【課題】半導体リソグラフィ光学システムにおいて、狭い設置領域で使用可能であると共に、レンズを汚す粒子を生成しないシステム絞りを備えた光学結像装置を提供する。
【解決手段】光学結像装置（ＰＬ）は少なくとも１つのシステム絞り（１）を備え、該システム絞りは、球状に湾曲し回転可能に取り付けられた複数の可動薄板を備える。該可動薄板は、一体構成のソリッドステート関節動作継手部により、互いに接触することなく回転するように回転軸受中心軸に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】撮像光学系における絞り機構を改善することにより、フレアやゴーストを防ぎ、ダイナミックレンジの範囲を拡大することを可能にした撮像装置を提供することにある。
【解決手段】少なくとも、撮像光学系２と、撮像光学系２により被写体の光学像を結像する撮像素子５とを備える撮像装置１において、撮像光学系２は、その結像光学系において少なくとも１つを反射ミラー４、７で構成するとともに、反射ミラーの１つが絞り機能６、７、８を有することを特徴とする撮像装置である。 （もっと読む）