【課題】低粘度で高い転写パターン精度を有しつつ、光照射後の密着性に優れた光硬化性組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される化合物および／または下記一般式（２）で表される化合物の少なくとも一種と、下記一般式（３）で表される化合物の少なくとも１種を質量比２０：８０〜８０：２０の割合で含む、光硬化性組成物。


（一般式（１）および一般式（２）中、Ｘは、有機基を表し、ｎは１〜４の整数を表す。一般式（３）中、Ｙは有機基を表し、ｍは１〜４の整数を表し、Ｒは水素またはメチル基を表す。但し、一般式（１）で表される化合物、一般式（２）で表される化合物および一般式（３）で表される化合物は、いずれも分子量が１５０〜４００である。） （もっと読む）

【課題】 例えばロール・ツー・ロールで搬送される帯状の感光性基板の可撓性を利用しつつ、感光性基板へのパターンの転写にかかるスループットの向上を達成する。
【解決手段】 円筒面（ＲＬａ）を有し、感光性の基板（ＳＨ）を円筒面に沿って保持した状態で円筒面の軸線（ＲＬｂ）の方向に沿って移動する移動機構（ＲＬ）と、パターンを有する平面状のマスク（Ｍ）を保持し、基板の軸線の方向への移動に同期して、軸線の方向に対応する走査方向に沿って移動するステージ機構と、マスク上に照明領域（ＩＲ）を形成する照明光学系と、照明領域内のパターンの投影像を楕円弧状に延びる結像領域（ＥＲ）に形成する投影光学系（ＰＬ）とを備えている。円筒面の軸線は、結像領域が基板上においてマスクのパターン面とほぼ平行な面に沿って形成されるようにパターン面に対して傾けられている。 （もっと読む）

【課題】ラビング処理における配向均一性を長時間維持することができるので、フィルムが長尺化しても光学特性のバラツキが少なく、輝点発生頻度の少ない光学補償フィルムを製造することができる。
【解決手段】経糸２及び緯糸３からなる地布組織と、該地布組織に織り込まれたパイル糸４とからなり、配向膜形成用樹脂層８をラビング処理して配向膜を形成すためのラビング用布材１において、パイル糸４が、フィラメント６の表面に樹脂性の被覆材７を被覆してなる。 （もっと読む）

【課題】供給した薬液が処理対象膜上で弾かれることなく、薬液を処理対象膜上に液の膜厚が均一となるよう供給できることにより、処理対象膜を所望の形状に正確にパターニングすることができる構成を有する電気光学装置の製造装置を提供する。
【解決手段】基板１０’が載置されるステージ９２と、ステージ９２に載置される基板１０’の処理面１０’ｓに対向して設けられる、対向面９１ｔに複数の現像液吐出口９１ｈが形成された平板状の現像液供給ノズル９１と、現像液吐出口９１ｈに対応してそれぞれ設けられた、現像液吐出口９１ｈから吐出される現像液Ｇの流量を、現像液吐出口９１ｈ毎に調整する流量調整部９４と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】無電極ランプ１灯に対する負荷を減少させることができ、ランプの長寿命化や省電力化を実現する。
【解決手段】マグネトロン１３からマイクロ波を発生させ、このマイクロ波を筐体１４から同軸ケーブル１８を介して分配器２０に伝送する。分配器２０から同軸ケーブル２２ａ〜２２ｄを介してマイクロ波を分配し、整合器２４ａ〜２４ｄでインピーダンスの整合をそれぞれ行い、バルブ内に紫外線を放射させる放電媒体が封入された無電極ランプ２６が配置されたランプハウス２５からなる複数の紫外線照射部１０Ａ〜１０Ｄ内に放射する。無電極ランプ２６は、マイクロ波が放電媒体を励起させて紫外線を放射し、反射板２８１，２８２によりはランプハウス２５から、被照射体に照射させるようにした。共通のマグネトロン１３で紫外線照射部１０Ａ〜１０Ｄの無電極ランプ２６を励起させたことにより、ランプの長寿命化や省電力化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被処理基板へのパーティクルの付着や被処理基板へのダメージを防止することができる被処理基板の除電方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１０は、ウエハＷを収容するチャンバ１１と、該チャンバ１１内に配置されてウエハＷを載置する載置台１２とを備え、該載置台１２は、載置されたウエハＷの裏面に接触して当該ウエハＷを静電吸着する静電チャック２１と、該静電チャック２１からウエハＷの裏面に向けて伝熱ガスを噴出する外周部伝熱ガス供給系２５を有し、裏面に負の電荷が蓄積され且つ表面に正の電荷が蓄積されているウエハＷを除電する際、まず、プラズマＰ中の電子によってウエハＷの表面の正の電荷を中和し、その後、外周部伝熱ガス供給系２５からウエハＷに向けてイオン化ガスを供給し、イオン化ガス中の陽イオンによってウエハＷの裏面の負の電荷を中和する。 （もっと読む）

【課題】回転式のホルダドラムの駆動機構の構成を簡略化する。
【解決手段】パネル基板１を搬送する搬送手段３０は、搬入部３２ａ及び経路シフト部３２ｂからなる搬入側経路３２と、搬出部３３ａ及び経路シフト部３３ｂから構成され、搬入側経路３２と搬出側経路３３との間の貼付作業領域に、それぞれ偏光板フィルム２を保持した定置側ホルダドラム１０Ｓと可動側ホルダドラム１０Ｍとが配設され、可動側ホルダドラム１０Ｍはスイングアーム２５により定置側ホルダドラム１０Ｓに近接・離間する方向に変位可能であり、平行移動ブロック３４を間隔δ分だけ平行移動させて、経路シフト部３２ｂにおける基板送り部が搬送ラインＴ１から片寄せ搬送ラインＴ２にシフトしてパネル基板１が定置側ホルダドラム１０Ｓと接触することになり、可動側ホルダドラム１０Ｍが変位して、パネル基板１が挟持される。 （もっと読む）

【課題】修正操作性に優れた方法を採用した場合においても、タクトタイムを増大させることなく、効率的な処理を実現することが可能な修正工程を備えた液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の液晶パネルの製造方法は、第１の欠陥基板３０Ａが修正処理室５０内に搬入されてからの経過時間Ｔ１を算出し、経過時間Ｔ１が予め定められた基準時間Ｔ０よりも短い場合に、第１の欠陥基板３０Ａを修正処理室５０から搬出せずに修正処理室５０内に待機させ、基準時間Ｔ０が経過した後に、第１の欠陥基板３０Ａの搬出と、次の修理対象である第２の欠陥基板３０Ｂの搬入とを同時に行う修正工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄膜担持体に担持された薄膜材料を基板に転写することで基板に薄膜を形成する薄膜形成装置において、薄膜形成のための減圧を効率的に行うことができ、しかもメンテナンス性に優れた装置を提供する。
【解決手段】処理チャンバ１の側面を構成する着脱自在のパネル状部材である裏板１６に、処理チャンバ１と真空ポンプとを連通接続するための排気口１６１を設ける。転写ユニットが取り付けられる天板１１および底板１９には排気口およびこれにつながる配管を設けないことにより、メンテナンス性を向上させる。排気口１６１を複数、しかも略等間隔に配することによって、減圧処理時の処理チャンバ内の気圧の不均衡を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】マスクと基板との間に浮遊する浮遊物がマスクに付着するのを抑制する。
【解決手段】マスクホルダ２０に保持されたマスク２の周囲に吸引手段３０を設け、吸引手段３０により、マスク２と基板１との間に浮遊する浮遊物を吸引する。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の周囲に設けた吸引手段３０により、マスク２と基板１との間に浮遊する浮遊物が吸引されて、浮遊物のマスク２への付着が抑制される。特に、基板１に塗布された感光樹脂材料から発生する昇華物が吸引されて、昇華物のマスク２への付着が抑制されるので、マスク２に新たな処理を施すことなく、昇華物によるマスク２の汚れが低減する。浮遊物のマスク２への付着が抑制されるので、マスク２を洗浄する頻度が低下し、表示用パネル基板の生産性が向上する。 （もっと読む）

【課題】バックライトとして複数の発光ダイオード（以下、ＬＥＤと呼ぶ）を用いて時間分割表示方式（フィールドシーケンシャル駆動方式とも呼ぶ）を行い、高画質な動画表示が可能な液晶表示装置を提供することを課題の一とする。また、ピーク輝度の変調による高画質、フルカラー表示、または低消費電力を実現する液晶表示装置を提供することを課題の一とする。
【解決手段】一対の基板間に液晶層を封入した後、一対の基板の上下両側から同時にＵＶ照射を行って高分子安定化処理を行い、一対の基板間に挟まれた液晶層に含まれる高分子を均一に配置させ、液晶表示装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】 輸送に便利で、かつ、よりコンパクトな真空チャンバを用いた処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置は、基板を挿入可能に形成された貫通穴２４を有するブロック状の複数のチャンバ部材２５からなり、隣接するチャンバ部材の少なくとも一方に、他方との当接面の貫通穴の開口部の周囲に亘って連続して溝２７が設けられ、各チャンバ部材が、溝に装着されたシール部材２６を介してそれぞれ密接した状態で固定されて、複数の貫通穴で構成される処理空間Ａを有するチャンバ本体２１と、処理空間の一方の開口を密封する壁面部材２２と、処理空間の他方の開口を開閉可能に塞ぐ蓋部材２３とを具備する真空チャンバを備え、各処理空間には、基板を放射熱によって加熱する加熱手段４０と、この加熱手段の上下にそれぞれ設置され、各基板Ｓを加熱手段に対向するように支持する一対の基板支持部材３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板に形成された下地パターンの上に新たなパターンを露光する際、下地パターンの位置ずれ量が基板内で場所によって異なっても、新たなパターンを基板全体に渡って下地パターンに合わせて露光する。
【解決手段】下地パターンが形成され、下地パターンの上にフォトレジストが塗布された基板１の表面を複数の区画に分割し、分割した区画毎に下地パターンの位置を検出し、検出結果に基づき、分割した区画毎の下地パターンの位置に応じて、描画データを作成する。基板１をチャック１０で支持し、チャック１０をＸステージ５により移動し、光ビームを変調する空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を有する光ビーム照射装置２０からの光ビームにより基板１を走査して、基板１にパターンを描画する。 （もっと読む）

【課題】
アライメントに必要な時間を短縮して作業効率を向上できる、あるいは、設備を低減できる処理作業装置及び処理作業方法を提供することにある。また、複数種類の処理作業からなる表示パネルモジュール組立装置または組立方法において、各処理作業の作業効率を向上することである。
【解決手段】
隣接する作業装置から搬送された表示パネル基板の処理辺に複数の処理作業箇所で処理を行ない、前記複数の処理作業箇所のうち少なくとも１箇所で前記処理部とのアライメントを行ない、その他の処理作業箇所のうち少なくとも１箇所で、前記アライメントで得られたデータに基づき前記処理部の位置決めする位置決め手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気泡の混入や皺の発生を抑制したラミネート装置を適用すること。
【解決手段】第１樹脂フィルム１１を搬送する第１搬送路２１と、第１搬送路２１に対して傾斜すると共に第１樹脂フィルム１１の搬送方向に向かって第１搬送路２１に次第に近づいて配設され、第２樹脂フィルム１２を搬送する第２搬送路２２と、搬送された第１樹脂フィルム１１の搬送方向端部と、搬送された第１樹脂フィルム１１の搬送方向端部と、を重ね合わせると共に位置合せする位置合せ部材３０と、重ね合わされた第１樹脂フィルム１１及び第２樹脂フィルム１２の搬送方向端部における一方の角部から他方の角部に向かって順次圧力を付与する圧力付与部材４０と、圧力が付与された第１樹脂フィルム及び前記第２樹脂フィルムをラミネートするラミネート部材５０と、をラミネート装置１０１に具備させる。 （もっと読む）

【課題】明欠陥と暗欠陥とが混在する場合にも被検査物の欠陥検出の感度を向上することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像画像に対して欠陥強調処理を行う欠陥強調処理工程と、欠陥を検出する欠陥検出工程とを有している。欠陥強調処理工程ＳＴ２は、明欠陥と暗欠陥の一方の欠陥成分にマスク処理を行う欠陥マスク処理工程ＳＴ２１と検査対象画素を選定する検査対象画素選定工程ＳＴ２２と、検査対象画素の周囲に比較対象画素を設定する比較対象画素群設定工程ＳＴ２３と、検査対象画素と比較対象画素との輝度差データを求め、最小輝度差を求める最小輝度差算出工程と、各比較対象画素群に対して算出された最小輝度差の値が最大値を欠陥強調値とする欠陥強調値算出工程ＳＴ３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化、複雑化を生ずることなく、高い処理効率を維持したまま紫外線処理を行うことが可能な紫外線処理装置を得ることができる。
【解決手段】搬送される基板１に順次紫外線３を照射する紫外線処理を行い下流側装置に搬送する紫外線処理装置において、紫外線３を照射する紫外線照射ユニット４、紫外線照射ユニット４を回転し、紫外線３が基板１に向かう方向となる第一の定位置と、反対方向となる第二の定位置の何れかに移動する回転機構５、及び発生するエラー信号の有無をモニタする検知機能と前記のエラー信号が出た時点で紫外線照射ユニット４を第二の定位置に移動し、消えた時点で第一の定位置に移動する様に回転機構５を制御する制御機能を有する退避動作制御部６を備えた。 （もっと読む）

【課題】薄い基板を用いた場合でも、基板に機械的な応力が作用することによる割れを防
ぐ基材分割方法を提供する。
【解決手段】小片化された機能性膜片１２ａ，１２ａ，・・・が支持体１１上に配列され
てなる２つの第１の積層体１０，１１０を、分割対象である第２の積層体２０の表面及び
裏面に、機能性膜片１２ａ，１２ａ，・・・が第２の積層体２０の表面及び裏面のそれぞ
れに対向するように貼付し、機能性膜片１２ａを介することなく第２の積層体２０を分割
する。 （もっと読む）

【課題】挟持チャックに不要ＡＣＦ部位が付着した状態で可動することにより生じる問題を解決できるＡＣＦ貼付装置及び表示装置の製造方法の提供。
【解決手段】セパレータにＡＣＦを貼付したＡＣＦテープと、前記ＡＣＦテープを移動させる機構と、前記ＡＣＦテープの移動位置を制御するアライメント機構と、前記ＡＣＦテープの前記ＡＣＦの一部をカットする機構と、前記ＡＣＦテープを挟持する挟持チャック機構と、表示パネルが載置可能なパネル受台と、前記ＡＣＦテープの前記セパレータに当接可能な加熱／加圧ヘッドとを有し、前記パネル受台に載置された前記表示パネルと、前記加熱／加圧ヘッドとで前記ＡＣＦテープを挟みこんで加熱して、前記ＡＣＦを前記表示パネルに転移させるＡＣＦ貼付装置において、前記ＡＣＦテープを前記挟持チャック機構で挟持する前に、前記ＡＣＦの一部の粘着性を変化させる手段を備える。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルと偏光板との光学的位置合わせにおいて基準偏光子を用いる場合と用
いない場合とに容易に対応できる液晶装置の製造装置および製造方法を提供すること。
【解決手段】液晶装置の製造装置１００は、液晶パネル５０を保持する保持部１１０と、
偏光板４５を保持する保持部１１４と、光学的異方性を有する第１の部分１１２ａと光学
的異方性を有していない第２の部分１１２ｂとを備えた光学素子１１２と、液晶パネル５
０と光学素子１１２とを対向する面内で回転させる回転機構１１６，１１８と、光源１２
０と、光源１２０から照射され光学素子１１２と液晶パネル５０と偏光板４５とを透過し
た光１２６の強度を測定する測定部１２９とを備え、回転機構１１８は、透過する光１２
６の光路に対して液晶パネル５０に対向する面内で第１の部分１１２ａが配置される位置
と第２の部分１１２ｂが配置される位置とに光学素子１１２を移動させる。 （もっと読む）