【課題】計測精度を向上する。
【解決手段】形状測定装置は、光源からの光に照らされている被検物を撮像する撮像素子と、撮像素子の受光面（Ａ１７）と共役な共役面（Ａ０）を受光面と非平行になるように形成する結像光学系と、撮像素子による撮像の結果から光に照らされている部分の像の位置を検出することにより、被検物の形状に関する情報を取得する形状情報取得部と、を備える。結像光学系は、像を形成する光束が通る範囲において、受光面を含む面と共役面を含む面との交線に直交する直交面上の像面の略中心と物体面の略中心とを直線で結んだときの軸に関して断面形状が非対称であり、かつ交線から最も遠い部分と、交線から最も近い部分とについて、遠い部分から近い部分に向うにつれて直交面上の断面形状の寸法が縮小又は拡大するレンズ要素（５２、５３）を含むレンズ群（５０）を有する。 （もっと読む）

【課題】遠赤外線領域で良好な光学特性を有し、なおかつ低コストで実現可能な赤外線光学系及び赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】物体側より順に配された第１レンズ１０、第２レンズ１１、第３レンズ１２の３枚のレンズで構成し、第１レンズ１０と第３レンズ１２は無機材料からなる正のパワーをもつ球面レンズとし、第２レンズ１１は樹脂材料からなるメニスカス形状の両面非球面レンズとし、第１レンズ１０から前記第３レンズ１２の間に開口絞り１３を設ける。無機材料からなる第１,第３レンズについては球面レンズを用い、第２レンズに樹脂材料による非球面レンズ用いることによって、加工コストを抑えながら収差補正している。また、樹脂材料によれば、第２レンズの薄型化も容易であり、従って高透過率（対赤外光）の実現も容易である。 （もっと読む）

【課題】改善された検査装置、反射屈折対物系および屈折対物系を提供する。
【解決手段】検査装置５００は、第１ビーム５２２を受け、第１ビーム５２４をウェーハ５０８から反射するべく誘導するように構成された反射屈折対物系５０４と、反射したビームによって作り出された第１の像を検出する第１センサ５１０、第２ビーム５２４をウェーハ５０８から反射するべく誘導するように構成された屈折対物系５０６と、反射したビームによって作り出された第２の像を検出する第２センサ５１２を備える。検査装置５００は、ウェーハから反射されたビームによって作り出された第３の像を検出するように構成される第３センサ５１４も備えることができ、第１および第２の像は、ＣＤ測定に使用され、第３の像は、ＯＶ測定に使用され得る。第２ビームは、約２００ｎｍ〜約４２５ｎｍのスペクトル範囲を、第３ビームは約４２５ｎｍ〜約８５０ｎｍのスペクトル範囲を有する。 （もっと読む）

【課題】優れた桔像性能を有する被検レンズ用チャート投入光学系を提供する。
【解決手段】入射瞳が前方に大きく飛び出して全体として正の焦点距離を有する光学系において、その主要部にはいわゆるダブル・ガウス型の構造を持ち、そのダブル・ガウスの中間空間に、接合レンズまたは接合相当の分離レンズを配した。 （もっと読む）

【課題】外部ミラーと組み合わせることなく、レンズアレイ単体のみで、光路折り曲げが可能となり、安価で、生産性の良い、薄型高焦点深度のレンズアレイおよびこのレンズアレイを適用したイメージセンサモジュールを提供する。
【解決手段】
入射光Ｉ_iを入射する入射面１４ａと、入射光Ｉ_iを反射する反射面１６ａと、反射面１６ａにおいて反射された出射光Ｉ_oを出射する出射面１２ａとを有する導光体１０と、入射面１４ａに配置され、凸状曲面を有する複数の入射面凸レンズ１４と、出射面１２ａに配置され、凸状曲面を有する複数の出射面凸レンズ１２とを備え、入射面凸レンズ１４と出射面凸レンズ１２により、正立等倍像を結ぶと共に、第１反射面１６ａにおける反射により、入射方向と出射方向に所定の角度を持たせたレンズアレイ２およびこのレンズアレイを適用したイメージセンサモジュール４。 （もっと読む）

【課題】少ないレンズ枚数で構成し、特に、ズーミングによっても像面湾曲収差及び球面収差が大きくならない赤外線ズームレンズを提供すること。
【解決手段】正単レンズの第１レンズ、負単レンズの第２レンズ、正単レンズの第３レンズからなり、全レンズが球面レンズであり、ズーミングが、前記第１レンズが固定で、前記第２レンズ及び前記第３レンズが光軸上を移動することによって行われることを特徴とする赤外線ズームレンズ。 （もっと読む）

【課題】点光源とはみなせない光源を用いた場合でも、光学系の全長を小さく抑えながら、軸外光束が軸上光束に対して傾くのを抑える。
【解決手段】干渉計２に適用されるコリメータ光学系１１は、光出射面３１ａを有する光源３１と、平凹レンズ３２と、コリメータレンズ３３とを備えている。コリメータレンズ３３は、正の光学パワーを持ち、光源３１の光出射面３１ａの１点から射出される光束を平行光に変換する。平凹レンズ３２は、負の光学パワーを持ち、一方の面が平面３２ａで他方の面が凹面３２ｂからなる。平凹レンズ３２の倍率の絶対値は、１よりも小さい。また、平凹レンズ３２は、光源３１の光出射面３１ａに平面３２ａを密着させて、光源３１とコリメータレンズ３３との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】、十分な明るさすなわち開口数を確保した上で、１０μｍ前後の波長域においても色収差が残存せず、また、球面収差、コマ収差及び像面湾曲を十分に補正して、鮮明な結像をえることができる赤外線レンズを提供すること。
【解決手段】物体側から順に、正の第１レンズ群、負の第２レンズ群、正の第３レンズ群からなり、前記第２レンズ群の材料が第１レンズ群及び第３レンズ群の材料の分散より大きくなることを特徴とする赤外線レンズ。 （もっと読む）

【課題】赤外波長領域で用いられ、安価で装置の小型化が可能な光学ユニットおよび赤外線撮像センサを提供する。
【解決手段】レンズを含む複数の光学素子を有し、赤外波長領域の光を結像させる光学ユニット１において、物体側に配置され、赤外線を選択的に透過する物体側レンズ２と、結像側に配置され、赤外線を選択的に透過する結像側レンズ６と、物体側レンズ２を透過した赤外線の光路を屈曲させて該赤外線を結像側レンズ６に入射させる金属反射鏡３とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、分光素子からの出射角の非線形性に由来する検出波長と算出波長の間のずれを補償する技術を提供する。
【解決手段】分光検出装置１００は、光ＩＬを分光するための回折格子１と、回折格子１で分光された光（光Ｒ、光Ｇ、光Ｂ）を検出するための光検出器２と、回折格子１と光検出器２の間に置かれて、回折格子１で分光された光を波長毎に光検出器２に集光させる集光光学系３と、を含んで構成される。集光光学系３は、短波長側の倍率色収差が長波長側の倍率色収差よりも大きいという光学特性を有し、このような特性を有する倍率色収差により、回折格子１で発生した出射角の非線形性に由来する検出波長ずれを補償する。 （もっと読む）

【課題】フィゾーレンズにおいて、最大レンズ径を低減し、小型化、軽量化を図ることができるようにする。
【解決手段】レーザ光源６からのレーザ光Ｑ_３を、干渉の基準波面を形成する被検面反射光束Ｑ_５と、被検面５ａに向けて集光される測定光束Ｑ_４とに分割するフィゾー面４ｂを最外のレンズ面として備えるフィゾーレンズ１０であって、レーザ光Ｑ_３が入射する物体側から順に、凸面を物体側に向けた負メニスカスレンズと、正の屈折力を有し、最も像側に前記フィゾー面が配置された正レンズ群と、が配置された構成とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象のレンズ越し照明システムを提供しつつ、水銀ランプのような大型の光源をより安全な小型の光源に置き換える。
【解決手段】照明システム３８は、光学検査システムの対物系の一部を共有している。検査対象１４を照明するため、複数のビーム形成光学系４６が複数の有効光源４４からの光を集め、対物系を通過させる。対物系は、上記検査対象から散乱した光を集めこの集められた光で対象の像を形成するために、前側リレーレンズ２４と、後側リレーレンズと、前側リレーレンズと後側リレーレンズとの間に配置された対物系絞り２６とを有している。上記対物系絞りを囲む上記ビーム形成光学系は、上記検査対象を照明するために求められる角度範囲内で不均一な光を配給するために、関連する有効光源とともに配置されている。 （もっと読む）

【課題】ゲルマニウムレンズを使用する環境は、ゲルマニウムレンズ自身から輻射される赤外線量を低減するために、低温や極低温であることが好ましい。しかしながら、たとえば極低温状態での使用では、ゲルマニウムレンズと反射防止層との熱膨張率の相違や密着力不足のため、反射防止層にクラックや剥離が発生するという問題がある。反射防止層にクラックや剥離が発生すると、ゲルマニウムレンズに部分的な屈折率異常が発生する。
上述の問題に鑑み、反射防止層のクラックおよび剥離の発生を低減可能な、光学部品、その形成方法および赤外線検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
ゲルマニウム材料を含む光学部品を、フッ化水素酸と過酸化水素水との混合薬液で処理し、多孔質の反射防止層を形成することにより、光学部品と元々一体であり、クラックや剥離を低減可能な反射防止層を形成する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置のズームレンズ側で要求される合焦精度に対応した測距仕様を満たす測距装置を提供することを目的とする。
【解決手段】撮像装置によって撮像される被写体までの距離を三角測距の原理によって測定する測距装置であって、前記被写体までの距離の測距可能な最大遠距離が、前記撮像装置の過焦点距離の最大値の１／２以上とする測定手段を有する測距装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】解像力チャートとズームレンズとの距離を短く設定した上で、高精度の検査を行うことができるズームレンズの検査方法を得る。
【解決手段】被検体としてのズームレンズ２により解像力チャート１を結像させて該ズームレンズ２を検査するズームレンズの検査方法において、解像力チャート１と、広角端以外の状態に設定されたズームレンズ２との間に、１未満の角倍率を有するフロントコンバータ３を配置する。 （もっと読む）

【課題】真空紫外線領域で利用する分光器を提供する。
【解決手段】スリット４０、第１色消しレンズ２０、グリズム１０、第２色消しレンズ３０、検出器５０を備える分光器で、第１色消しレンズ２０と、グリズム１０と、第２色消しレンズ３０は、ＬｉＦ、ＭｇＦ２から選ばれて形成される。第１色消しレンズ２０は、第１屈折レンズ２１と複数のバイナリ型回折格子を有する第１回折レンズ２２とを有する。第２色消しレンズ３０は、第２屈折レンズ３２と複数のバイナリ型回折格子を有する第２回折レンズ３２とを有する。グリズム１０は、第１色消しレンズ２０と第２色消しレンズ３０との間に設置され、プリズム１１と、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子１２とを有する。第１回折レンズ２２のバイナリ型回折格子と、第２回折レンズ３２のバイナリ型回折格子と、グリズム１０の回折格子のバイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値は５ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】撮像装置の受光光学系において波長選択性とフレアの抑制という２機能を満足させながらも従来よりも小型化することを可能にした空間情報検出装置を提供する。
【解決手段】発光源から特定波長の光を空間に投光する。撮像装置は、受光光学系２２を通して前記空間を撮像する撮像素子２１を備える。処理装置は、発光源１０から投光した光と撮像装置２０により受光した光の受光量との関係を用いて前記空間の情報を検出する。受光光学系２２は、４枚のレンズ２３〜２６を備え、４枚のレンズ２３〜２６に形成された曲面から選択した２つの面に波長選択性を有する薄膜フィルタ２７，２８を備える。薄膜フィルタ２７，２８は選択する波長が異なっており、選択する波長の組み合わせにより特定波長を含む所定の通過帯域を持つ帯域通過フィルタが形成される。 （もっと読む）

【課題】多重解像度光学システムおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】多重解像度レンズシステム（１０）が、視野（ＦＯＶ）（１２）に向けられ、視野（１２）から発する第１の複数の画像光子を受け取るように構成されたリレーレンズ（２０）と、視野（１２）から第２の複数の画像光子を受け取り、第２の複数の画像光子をリレーレンズ（２０）に向けて送るように位置決めされた高解像度レンズ（２２）と、シャッタデバイス（３０）とを備え、シャッタデバイス（３０）が、シャッタデバイス（３０）の一領域にわたって、リレーレンズ（２０）を通過した視野（１２）からの画像光子を受け取り、それと同時に、シャッタデバイス（３０）の該領域の一部分で重ね合わせて、高解像度レンズ（２２）を通過してリレーレンズ（２０）に向かう視野（１２）の一部分からの画像光子を受け取るように位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】 小型でありながら、高い測距精度の測距装置を実現すること。
【解決手段】 互いの光軸が基線長を隔てて配置された一対の結像レンズ１０２，１０４と、一対の結像レンズ１０２，１０４に対応する一対の開口が設けられた絞り１０６と、一対の結像レンズ１０２，１０４により形成された像を受光して電気信号に変換するセンサ１０３，１０６とを有する測距装置１０１であって、一対の結像レンズ１０２，１０４をそれぞれ、１枚の非球面レンズで構成すると共に、各結像レンズのシェープファクター、及び各結像レンズの焦点距離と各開口の基線長方向の長さとの関係を適切に設定する。 （もっと読む）

【課題】倍率変動に伴う収差変動が小さく、高い光学性能を有する撮影レンズ及びこの撮影レンズを備えた検査装置を提供する。
【解決手段】物体側より順に、正屈折力の第１レンズ群Ｇ１と、正屈折力の第２レンズ群Ｇ２とを有する撮影レンズにおいて、第１レンズ群は、正屈折力の第１ａレンズ群Ｇ１ａ、絞りＳＰ、正屈折力の第１ｂレンズ群を有し、第１ａレンズ群は、物体側に凸面を向けた正レンズＬ１、物体側に凸を向けた正レンズＬ２、像側に強い凹面を向けた負レンズＬ３を有し、第１ｂレンズ群は、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ４、正レンズＬ５を有する。第２レンズ群は、両凹レンズＬ６、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ７を有する。無限遠物から近距離に焦点合わせをする際に、第１レンズ群と第２レンズ群との間隔が増大するように、第１レンズ群及び第２レンズ群が異なる移動量で物体側に移動し、適切に設定された条件を満足する。 （もっと読む）