【課題】処理装置側の処理速度が速くなった場合でも対応することが出来、また横行コンベア又はトラバーサーが故障してしまった場合であっても、上記ガラス基板の投入や回収を行うことが出来る高速マルチローダーを提供する。
【解決手段】ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置で処理されたガラス基板を回収するマルチローダーであって、ガラス基板を収納したカセットとガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部と、載置部から処理装置側に順に設けられた、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる第一搬送手段と、第一搬送手段とガラス基板の受け入れ受け渡しを行う左右二列と上下二段からなる第二の搬送手段と、第二の搬送手段と処理装置との間でガラス基板の受け渡し受け入れを行う第三の搬送手段と、を備えたことを特徴とするガラス基板の高速マルチローダー。 （もっと読む）

【課題】カスケード方式の洗浄装置における菌体の繁殖を簡易な手段で防止することができ、被洗浄物の洗浄効率を向上させることができる洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１がローラー２で搬送され、ジェット洗浄ノズル３及び最終リンスノズル４で洗浄される。最終リンスノズル４に純水が供給される。最終リンスノズル４からの洗浄排水がタンク７に流入し、ポンプ９からノズル３に供給される。タンク７内の菌体数が増加した場合、タンク７内の水をオゾン水供給装置１２に循環通水し、タンク７内にオゾン水を供給し、殺菌する。 （もっと読む）

【課題】基板上に異物があった場合でも支持部材を損傷させることなく、且つ修正スタンプの接触による基板表面の劣化を防ぎながら欠陥修正できると共に、１回の転写で欠陥部１１を修正できるようにする。
【解決手段】アレイ基板２上において形成膜（ＰＩ配向膜１０）が欠如した欠陥部１１を検出し、支持部材７ａの下端に設けた修正スタンプ７ｂの下面に表面張力により、修正インク７ｃを付着させ、欠陥部１１のある位置に、修正インク７ｃを付着させた修正スタンプ７ｂを移動させ、修正スタンプ７ｂの下面をアレイ基板２表面に当接させることなく下降させて修正インク７ｃを欠陥部１１上に塗布し、修正スタンプ７ｂを水平移動させることなく、垂直に上昇させて欠陥部１１から離れ、欠陥部１１に塗布された修正インク７ｃを乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを最小限に抑えつつ、周辺での作業に支障をきたすことがないフィルム材の貼合装置を提供する。
【解決手段】 液晶パネルを搬送するローラコンベア５と、液晶パネルの表裏面に貼合される偏光フィルムの偏光フィルムシートをロールＲ１から巻き出すと共にハーフカットして切り出す搬送装置と、ロールＲ１を支持する搬送台車３０を備え、搬送台車３０がロール収容エリアとローラコンベア５下方のロール配置位置との間を移動可能に設けられ、搬送台車３０は、走行するべース部３２とこのベース部３２上でロールＲ１を支持するロール支持部３３とを備え、ベース部３２に対してロール支持部３３が水平面内で姿勢変化可能に支持され、搬送台車３０とローラコンベア５との間に、ローラコンベア５に対してロール支持部３３を位置決めするエアー浮上装置２９及び水平方向位置決め装置５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】光学表示デバイスの生産システムに用いられる光学表示部品の吸着装置において、吸着パッドの発塵を抑えて生産システムの歩留まりの低下を抑える。
【解決手段】液晶パネルＰを吸着するべく液晶パネルＰ側に延びるリップ（第三傾斜部２６ｅ）を有する吸着パッド２６と、吸着パッド２６内に保持されるＰＥＥＫ製のアタッチメント２７とを備え、アタッチメント２７が、吸着パッド２６のリップの先端と液晶パネルＰとの間に介在するパッド接触制限部２７ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】表示装置に３Ｄパネルやタッチパネルを組み立てるために、簡単な構成で高精度の組立を行うと共に、生産効率の向上を図った組立装置を提供する。
【解決手段】３Ｄパネル又はタッチパネルと表示パネルとを貼合せるために、仮貼合室３で上下基板を上テーブルと下テーブルに保持して、上下基板の位置合わせと、凹凸のある加圧面のある上下テーブルで所定の加圧力での仮貼合せを行い、本貼合室７で、仮貼合された基板を搬送フィルム上に搭載して搬送し、搬送用フィルムに載置した状態で仮貼合された基板を加熱すると共に、仮貼合室で加えた加圧力の約８倍の加圧力で本貼合せを行う構成とした。 （もっと読む）

【課題】撮像装置とキャリブレーションマークとの位置関係に係わらず、撮像装置をキャリブレーションするに十分な、キャリブレーションマークの撮像画像を取得する。
【解決手段】単一のキャリブレーションマークを複数回撮像することによって、複数の基準マークが配置されたキャリブレーションを撮像したときと同様の画像マークを取得し、この画像マークに基づいて撮像装置について中心位置、取り付け角度、分解能等のキャリブレーションを行う。単一のキャリブレーションマークを異なる撮像位置で複数回撮像して画像マークを取得する撮像工程と、複数回の撮像で取得したキャリブレーションマークの各画像マークを用いて、複数個の画像マークを有した撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、撮像画像の画像マークの位置と撮像画像上の基準位置とに基づいて、撮像装置のキャリブレーション情報を算出するキャリブレーション情報算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板載置装置を用いて基板を位置決め状態で載置する基板載置方法を提供する。
【解決手段】リフトピン８を上昇させるとともに、基板除給材部２０を駆動させて基板１７を作業開始位置に向けて搬入開始するステップと、基板１７を基板テーブル６の作業開始位置の直上に位置させて基板１７の搬入を完了させ、基板保持アーム２１を下降させて基板１７をリフトピン８上に載置するステップと、基板保持アーム２１の後退を開始するとともに第１のカメラ７５ａにより基板１７の位置を検出し第１補正量を計算するステップと、リフトピン８を下降させるとともに、第１補正量に基づき基板１７の位置を補正する第１位置補正ステップと、基板テーブル６に基板１７を吸着するステップと、第２のカメラ７５ｂにより基板１７の位置を検出し第２補正量を計算するステップと、第２補正量に基づき基板１７の位置を補正する第２位置補正ステップと、を含む基板載置方法。 （もっと読む）

【課題】電気的検査と光学像による観察とを行うＴＦＴ液晶基板検査において、装置構成を小型化し、基板アレイ検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴ液晶基板検査装置は、検査チャンバーから電気的検査によって欠陥位置を取得したＴＦＴ液晶基板を、検査チャンバーから基板交換チャンバーに搬出する際に、ＴＦＴ液晶基板上の欠陥位置に撮像装置を移動させて光学像を取得する構成とすることによって、光学像を取得的するために要するスペースを不要として装置構成を小型化すると共に、ＴＦＴ液晶基板の搬出と同時に光学像を取得することによって、光学像のみを取得するための時間を不要としてＴＦＴ液晶基板検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤモジュール組立装置において、表示パネル基板の搭載部材にＡＣＦを貼り付ける際に、気泡の発生を抑制し、ＡＣＦの接着特性を改善する。
【解決手段】テープ上に形成された搭載部材を打ち抜いて、ＡＣＦにより表示パネル基板の周縁部に搭載して、ＦＰＤモジュールを製造するＦＰＤモジュール組立装置で、仮圧着工程において、上刃と下刃とで挟み込み、加熱・加圧することにより、搭載部材にＡＣＦを貼り付ける際に、上刃の搭載部材に接する面に、例えば、シリコンゴムなどの弾性体からなる保護材を、下刃のＡＣＦの下面に接する面に同じくシリコンゴムなどの弾性体からなる緩衝材を設ける。上刃の保護材、下刃の緩衝材は、例えば、それぞれにはめ込まれたＴ型パッドとして形成する。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルをワーク搬送機構のアームとワークステージ間で受け渡す際、液晶パネルがピンからずり落ち液晶パネルに異常な負荷が加わるのを防止すること。
【解決手段】液晶パネルが、ワーク搬送機構により搬入されピン１Ａ，１Ｂに受け渡される。ワークステージ駆動機構３によりワークステージ２が上昇し、液晶パネルはワークステージ２に受け渡される。プローブＰＢから液晶パネル２０に電圧が印加されるとともに、光源部１０から紫外線が照射され液晶パネルの処理が行われる。処理が終わると、ワークステージ２が下降し、液晶パネルをピン１Ａ，１Ｂに受け渡し、ワーク搬送機構に保持されて搬出される。ワークステージ２が移動して液晶パネルを受け渡すので、振動等により液晶パネルがピン１Ａ，１Ｂからずり落ちるのを防ぐことができる。また、ピン１Ｂは板状に形成されており曲がりにくく、液晶パネルがずり落ちるのを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】支え部材によってＰＣＢ及び搭載部材を傷つけないようにすることができるＰＣＢ接続装置及びＦＰＤモジュール組立装置を提供する。
【解決手段】ＰＣＢ接続装置７０は、基板保持部９４と、本圧着部７６と、ＰＣＢ支持部９５とを備える。基板保持部９４は表示基板１０１を保持し、本圧着部７６は基板保持部９４に保持された表示基板１０１に搭載されている搭載部材１０２にＰＣＢ１０３を接続する。ＰＣＢ支持部９５は、基板保持部９４に設けられており、搭載部材１０２に接続されたＰＣＢ１０３を支える支え部材９７と、支え部材を移動させる移動機構９８とを有する。そして、移動機構９８は、支え部材９７がＰＣＢ１０３の下面に当接する支持位置と、支持位置の下方に設けられた待機位置との間で支え部材９７を移動させる。 （もっと読む）

【課題】液滴が衝突する基板内の衝突位置での膜厚のばらつきを低減することにより、処理の均一性を向上させること。
【解決手段】洗浄ノズル５は、複数の噴射口３１が形成された噴射部６と、吐出口３６が形成された吐出部７とを含む。複数の噴射口３１は、複数の液滴がそれぞれ基板Ｗ内の複数の衝突位置Ｐ１に衝突するように形成されている。吐出口３６は、各衝突位置Ｐ１からの距離Ｄが等しい基板Ｗ内の着液位置Ｐ２に保護液が着液するように形成されている。洗浄ノズル５は、吐出口３６から吐出された保護液の液膜によって覆われている基板Ｗに複数の噴射口３１から噴射された複数の液滴を衝突させる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、マスクの撓みを補正しつつマスクを保持することができ、高精度で露光転写することができる近接露光装置及び近接露光方法を提供する。
【解決手段】マスクステージ１は、マスクＭを下面に真空吸着して保持するマスクホルダ２６と、マスクホルダ２６の上面側に保持されるカバーガラス３２と、マスクホルダ２６、マスクＭ、及びカバーガラス３２によって画成される空間３３内の空気を吸引して該空間３３内を減圧させる吸引機構４０と、減圧された空間３３内に外部から空気を供給する少なくとも１つの空気導入溝３５と、を備える。そして、マスクＭをマスクホルダ２６の下面に真空吸着してマスクＭを保持し、また、吸引機構４０によって空間３３内の圧力を吸引するとともに、空気導入溝３５を介して外部の空気を空間３３に供給することで、空間３３内の圧力を所定の圧力に調整する。 （もっと読む）

【課題】 貼合精度が高い製品パネルを連続的に製造することができる製品パネルの連続製造方法を提供する。
【解決手段】 本方法は、シート状偏光フィルムのフィルム前端部を矩形パネルとの貼合位置に近づけてフィルム前端部を検出し、検出されたフィルム前端部の位置の情報に基づいてシート状偏光フィルムと矩形パネルとを位置合せし、シート状偏光フィルムと矩形パネルとを貼り合せることを含む。フィルム前端部を検出するために、シート状偏光フィルムの送り方向の上流側から、フィルムの送り方向に対して鋭角をなす光軸を持つ光をフィルム前端部に向かって照射し、光が照射された領域を撮像して画像を取得し、フィルム前端部の像と該フィルム前端部以外の部分の像との輝度の差に基づいてフィルム前端部を識別する。 （もっと読む）

【課題】排気効率およびスペース効率を改善し、液切り乾燥直後の乾いた基板にミストが付着するのを十全に防止する。
【解決手段】上部および下部エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌがそれらの間を通過する基板Ｇに対してナイフ状の鋭利な高圧エア流を吹き付けることにより、両エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌの上流側の空間に多量のミストが発生する。基板Ｇの上で発生したミストの大部分は、下流側のＦＦＵ１３６から隙間Ｋを通って廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に上部排気口１２４に吸い込まれる。基板Ｇの下で発生したミストは、その全部がＦＦＵ１３６から廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に下部排気口１２６，１２８に吸い込まれる。 （もっと読む）

【課題】基板の清浄度を向上させること。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗを保持するスピンチャック３と、スピンチャック３に保持されている基板Ｗの外周より外側に配置されているカップ６とを含む。カップ６は、気体吐出口から基板Ｗ上に向けて気体を吐出することにより、基板Ｗの上面に沿って流れる気流を形成する。この気流によって基板Ｗの上面がパーティクルやミストから保護される。 （もっと読む）