【課題】チャンバ内の浮遊処理液の影響を低減できる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】振り切り乾燥処理が終了すると、スピンチャック１０および雰囲気遮断板５０の回転が停止させられて、基板Ｗの回転が停止する。続いて、スピンチャック１０と雰囲気遮断板５０とが近接する状態から、スピンチャック１０および雰囲気遮断板５０との間の距離Ｄが２ｍｍ以上１０ｍｍ以下となるよう、雰囲気遮断板５０が上昇させられる。そして、スピンチャック１０から搬送ロボットの搬送アーム８ａに基板Ｗが受け渡される。これにより、チャンバ内の浮遊薬液を完全にチャンバ外に排気することができない場合であっても、搬送時または搬送待ちの基板Ｗに浮遊薬液が付着することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を損傷させずに確実に洗浄処理することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板が供給される処理槽１と、処理槽の基板の被処理面に、マイナスの電荷が帯電しそのマイナスの電荷にプラスの電荷が静電結合したナノバブルを含む処理液を供給する処理液供給ノズル１６と、処理液供給ノズルから基板に供給された処理液に向かって供給され、その処理液に含まれるナノバブルのマイナスの電荷に静電結合したプラスの電荷を除去しナノバブルの静電気による平衡状態を消失させてナノバブルを破裂させる作動液を供給する作動液供給ノズル２２ａ，２２ｂを具備する。 （もっと読む）

【課題】搬送装置の載置台上で破損したガラス基板を迅速かつ容易に載置台上から除去する。
【解決手段】載置台Ｄ上に載置されたガラス基板Ｇを上記載置台Ｄ上から除去するガラス除去装置であって、上記ガラス基板Ｇに当接可能であると共に上記ガラス基板Ｇに振動を与えることによって破砕する破砕手段１０と、該破砕手段１０にて破砕されたガラス基板Ｇを吸引することによって載置台Ｄ上から除去する吸引手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】良好なコントラスト特性を有し、且つ、ディスクリネーション等の発生を防止した液晶装置を得ると共に、製造工程の更なる簡素化を可能とした液晶装置の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直配向領域Ａ１を活性化する工程と、垂直配向領域Ａ１に長鎖アルキル鎖を形成して垂直配向膜４１とする工程と、水平配向領域Ａ２に短鎖アルキル鎖を形成して水平配向膜４２とする工程と、長鎖アルキル鎖及び短鎖アルキル鎖が形成された面を一定方位方向にラビング処理する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】不要となり回収された無アルカリガラスの溶融温度を低下させ、溶融加工性を改善することにより、ガラス製品へのリサイクルを容易にすることができる、無アルカリガラスのリサイクル方法を提供する。
【解決手段】無アルカリガラスを破砕する破砕工程と、バッチ原料と混合することにより破砕された無アルカリガラスにＮａ₂Ｏを添加する調合工程と、破砕された無アルカリガラスとバッチ原料との混合物を加熱溶融する溶融工程とを含む無アルカリガラスのリサイクル方法、ならびに、上記リサイクル方法によりリサイクルされたガラス材料。 （もっと読む）

【課題】画像形成装置の出射面と位相差板とを、これらの間に空気が混入しないように密着状態で接着する。
【解決手段】二次元に配列された複数の画素を有する画像表示部１４０における画像光が出射される出射面１４１に接着され、画像表示部１４０から出射された画像光を右目用画像光と左目用画像光に分離する位相差板１８０を備える立体画像表示装置１００の製造方法であって、位相差板１８０を、中央側から縁側へかけて出射面１４１との間隔が広がるように撓ませた状態で、出射面１４１に近い側から遠い側の順に、出射面１４１に接着することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】保護フィルムが貼着された板状体から保護フィルムを剥離するとともに、剥離後の保護フィルムを可及的に小形の形状にまとめ、周囲の装置へ付着しにくくして廃棄することのできる保護フィルム剥離装置を提供する。
【解決手段】保護フィルム剥離装置は、第１剥離手段と、第２剥離手段と、フィルム巻取り手段とを含み、第１および第２剥離手段は、保護フィルムのうち第１剥離手段によって剥離された第１部分と、保護フィルムのうち第２剥離手段によって剥離された第２部分との一部分を、粘着層を介して互いに接着させ、フィルム巻取り手段は、第１および第２剥離手段によって前記粘着層が接着された後に保護フィルムを巻取りながら剥離する。 （もっと読む）

【課題】大型基板の塗布処理において低コストで適切なダウンフローを形成する技術を提供する。
【解決手段】ＦＦＵ６１の外側周囲に第１板状部材６２を設置する。また、ステージ３の周囲に排気容器７１を配置するとともに、当該排気容器７１の外側周囲に第２板状部材を配置する。また、大型基板９０を搬送するハンド９０１の基板搬送経路と干渉しないように、搬送側（−Ｙ側）に設けられる第１板状部材６２の下端の位置を搬送経路よりも上方となるように設定する。このような基板処理装置１において、大型基板９０の塗布処理を行う際には、ＦＦＵ６１から供給するエアの気流（ダウンフローＤＦ）の勢いが載置面でほぼ消失するように、エアの供給量を調整する。この勢いが消失したエアは、下方に設置された排気容器７１に導かれて排気される。 （もっと読む）

【課題】 剥離及び洗浄工程で基板への損傷を最小に抑え、低コストで低ダメージ、環境に優しいプロセスを実現することができる対象物処理装置及び方法を提供すること。
【解決手段】 処理対象面を有する対象物に対して、剥離／洗浄／加工のいずれかを含む処理を行うための対象物処理装置に、大気圧または減圧雰囲気で前記対象物を載置するステージ部と、純水を所定値に加圧した加圧温水をノズル部に供給する加圧温水供給部と、処理対象面に対し、加圧温水または加圧温水と薬液との混合物を噴出するノズル部とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に樹脂シートが接着されている状態でもガラス基板を細かく破砕することのできる電気光学装置の廃棄処理方法を提供すること。
【課題手段】不要になった電気光学装置１の廃棄処理を行うにあたって、破砕工程において、樹脂シート３０、４０が接着された素子基板１０および対向基板２０を破砕する前に、樹脂シート切断工程において、樹脂シート３０、４０に切れ目３５、４５を形成しておく。このため、ガラス基板（素子基板１０および対向基板２０）に樹脂シート３０、４０が接着されている場合でも、ガラス基板を細かく破砕することができるので、破砕物が嵩張らない。 （もっと読む）

【課題】分割露光における表示領域でのショットの継ぎ目の位置を発見しやすく、パターンの継ぎ目検査に要する時間の低減を図ること。
【解決手段】本発明は、複数の露光領域に分割して形成される駆動素子形成領域１０と、駆動素子形成領域１０内に設けられ、隣接する露光領域の境界となる位置に両露光領域の露光ずれを判別するマークとを有する駆動基板１である。また、このマークを、矩形から成る露光領域の隅部近傍に配置したり、矩形から成る露光領域において互いに隣接する４つの露光領域の各隅部近傍に設けるものでもある。また、本発明は、素子形成領域を分割露光によって形成するための一露光分に対応した露光パターン領域と、露光パターン領域における分割露光の継ぎ目部分に設けられるマークとを有するマスクである。 （もっと読む）

【課題】その目的は、光学フィルムが設けられた光学表示ユニットの一方面から光を照射し、その他方面で当該光の透過光像を撮像し、当該撮像した画像から輝点を検出する、光学表示ユニットの検査方法において、検査対象物の欠点の、検査対象物の厚み方向の位置を測定可能とした検査方法を提供することにある。
【解決手段】光学フィルムが設けられた光学表示ユニットの一方面から光を照射し、その他方面で当該光の透過光像を撮像し、当該撮像した画像から輝点を検出する、光学表示ユニットの検査方法であって、前記輝点の検出に際し、輝点の焦点深度を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型の装置を用い、簡単な操作で、ガラス基板の破損を防止して、多数のガラス基板を同時に表面研磨し、安全、高生産性かつ高歩留まりで平滑なガラス表面を有する研磨ガラス基板を提供する。
【解決手段】ガラス基板１の外周部の表裏両面ならびに端部を、液非透過性および強度付与性のマスキング材２でマスキングし、マスキングしたガラス基板１をマスキング部２ａで支持するように上下方向に配置し、面間隔を保つように並べてキャリア３にセットし、キャリア３にセットされたガラス基板１を研磨液５に浸漬してガラス基板１の両面を研磨し、研磨したガラス基板１の片面を、マスキング部２ａの内側に位置する追加ステージ１０上に支持し、カッタ１１を用いて分断することにより研磨ガラス基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】 製造工程にかかる時間を大幅に短縮するとともに、大幅なコストダウンを達成することのできるアレイ基板製造方法およびそれによって製造されるアレイ基板、対向基板、ならびにこれらを用いた液晶パネル製造方法を提供する。
【解決手段】 所定の形状のパターンが形成された版を使用してブランケット表面にパターニングしたインク層をアレイ基板に転写した後焼成する印刷方法を使用するアレイ基板製造方法において、第１工程において、前記印刷方法を使用して、カラーフィルタ用のインク層をアレイ基板に転写した後焼成することによってカラーフィルタを形成し、第２工程において、前記印刷方法を使用して、少なくともスペーサ用のインク層または配向突起用のインク層をカラーフィルタが形成された前記アレイ基板に転写した後焼成することによって、少なくともスペーサまたは配向機能素子を形成するようにする。 （もっと読む）

【課題】バックライトの光源としてＬＥＤを使用している液晶表示装置において、当該液晶表示装置に搭載されたＬＥＤバックライトモジュールに含まれている資源の有効利用を可能とする液晶表示装置の処理方法を提供する。
【解決手段】バックライトの光源としてＬＥＤを使用している液晶表示装置の処理方法であって、液晶表示装置からキャビネットを分離して液晶パネルモジュールを得る工程と、液晶パネルモジュールをバックライトシャーシ組品と液晶パネルユニットとに分離する工程と、バックライトシャーシ組品からＬＥＤ基板を取り外す工程と、金属を回収する工程とを含む液晶表示装置の処理方法。 （もっと読む）

【課題】フィルムの貼付に際して、フィルムの吸着及び吸着解除を確実に行うフィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】フィルム貼付装置１００のフィルム貼付部１０は、回転軸２０に回転可能に支持される円筒状の外側枠体３０と、回転軸２０に外側枠体３０と独立に回転可能に支持される内側枠体４０との間に形成される閉空間Ｅを有する。フィルムステージ５０は、外側枠体３０の円筒面にフィルム５１を供給する。貼付ステージ６０は、円筒面に供給されたフィルム５１を貼付する液晶パネル６１を載置する。閉空間Ｅが、外側枠体３０の第１の隔壁３４と、内側枠体４０の第２の隔壁４１とによって、大気に連通する第１の領域Ｆと、減圧される第２の領域Ｇとに区画され、外側枠体３０及び内側枠体４０のいずれかを回転させて、第１の領域Ｆ及び第２の領域Ｇを縮小又は拡大させて、フィルム５１を吸着又は吸着解除する。 （もっと読む）

【課題】銀及び／又は銀合金を含む基板に適用できるフォトレジスト剥離液組成物を提供する。
【解決手段】銀および／または銀合金を含む基板のフォトレジスト剥離液組成物であって、−式（Ｉ）ＮＨ_２−Ａ−Ｙ−Ｂ−Ｚ式中、Ａ、Ｂは、それぞれ相互に独立して、直鎖状または分枝鎖状の炭素数１〜５のアルキレン基であり、Ｙは、ＮＨまたはＯのいずれかであり、Ｚは、ＮＨ_２、ＯＨ、ＮＨ−Ｄ−ＮＨ_２（ここでＤは直鎖状または分枝鎖状の、炭素数１〜５のアルキレン基である、）で表される化合物、−式（ＩＩ）ＮＨ_２−Ａ−Ｎ(−Ｂ−ＯＨ)_２式中、Ａ，Ｂは式（Ｉ）と同じで表される化合物、−モルホリン、−Ｎ−置換モルホリン、−ピロカテコール、−ハイドロキノン、−ピロガロール、−没食子酸、及び−没食子酸エステルからなる群から選択される１種または２種以上と、１種または２種以上の極性有機溶剤とを含有する、前記フォトレジスト剥離液組成物。 （もっと読む）

【課題】経時変化により剥離することが困難になる程度が低い光学部材、並びに薄型化が可能で、耐久性に優れながら、リサイクルが容易である液晶表示装置を提供する。
【解決手段】偏光板、第１粘着層、位相差フィルム、第２粘着層、及び円偏光分離素子を有する光学部材で、偏光板と第１粘着層との界面の２５℃における初期剥離力Ｐ_１１及び１５０℃８時間エージング後の２５℃における剥離力Ｑ_１１、位相差フィルムから円偏光分離素子までの間の２５℃における初期剥離力ＰＸ、及び位相差フィルムから円偏光分離素子までの間の１５０℃８時間エージング後の２５℃における剥離力ＱＸについて、（ＰＸ−Ｐ_１１）＜（ＱＸ−Ｑ_１１）が成り立ち、且つ、第１粘着層がシリコーン系組成物の硬化物である光学部材；ならびにこれを有する液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】表示部及び保護部にダメージを与えることなく容易かつ確実にリペア作業を行いうる表示装置の製造技術を提供する。
【解決手段】本発明では、（Ａ）前記表示部又は前記保護部の少なくとも一方に、前記樹脂硬化物の原料である樹脂組成物を塗布する。（Ｂ）前記表示部と前記保護部とを樹脂組成物を介して密着させる。（Ｃ）前記保護部の外方から紫外線を照射して前記樹脂組成物を硬化させることにより、前記表示部と前記保護部との間に前記樹脂硬化物層を介在させる。工程（Ｂ）の後、樹脂組成物層の不具合に応じ、（ｂ１）前記表示部と前記保護部とを分離する。（ｂ２）分離された前記表示部及び前記保護部上に付着している樹脂組成物を、有機溶剤を含有する除去用溶液によって剥離除去する。 （もっと読む）

【課題】処理物に対して処理液を均一に浸すことができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】基板２０上のカバーフィルム２１に対して剥離液５１を浸すことによって、このカバーフィルム２１に化学反応処理を施す液処理装置において、基板２０を搬送するローラー３０と、剥離液５１を噴出する第一シャワーヘッド５０と、この第一シャワーヘッド５０とローラー３０との間に設けられ、剥離液５１が基板２０に直接噴射されるのを防止する邪魔板４０とを有するフィルム膨潤剥離区間を備える。このため、第一シャワーヘッド５０から噴射される剥離液５１が基板２０表面のカバーフィルム２１に直接噴射されるのを防止することができるので、基板２０表面の剥離液５１の流れを抑制することができ、基板２０表面全体に剥離液５１を行き渡らせることができ、カバーフィルム２１全体を膨潤剥離させることができる。 （もっと読む）