【課題】表示パネルを安定して保持して良好な縁部清掃を行うことができる表示パネル清掃装置および表示パネル清掃方法を提供することを目的とする。
【解決手段】表示パネルの縁部にシートを押しつけて拭き取ることにより清掃する表示パネル清掃装置において、ガイドレール２１に沿ってスライド自在に配設された１対の挟持部材８Ａ，８Ｂより成る挟持部７を開閉機構１３とともにスプリング２６によって弾性支持して、表示パネルの縁部をフローティング状態で挟持可能にするとともに、第２部材２５をクランプ部材３０とストッパ３１ａによってクランプして固定することにより、フローティング状態の解除を可能にする。これにより、対象となる表示パネルに応じた適切な状態で縁部を挟持することができ、表示パネルを安定して保持して良好な縁部清掃を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 電気光学パネルの端子形成面に付着している異物を確実に除去することのできる電気光学パネルの清浄方法および清浄装置を提供する。
【解決手段】 清浄方法は、電気光学パネル２の端子形成部５に配列された複数のパネル端子７に対して外部配線８を接続する前に、複数のパネル端子７が配列されている端子形成面６に向かって清浄気体を噴出して端子形成面６に付着している異物を剥離するとともに、端子形成面６から剥離した異物を吸引する。清浄装置１は、端子形成面６に向かって清浄気体を噴出させる噴出ノズル１７と、清浄気体によって端子形成面６から剥離した異物を吸引させる吸引管１８とを設ける。 （もっと読む）

【課題】液晶表示器のガラス基板の異方性導電フィルムの貼付領域だけを効率的に洗浄すること。
【解決手段】電極１０Ａ及び１０Ｂは、互いに対峙する面に各々一連の溝部１１を有する。電極１０Ａ及び１０Ｂと、プラズマを発生させるガスの流路２０１を有する絶縁物から成る治具２０とを組み合わせて開口部１０１を形成する。こうして電極１０Ａ及び１０Ｂに交流電位を印加すると、陰極側となった電極の溝部１１にホローカソードプラズマが発生し、プラズマを発生させるガスの流れと共に図面上方に位置する被加工物に照射される。電極１０Ａ及び１０Ｂの対峙する領域、即ちの開口部１０１の形状を設計することで、液晶表示装置のガラス基板の任意形状の領域に効率良くプラズマを照射し、この領域のみを効率良く洗浄することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】液晶表示器のガラス基板の異方性導電フィルムの貼付領域だけを効率的に洗浄すること。
【解決手段】セラミックスからなる高耐熱性の絶縁体４の前方開口端４ａからプラズマが出射される。先端が窄んだ略円筒形の金属製の外導体２は、同軸空洞Ｒの外殻部を形成している。外導体２、絶縁体４、及び金属製のプラズマ材料ガス導入管１は、何れも筒状に形成されて互いに同軸となる様に配置されている。外導体２とプラズマ材料ガス導入管１とは、可変機構６付近で電気的に接続されている。プラズマ材料ガス導入管１の導入口１ａは基板洗浄装置１０の最後部に配置されており、一方、プラズマ材料ガス導入管１のガス吹き出し口１ｂはその反対側に配置されている。このガス吹き出し口１ｂの更に前部には、金属製の突起部材５が配設されて、電界が集中し易くなっている。前方開口端の前方に洗浄する対象の基板が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 ギャップ材の散布ムラに起因するギャップムラを抑え、これによって表示ムラを防止した、液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板表面にギャップ材を散布するギャップ材散布処理の前処理として、接触式の搬送装置１によって基板Ｗをギャップ材散布処理を行うための処理室に搬送する途中または搬送後に、基板Ｗにおける搬送装置１との接触面を、除電手段７によって除電処理する。 （もっと読む）

【課題】簡単で正確な位置で配向膜をパターニングできる液晶表示装置の配向膜製造方法及びこれに用いる配向膜エッチング装置を提供する。
【解決手段】共通電極に電圧を印加するトランスファ電極に対応する電極パッドを備える基板上に配向膜を形成する段階と、前記電極パッドを露出させるようにマスクパターンを用いずに前記配向膜をエッチングする段階とを有する。 （もっと読む）

【課題】 加工精度を損なうことなく生産性を向上させることができるパターニング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、半導体装置の製造方法、半導体装置、圧電駆動素子の製造方法及び圧電駆動素子を提供する。
【解決手段】 ビアホール３９を有した第２層間絶縁膜３７上側全面にＩＴＯからなる透明導電膜４２形成し、同透明導電膜４２のエッチング領域Ｅに、塩酸Ｌと反応して水素ガスＰを生成する金属膜４５を、亜鉛ペーストを塗布することによって形成した。そして、金属膜４５を有した素子形成面１４ａを塩酸Ｌ中に浸漬して透明導電膜４２をエッチングし、陽極４０を形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ドレインコモンリークを有効に改善して液晶ディスプレイの品質と歩留りを向上できる液晶ディスプレイパネルの製造方法の提供。
【解決手段】 （ａ）複数の第１電極を具えた下基板、複数の第２電極を具えた上基板、及び下基板と上基板に挟まれた液晶層を提供し、そのうち一部の第１電極の表面に顆粒があるものとするステップ、及び、（ｂ）顆粒と接触した第１電極をレーザー光で切削して第１画素領域と第２画素領域となし、そのうち第１画素領域と顆粒は接触し、第２画素領域と顆粒は不接触で並びに相互に電気的に隔離され、第２画素領域と第１画素領域は電気的に隔離され、且つ第１画素領域の下基板における投影が三角形とされ、三角形の辺縁と顆粒の第１電極における投影の接線が相互に平行或いは重畳するものとするステップ、を包含する。 （もっと読む）

【課題】 基板などの表面に均一な表面改質処理ができる表面改質装置および表面改質方法を提供する。
【解決手段】 表面改質装置であるプラズマ処理装置２０は、対向基板２を載置する載置電極２３と、載置電極２３の対向基板２の載置面側に対して所定の間隙をもって位置する対向電極２２と、当該間隙へ処理ガスを供給するガス供給部２７と、載置電極２３および対向電極２２へ電圧を印加して当該間隙に放電を生じさせる交流電源２１と、対向基板２に対峙するように対向電極２２に設けられた溝状の対向溝部２５ａと、を備え、電圧の印加時に、対向基板２と対向溝部２５ａに対応する間隙においては放電を生じさせず、放電突起部２６ａと載置電極２３との間隙において放電を生じさせることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ブラシ洗浄により生じた異物を表示領域外で塞き止め捕捉することができ、異物が隣接画素間や対向電極基板と短絡して生じる欠陥をなくす製造方法を得る。
【解決手段】 液晶表示装置１の表示領域２の近傍周辺に異物２８を捕捉ための障壁６を形成する。障壁６の製造方法として、ＴＦＴ１６を形成すると同時にＴＦＴ１６を構成する複数の材料と同一の材料により障壁６を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 複数の工程での水の効率的な使用が可能であり、また各工程にて要求される清浄度を多大な浄化負荷を必要とせずに達成し得る物品の製造工場を提供する。
【解決手段】 清浄な水を使用する複数の工程を経て液晶テレビを製造するＴＶ棟２において、複数の工程を使用される水の清浄度の高低に応じて複数の領域に分割し、１〜５階に階層分けして、使用される水の全量を上階層から下階層の順に送給する主送水路62と、この主送水路62の中途にて分岐されて各階層に水を送給する副送水路63と、この副送水路63の末端に設けられ、夫々の階層での使用水を浄化する浄水器65と、この浄水器65による処理水を主送水路62に還流させる還流水路64とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 複数の工程に要求される環境清浄度を簡素な空調系の構成により実現することができ、ランニングコストの低減を図り得る物品の製造工場を提供する。
【解決手段】 清浄な環境下での工程内処理が要求される複数の工程を経て液晶テレビを製造するＴＶ棟２において、複数の工程を要求される環境清浄度の高低に応じて複数の領域に分割して１〜５階に階層分けし、夫々の階層を清浄度の高い側から低い側への通気のみが可能な通気ダクト63により連通し、この通気ダクト63を経て上階層から下階層に清浄な空気を送り込み、各領域に設けられる空調装置６の負荷を軽減してランニングコストを低減する。 （もっと読む）

電極に印加される高周波電源によってプラズマを発生する反応チャンバーを備えるプラズマ装置を用いてガラス基板上に形成されたネガティブフォトレジストの上に塗布されたポリイミド有機配向膜を選択的に除去しガラス基板を再生する方法が開示される。この方法は、ポリイミド有機配向膜が塗布されたネガティブフォトレジスト形成ガラス基板を上記反応チャンバー内に投入し１００〜９００ｍＴｏｒｒに圧力を維持させる段階と、上記反応チャンバー内にＯ_２／Ｎ_２混合ガスを投入しながら上記圧力を維持させる段階と、上記プラズマ反応装置の電極に１〜２０ｋｗａｔｔの電源を印加してプラズマを発生させることによって選択的に上記ポリイミド有機配向膜を分解する段階と、を含む。
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【課題】光学部品の冷却効率の向上を簡便に図ることができ、かつ小型化も容易な光学装置及びプロジェクタを提供すること。
【解決手段】プリズム集合体４４４Ｘが、第１の入射面４４４Ａ_０から射出面４４４Ｄ_０までの光路長と、第２の入射面４４４Ｂ_０から射出面４４４Ｄ_０までの光路長とがそれぞれ同一に設定される一方、第３の入射面４４４Ｃ_０から射出面４４４Ｄ_０までの光路長は、赤色光及び青色光のプリズム集合体４４４Ｘ内の光路長よりも短く設定されるようにされた色合成光学装置４４４を備えた光学装置４４及びこの光学装置４４を備えたプロジェクタであって、短く設定された光路長に対して、当該短い分の光路長を有する放熱用部材４５０を光路内に配設することができるため、射出側偏光板４４３を放熱用部材４５０に形成させて当該射出側偏光板４４３の冷却を効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
電気光学装置からの気泡の発生を確実に防止し信頼性の高い電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】
脱ガス装置５６による脱ガス処理の終了から２時間以内に、例えば有機材料による層が形成された第１マザー基板５２と第２マザー基板５３とを貼り合わせて密閉することとしたので、脱ガス処理後に例えば長時間空気中等に露出することによる水分の吸収等を抑えることができ、その後の製造工程等で気泡が発生することを防ぐことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 例えば、電気光学装置に設けられ、基板上に付着した埃や塵等を容易に除去する。
【解決手段】 基板を有し該基板上における画像表示領域で電気光学的に画像を表示する電気光学装置において、基板の表面のゴミを除去する電気光学装置用のゴミ除去装置であって、画像表示領域において基板の表面に沿って進行する弾性表面波を発生させる弾性波発生部と、該弾性波発生部を駆動するための配線又は電極部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 気泡を迅速に除去して表示品質を高め、タクトタイムを減少する。
【解決手段】 液晶パネルを用意する段階、前記液晶パネルを第１バッファーチャンバーに収容する段階、前記液晶パネルを収容した第１バッファーチャンバーを一定の圧力で加圧する段階、前記液晶パネルを反応チャンバーに搬入させる段階、前記反応チャンバーに搬入された前記液晶パネルに気圧を加える段階、第２バッファーチャンバーを一定の圧力で加圧する段階、前記気圧を加えた液晶パネルを搬出して前記加圧された第２バッファーチャンバーに収容する段階を含む第１バッファーチャンバー、反応チャンバー及び第２バッファーチャンバーがインラインで配列されているので、液晶パネルを連続して移動することができ、チャンバーで基板組立体と偏光板の間に存在する気泡を迅速に除去することで表示品質を高め、タクトタイムを減少する。
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【課題】 粘着ローラでのラミネートの剥離に失敗の発生がなく、ラミネートを連続的に剥がすことができるので作業能率を向上し、しかも、両面に剥離すべきラミネート等が形成されている場合でも同時に剥がすことができるラミネート剥離方法を提供する。
【解決手段】 シート材Ａに対するラミネートＢの剥離開始前に、ラミネートＢの剥離先端部に対して粘着ロール３１、３４を接触させた状態でシート材Ａの幅方向に走らせ、ラミネートＢの先端部を剥がして剥離のきっかけを与える前処理工程を行い、この前処理工程で処理したシート材Ａを少なくとも一方に粘着ローラ３５を用いて対向状に配置したローラ間に、剥離のきっかけを与えたラミネートの先端部から供給し、粘着ローラ３５でシート材ＡからラミネートＢを剥がす剥離工程と、粘着ローラ３５の部分に配置した分離爪６により、粘着ローラ３５からラミネートＢを分離する分離工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】滴下注入法によって液晶が注入される液晶表示装置の製造方法において、輝度むらの発生が防止され、従来よりも表示性能が優れた液晶表示装置の製造方法及びその製造方法で使用する液晶滴下装置を提供する。
【解決手段】液晶滴下工程において、基板上に液晶を滴下する間隔を１５ｍｍ以下とすることにより、基板を貼り合わせて液晶セル内に液晶が拡散したときに液晶同士が衝突する部位における不純物濃度を３０ｐｐｍ以下とする。この液晶滴下工程では、複数の吐出口６３ａ〜６３ｄを備えた分岐ノズル６３を有する液晶滴下装置が使用され、１回の吐出で基板１０上の複数の箇所に液晶３０が同時に滴下される。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を傾斜させて搬送しながら処理する際、傾斜方向の下側となる面を支持ローラで確実に支持することができる処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板の幅寸法よりも小さな幅寸法で形成されて並設されるとともに基板に対してそれぞれ所定の処理を行う複数の処理室３〜５と、基板の高さ寸法よりも短い長さ寸法に設定され各処理室内に上下方向に所定間隔で平行に設けられた複数の取り付け部材１１と、それぞれの取り付け部材に回転可能に設けられ処理室内に所定の角度で傾斜して送り込まれる基板の傾斜方向の下側の面を支持する支持ローラ１５と、
各処理室内に回転駆動可能に設けられ支持ローラによって傾斜方向の下側の面が支持される基板の下端を支持し回転駆動されることで基板を所定方向に搬送する駆動ローラと２２を具備する。 （もっと読む）