【課題】長時間観察可能で、且つ、浸液の蒸発による光学性能の劣化を抑制することができる液浸対物レンズの技術を提供することを課題とする。
【解決手段】液浸対物レンズ１０は、最も標本１側に形成されて光軸ＡＸと直交する先端平面４と光軸ＡＸと平行な側面５とを有す。液浸対物レンズ１０は、先端平面４と側面５の間の部分である先端部６に凹部７を有す。浸液３は、先端平面４から凹部７よりも光軸ＡＸから離れた位置に形成される斜面８にまで及ぶ。即ち、凹部７内も浸液３で満たされる。 （もっと読む）

【課題】観察者の視力に応じて画像表示を行う、薄型の画像表示装置及びこれを備える光学機器を提供する。
【解決手段】表示状態と光透過状態とを切り替える第１，第２の表示素子１１，１３と、第２の表示素子１３より射出側に設けられ、少なくとも屈折力が略０の状態と正の屈折力を有する状態との２つの状態に調整可能な屈折力可変素子１２と、光源１４と、各表示素子の状態及び屈折力可変素子１２の屈折力の状態を制御する制御部１５とを有し、制御部１５は、屈折力可変素子１２の屈折力を略０の状態にし、第２の表示素子１３を光透過状態にして、光源１４から照射された光を第１の表示素子１１に導き、第１の表示素子１１により画像を表示させる第１の表示状態と、屈折力可変素子１２の屈折力を正の状態にし、第１の表示素子１１を光透過状態にして、第２の表示素子１３により表示された画像を拡大表示する第２の表示状態との間で切り替える。 （もっと読む）

【課題】合焦及び変倍が可能なアクチュエータレスのズーム光学系を提供する。
【解決手段】ズーム光学系ＯＳ１は、像面Ｆ側からこの順番で配された、第１群Ｇ１、第２群Ｇ２及び第３群Ｇ３を備える。第１群及び第３群Ｇ１，Ｇ３は、それぞれ、液晶レンズを含む。第２群Ｇ２の焦点距離をｆ_２としたときに、像面Ｆと第１群Ｇ１の主面との間の距離、第１群Ｇ１の主面と第２群Ｇ２の主面との間の距離、及び第２群Ｇ２の主面と第３群Ｇ３の主面との間の距離がそれぞれｆ_２と等しい。ズーム光学系ＯＳ１は、第１群Ｇ１の焦点距離と第３群Ｇ３の焦点距離との和がｆ_２と等しくなるように制御される。 （もっと読む）

【課題】長い物体距離や大きな開口数という高い光学性能を達成するとともに、全長の短いコンデンサレンズ、及び、このコンデンサレンズを有する顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡装置１０に用いられ、標本からの観察光を集光するコンデンサレンズＣＬは、観察光が集光されて出射する側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、から構成され、所定の条件を満足することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】照明光の指向性を変化させることができる照明装置及び照明装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】透明な複数の電極を備える第１基板と、透明な共通電極を備える第２基板との間に液晶層が配置されて成る液晶レンズを備える照明装置において、液晶レンズからの出射光の指向性を、液晶層に対する電圧の印加の仕方によって変化させることにより、照明光の指向性を変化させ、照明装置の照明性能の向上を図る。 （もっと読む）

【課題】反射屈折投影対物系、投影露光装置、及び半導体構成要素及び他の微細構造化構成要素を製造する方法を提供する。
【解決手段】物体平面の物体視野を像平面の像視野上に結像するためのマイクロリソグラフィのための反射屈折投影対物系は、物体視野を第１の実中間像上に結像する第１の部分対物系、第１の中間像を第２の実中間像上に結像する第２の部分対物系、及び第２の中間像を像視野上に結像する第３の部分対物系を含む。第２の部分対物系は、厳密に１つの凹ミラー及び少なくとも１つのレンズを有する反射屈折対物系である。第１の折り返しミラー及び第２の折り返しミラーが設けられる。第２の部分対物系のレンズの少なくとも１つの面は、０．２％よりも低い反射率を有する。代替的又は追加的に、第２の部分対物系のレンズの全ての面は、周縁光線同心からのずれが２０°よりも大きいか又はそれに等しいように構成される。 （もっと読む）

【課題】ＮＡ＞１の開口数で液浸リソグラフィを可能にする真空紫外（ＶＵＶ）領域で使用するのに適する反射屈折投影対物レンズを提供する。
【解決手段】物体面１０１上に設けられたパターンを像面１０２上に結像するための反射屈折投影対物レンズ１００であって、物体面上に設けられたパターンを第１中間像１０３に結像する第１対物レンズ部１１０、第１中間像を第２中間像１０４に結像する第２対物レンズ部１２０、及び第２中間像を像面上に結像する第３対物レンズ部１３０、を備え、第１連続鏡面を有する第１凹面鏡１２１と、第２連続鏡面を有する少なくとも１つの第２凹面鏡１２２とが、第２中間像の上流側に配置され、ひとみ面が、物体面と第１中間像との間、第１及び第２中間像の間、及び第２中間像と像面との間に形成され、すべての凹面鏡が、ひとみ面から光学的に離して配置される。 （もっと読む）

【課題】異なる視野点における結像収差の補正が容易なマイクロリソグラフィのための反射屈折投影対物系を提供すること。
【解決手段】反射屈折投影対物系は、物体面に配置された軸外物体視野を投影対物系の像面に配置された軸外像視野上に結像するように配置された複数の光学要素を含む。光学要素は、物体面から到来する放射線から第１の中間像を発生させ、かつ第１の瞳面を含む第１の屈折対物系部分と、第１の中間像を第２の中間像へと結像する少なくとも１つの凹面ミラーを含み、かつ第１の瞳面と光学的に共役な第２の瞳面を含む第２の対物系部分と、第２の中間像を像面上に結像し、かつ第１及び第２の瞳面と光学的に共役な第３の瞳面を含む第３の屈折対物系部分とを形成する。物体面と第１の瞳面の間に配置された光学要素は、第１の瞳面に光学的に近く配置された負のレンズ群を含むフーリエレンズ群を形成する。 （もっと読む）

【課題】４０５ｎｍから６５６ｎｍまでの波長域で収差補正された顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】液浸系顕微鏡対物レンズは物体側より正レンズ群Ｇａと正レンズ群Ｇｂとレンズ群Ｇｃとレンズ群Ｇｄとレンズ群Ｇｅから構成される。レンズ群Ｇａは物体側が平面の平凸レンズと物体側が凹面のメニスカスレンズの接合レンズと２つの正単レンズからなる。レンズ群Ｇｂは１つの３枚接合レンズからなる。レンズ群Ｇｃは１つ以上の接合レンズを含む。レンズ群Ｇｄは像側が強い凹面のメニスカス形状である。レンズ群Ｇｅは物体側が強い凹面の負レンズを含む。Ｈ１をレンズ群Ｇｂから射出するマージナル光線高、Ｈ２をレンズ群Ｇｄに入射するマージナル光線高、ｆを対物レンズの焦点距離、ｆ（Ｇｂ）をレンズ群Ｇｂの焦点距離とすると、次式を満足する。
０．５≦Ｈ２／Ｈ１≦０．７５
７．８≦ｆ（Ｇｂ）／ｆ≦ ２０ （もっと読む）

【課題】多様な特性を有する画像を同時に撮像する。
【解決手段】撮像装置は、結像レンズを含む撮像光学系であって、入射した光が通過する領域毎に異なる空間周波数特性を持つ撮像光学系と、受光素子を複数有する受光部と、複数の前記受光素子にそれぞれ対応して設けられ、前記結像レンズの射出瞳における予め定められた瞳領域を通過した被写体光を、対応する受光素子にそれぞれ受光させる複数の光学要素と、前記複数の受光素子の撮像信号から、被写体の画像を生成する画像生成部とを備え、前記複数の光学要素のうちの複数の第１光学要素は、前記結像レンズの第１の空間周波数特性を持つ領域および前記射出瞳における第１瞳領域を通過する被写体光を、対応する受光素子へ入射させ、前記複数の光学要素のうちの複数の第２光学要素は、前記結像レンズの第２の空間周波数特性を持つ領域および前記射出瞳における第２瞳領域を通過する被写体光を、対応する受光素子へ入射させる。 （もっと読む）

【課題】ＮＡ＞１の開口数で液浸リソグラフィが可能な非常に高い像側開口数を有する真空紫外（ＶＵＶ）領域で使用する反射屈折投影対物レンズの提供。
【解決手段】物体面１０１上のパターンを像面１０２上に結像するための反射屈折投影対物レンズであって、パターンを第１中間像１０３に結像する第１対物レンズ部１１０と、第１中間像を第２中間像１０４に結像する第２対物レンズ部１２０と、第２中間像を像面１０２上に結像する第３対物レンズ部２３０とを有し、第１連続鏡面を有する第１凹面鏡１２１と、第２連続鏡面を有する少なくとも１つの第２凹面鏡１２２とが、第２中間像１０４の上流側に配置され、瞳面が、物体面と第１中間像との間、第１及び第２中間像の間、及び第２中間像と像面との間に形成され、主光線高さがすべての凹面鏡１２１，１２２で光学的に離して配置される。 （もっと読む）

【課題】反射屈折投影対物系、投影露光装置、及び半導体構成要素及び他の微細構造化構成要素を製造する方法を提供する。
【解決手段】物体平面５の物体視野３を像平面９の像視野７上に結像するためのマイクロリソグラフィのための反射屈折投影対物系１は、物体視野を第１の実中間像１３上に結像する第１の部分対物系１１、第１の中間像を第２の実中間像１７上に結像する第２の部分対物系１５、及び第２の中間像を像視野上に結像する第３の部分対物系１９を含む。第２の部分対物系は、厳密に１つの凹ミラー２１及び少なくとも１つのレンズを有する反射屈折対物系である。第１の折り返しミラー２３及び第２の折り返しミラー２５が設けられる。第２の部分対物系のレンズの少なくとも１つの面は、０．２％よりも低い反射率を有する。第２の部分対物系のレンズの全ての面は、周縁光線同心からのずれが２０°よりも大きいか又はそれに等しいように構成される。 （もっと読む）

【課題】物体平面に配置されるパターンを像平面内に結像するマイクロリソグラフィ投影対物レンズにおいて迷光を抑制する。
【解決手段】物体平面に配置されるパターンを像平面内に結像するマイクロリソグラフィ投影対物レンズ１０が提供され、第１対物レンズ部１６と、第２対物レンズ部１８と、少なくとも一つの第３対物レンズ部２０とを備え、第２対物レンズ部１８は、第１対物レンズ部１０における光伝搬方向および第３対物レンズ部２０における光伝搬方向と異なる光伝搬方向を規定し、かつ第１対物レンズ部１０と第２対物レンズ部１８との間および第２対物レンズ部１８と第３対物レンズ部２０との間に少なくとも一つのビーム偏向装置２２をさらに備え、少なくとも一つのシールド２４が、第１対物レンズ部１６から第３対物レンズ部内２０への直接光漏れが少なくとも減少するようにしてビーム偏向装置２２の領域に配置される。 （もっと読む）

【課題】低電圧で導電性液体を駆動できるエレクトロウエッティング用疎水性誘電体フィルムを提供する。
【解決手段】光学素子１００は、第１基板１０１、第１電極１０２、エレクトロウエッティング用疎水性誘電体フィルム１０３、隔壁１０４、疎水性液体１０５、導電性液体１０６、第２電極１０７、第２基板１０８、および側壁１０９を有し、エレクトロウエッティング用疎水性誘電体フィルムはフッ化ビニリデン系重合体を含有する。 （もっと読む）

【課題】たとえば反射屈折型で且つ軸外視野型の液浸投影光学系において、像空間において液体（浸液）が介在する範囲を小さく抑える。
【解決手段】第１面の縮小像を液体を介して第２面に投影する投影光学系は、最も第２面側に配置された屈折光学素子Ｌｐを備えている。屈折光学素子の射出面Ｌｐｂは第２面上において直交する２つの軸線方向（Ｘ方向およびＹ方向）に関してほぼ対称な形状を有し、射出面の中心軸線Ｌｐｂａと屈折光学素子の入射面Ｌｐａの外周に対応する円４０の中心軸線４０ａとはほぼ一致し、射出面Ｌｐｂの中心軸線は２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向（Ｙ方向）に沿って光軸ＡＸから偏心している。 （もっと読む）

【課題】たとえば反射屈折型で且つ軸外視野型の液浸投影光学系において、像空間において液体（浸液）が介在する範囲を小さく抑える。
【解決手段】第１面の縮小像を液体を介して第２面に投影する投影光学系は、最も第２面側に配置された屈折光学素子Ｌｐを備えている。屈折光学素子の射出面Ｌｐｂは第２面上において直交する２つの軸線方向（Ｘ方向およびＹ方向）に関してほぼ対称な形状を有し、射出面の中心軸線Ｌｐｂａと屈折光学素子の入射面Ｌｐａの外周に対応する円４０の中心軸線４０ａとはほぼ一致し、射出面Ｌｐｂの中心軸線は２つの軸線方向のうちの一方の軸線方向（Ｙ方向）に沿って光軸ＡＸから偏心している。 （もっと読む）

【課題】アポダイゼーション効果が可変であり、諸収差を良好に補正可能な形状可変素子を有する光学系を提供する。
【解決手段】複数の光学材料からなり、界面の形状が変化する形状可変素子ＡＯ１，ＡＯ２を有する光学系であって、d線の吸収係数の差Δα(mm^-1)が0.2<|Δα|<1.5を満たす2材料からなる形状可変な界面A及び満たさない2材料からなる形状可変な界面Bを含む、2以上の形状可変な界面を有し、該界面Aの内i番目の界面A_iにおける屈折力変化量をΔφ_Ai、該界面Bの内i番目の界面B_iにおける屈折力変化量をΔφ_Biとしたとき、全ての該界面Aの屈折力変化量の総和をΔφ_A、及び全て該界面Bの屈折力変化量の総和をΔφ_Bとすると、Δφ_A×Δφ_B&#60;0を満たす。 （もっと読む）

【課題】液体レンズ等の可変焦点レンズを用いたバーコード読み取りにおいて、読み取り時間を短縮することである。
【解決手段】バーコード読取装置としてのハンディターミナル１は、印加電圧に応じて高速で焦点位置を変更可能な液体レンズ２１２と、液体レンズ２１２を介してバーコードを撮像して画像データを生成する撮像素子２１１と、１フレームの画像データを取得する際に、液体レンズ２１２の焦点位置を変更し、１フレームの中で異なる焦点位置の複数の画像領域の画像データを前記撮像部から取得するイメージャコントローラ１９と、イメージャコントローラ１９により取得された複数の画像領域の画像データのバーコード画像をデコードするＣＰＵ１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】屈折力可変素子の境界面の形状を変化させたときの色収差の変動を低減する。
【解決手段】屈折力可変素子１は、互いに屈折率が異なる第１の媒質Ａと第２の媒質Ｂとにより形成される境界面３の形状を変化させることによって、屈折力を変化させることができる。ここで、第１の媒質Ａと第２の媒質Ｂとのｄ線における屈折率をそれぞれｎ_Ａ、ｎ_Ｂとし、第１の媒質Ａと第２の媒質Ｂとのｄ線におけるアッベ数をそれぞれν_Ａ、ν_Ｂとするとき、
−０．０２３≦｛（ｎ_Ａ−１）／ν_Ａ−（ｎ_Ｂ−１）／ν_Ｂ｝／（ｎ_Ｂ−ｎ_Ａ）≦０．０２３
の条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】倍率色収差の発生を低減し、更には、倍率色収差と軸上色収差との同時補正を可能とするズームレンズを提供する。
【解決手段】ズームレンズ１００は、絞り１０３の物体側に配置される第１の屈折力可変面１０１ｂと、該第１の屈折力可変面１０１ｂと同符号の倍率色収差を生じさせ、絞り１０３の像面側に配置される第２の屈折力可変面１０５ｂと、第１、第２の屈折力可変面１０１ａ、１０５ｂと異符号の倍率色収差を生じさせる第３の屈折力可変面１０５ａとを含む。第３の屈折力可変面１０５ａが、絞り１０３の物体側に配置されている場合は、第１の屈折力可変面１０１ｂの広角端における倍率色収差、又は、絞り１０３の像面側に配置されている場合は、第２の屈折力可変面１０５ｂの広角端における倍率色収差をＬＡＴ_１とし、第３の屈折力可変面１０５ａの広角端における倍率色収差をＬＡＴ_２としたとき、
│ＬＡＴ_１│＜│ＬＡＴ_２│
なる条件を満足する。 （もっと読む）