８ａ、８ｂ、８ｃが立てられている。回転円板８の回転中心は、前述の中心Ｏに一致している。直線運動軸受７ａ、７ｂ、７ｃの可動部から腕９ａ、９ｂ、９ｃが伸びており、それぞれ前記ピン８ａ、８ｂ、８ｃに接している。腕９ａ、９ｂ、９ｃとピン８ａ、８ｂ、８ｃの間は、バネ１０ａ、１０ｂ、１０ｃによる付勢力で離れないようにされている。回転円板８が回転すると、ピン８ａ、８ｂ、８ｃにより腕９ａ、９ｂ、９ｃが押し引きされて直線運動軸受７ａ、７ｂ、７ｃの可動部に取り付けられた絞り板１ａ、１ｂ、１ｃが同時に同量動く。これにより、正六角形の穴６の大きさが変化する。 （もっと読む）

【課題】光量調節羽根の寸法精度が高く、光学性能の劣化が少ない薄型の光量調節装置を提供する。
【解決手段】 光量調節装置１０５は、複数の光量調節羽根１〜７と、該複数の光量調節羽根を回動させて該複数の光量調節羽根により形成される光通過開口のサイズを変更する駆動機構８，９，１１とを有する。光量調節羽根１〜７は、回動中心部１ｃ〜７ｃ及び駆動機構からの駆動力を受ける被駆動部１ｄ〜７ｄが形成された基部１ａ〜７ａと、他の光量調節羽根と光通過方向において重なって光通過開口を形成する羽根部１ｂ〜７ｂとを有する。羽根部の肉厚ｔ２は、基部の肉厚ｔ１よりも薄い。 （もっと読む）

【課題】組付け作業性が向上したカメラ用羽根駆動装置を提供する。
【解決手段】カメラ用駆動装置１は、開口１５を有する基板１０と、開口１５を開閉自在に支持された羽根２０ａ〜２０ｃと、基板１０に対し回動自在に支持されるとともに駆動源から供給された駆動力を羽根へ伝達する駆動リング３０とを備え、駆動リング３０の一部と摺接して駆動リング３０を支持する主要支持部１３と、組み付け作業中に主要支持部１３からの支持が外れて駆動リング３０が傾くことを抑制する突出部３１ａ〜３１ｃ及び補助支持部１１ａ〜１１ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】相対的に往復作動して絞り開口の大きさを変化させる２枚の絞り羽根を、面接触させず且つ好適に作動させ得るようにした絞り装置を提供すること。
【解決手段】駆動レバー３，４は、開口部１ａを間にして、軸部材５，６によって地板１に回転可能に取り付けられ、それらの一方の腕部には折曲部３ｄ，４ａが形成されている。絞り羽根７は、絞り開口形成縁７ａを有していて、駆動レバー３，４の、折曲部３ｄ，４ａを形成していない方の腕部の先端に、連結軸９を介して回転可能に取り付けられ、絞り羽根８は、絞り開口形成縁８ａを有していて、駆動レバー３，４の、折曲部３ｄ，４ａを形成している方の腕部の先端に、連結軸９を介して回転可能に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】 耐久性や応答性等を考慮した、より適切な動作が実現可能な高分子アクチュエータ装置を提案する。
【解決手段】 高分子アクチュエータ１００は、イオン交換樹脂等からなる基材１０１の表面に、対向電極１０２、１０３を含んで構成される。駆動電圧源２０２からの出力は、電極パッド２０１を介して電極１０２、１０３に印加される。ここで、左側の電極１０２に負電圧、右側の電極１０３に正電圧を印加すると、印加電圧により発生する電界により、基材１０１内の陽イオンや極性分子は陰極側へ移動し、陰極側が陽極側に比べて膨潤し、基材１０１の先端は図中右側へ変形する。一方、右側の電極１０３に負電圧、左側の電極１０２に正電圧を印加すると、前述とは逆に作用し、基材１０１の先端は図中左側へ変形する。高分子アクチュエータ１００は、かかる特性を利用して駆動される。 （もっと読む）

【課題】取付作業の極めて簡単な帯状部材を設けることによって、羽根室内での２枚の羽根の衝突を防止できるようにしたカメラ用羽根駆動装置を提供すること。
【解決手段】主地板１に立設されている羽根軸１ｇ，１ｈに対し、駆動ピン４ｃによって相反する方向へ同時に往復回転させられる２枚のシャッタ羽根７，８が、回転可能に取り付けられている。また、２枚のシャッタ羽根７，８の間に配置されている直線状の帯状部材９は、その両端に形成された孔を、主地板１に立設された二つの取付軸１ｎ，１ｐに対して、それらの軸方向へ移動可能に取り付けられている。そのため、２枚のシャッタ羽根７，８が作動中に衝突することのないカメラ用羽根駆動装置を低コストで実現することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】複数の電磁アクチュエータが個別の羽根を駆動するようにしたカメラ用羽根駆動装置において、小型化，薄型化された構成を維持しつつ低コスト化を図ること。
【解決手段】合成樹脂製の枠部材７は、一体成形した二つのボビン部７ａ，７ｂにコイル８，９を巻回しており、合成樹脂製の地板１に立設されている取付軸１ｍ，１ｎ，１ｐ，１ｑに対して、熱カシメによって取り付けられている。二つの回転子５，６は、地板１に形成されている二つの回転軸１ｒ，１ｓに回転可能に取り付けられている。二つのヨーク１０，１１は、それらの一方の脚部１０ａ，１１ａを、ボビン部７ａ，７ｂの中空部に嵌合させ、枠部材７と共に上記の取付軸１ｑ，１ｐに取り付けられている。そして、回転子５と一体の駆動ピン５ｃは、羽根室内でシャッタ羽根４に連結されており、回転子６と一体の駆動ピン６ｃは、羽根室内で絞り羽根３に連結されている。 （もっと読む）

【課題】 投影レンズの入射側でオン状態光束とオフ状態光束や迷光束の各光束中心の距離間が小さくなると、迷光などがオン状態光に混入して投影画像のコントラストが低下する欠点があった。
【解決手段】 反射形表示素子を用いるプロジェクタ用の投影レンズであって、光軸方向に可動レンズ群の移動に合わせて移動可能な可動絞り70を備えた投影レンズとし、この可動絞り70の開口部75は投影レンズの光軸69を中心とした円形であって、開口部75の一部には、迷光束中心方向の周辺部から開口部75内に突出する膨出部73を有するプロジェクタ用投影レンズとするものである。 （もっと読む）

【課題】光量制御用開口部を有する光量制御羽根とシャッタ羽根とが、余り制約を受けずに、一つの羽根室内に配置できるようにしたカメラ用羽根駆動装置を提供すること。
【解決手段】羽根室内には、回転子９の出力ピン９ｃによって同時に相反する方向へ回転させられるシャッタ羽根５，６と、回転子１０の出力ピン１０ｃによって同時に相反する方向へ回転させられる絞り羽根７と補助羽根８が配置されている。また、それらは、地板１側から、絞り羽根７、シャッタ羽根６と補助羽根８、シャッタ羽根５、の順に配置されており、補助羽根８は、常に、シャッタ羽根５と絞り羽根７の間にあって、露光用開口部１ａに臨むことはない。そして、撮影に際して、シャッタ羽根５，６だけが作動させられるときには、補助羽根８が、絞り羽根７の光量制御用開口部７ａを覆っているので、シャッタ羽根５の先端部は、光量制御用開口部７ａの縁に衝突することがない。 （もっと読む）

【課題】一つの羽根室内に２枚のシャッタ羽根と、光量制御用開口部を有する光量制御羽根と、光量制御羽根の補助羽根を配置しているが、光量制御羽根と補助羽根を略同じ大きさにして、装置の小型化を可能にしたカメラ用羽根駆動装置を提供すること。
【解決手段】地板１と補助地板２の間に構成されている羽根室内に、地板１側から順にシャッタ羽根３，シャッタ羽根４，補助羽根５，絞り羽根６が配置されていて、夫々羽根軸１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇに回転可能に取り付けられており、シャッタ羽根３，４は駆動ピン７によって同時に相反する方向へ往復回転させられ、補助羽根５と絞り羽根６は駆動ピン８によって同時に同じ方向へ異なる速度で往復回転させられるようになっている。そのため、補助羽根５と絞り羽根６を略同じ大きさにしても、各羽根の作動中における傾きや停止時のバウンドによって、羽根同士の端縁が衝突するようなことはない。 （もっと読む）