【課題】処理物に対して処理液を均一に浸すことができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】基板２０上のカバーフィルム２１に対して剥離液５１を浸すことによって、このカバーフィルム２１に化学反応処理を施す液処理装置において、基板２０を搬送するローラー３０と、剥離液５１を噴出する第一シャワーヘッド５０と、この第一シャワーヘッド５０とローラー３０との間に設けられ、剥離液５１が基板２０に直接噴射されるのを防止する邪魔板４０とを有するフィルム膨潤剥離区間を備える。このため、第一シャワーヘッド５０から噴射される剥離液５１が基板２０表面のカバーフィルム２１に直接噴射されるのを防止することができるので、基板２０表面の剥離液５１の流れを抑制することができ、基板２０表面全体に剥離液５１を行き渡らせることができ、カバーフィルム２１全体を膨潤剥離させることができる。 （もっと読む）

【課題】樹脂硬化物による接合部分にダメージを与えることなく容易かつ確実にリペア作業を行いうる表示装置の製造技術を提供する。
【解決手段】本発明では、（ａ）表示部又は保護部の少なくとも一方に樹脂組成物を塗布する。（ｂ）表示部と保護部とを樹脂組成物を介して密着させる。（ｃ）保護部の外方から紫外線を照射して樹脂組成物を硬化させることにより、表示部と保護部との間に樹脂硬化物層を介在させる。更に樹脂硬化物層の不具合に応じ、（ｄ）保護部と表示部とが接合された樹脂硬化物層の側面側から当該樹脂硬化物層の厚さより径の小さいワイヤーを当接させて当該樹脂硬化物層内を移動させることにより表示部と保護部とを分離する。（ｅ）分離された表示部及び保護部上に付着している樹脂硬化物を、有機溶剤を含有する除去用溶液によって剥離除去する。その後、（ｆ）工程（ａ）〜（ｃ）を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】無駄な処理液流を抑制して表面処理効率を向上できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板Ｗは、リフター３０の３本の基板保持棒３３，３４，３５によって起立姿勢で保持されて処理槽内の処理液中に浸漬される。積層配列された複数の基板Ｗの前後には第１ガイドプレート４０および第２ガイドプレート５０が設けられる。第１ガイドプレート４０および第２ガイドプレート５０は、処理槽内に処理液を吐出する吐出ノズル２０に設けられた複数の吐出孔の配列における両端よりも外側に対向する位置に配置されている。第１ガイドプレート４０および第２ガイドプレート５０によって基板Ｗの配列の外側に向けて処理液が流れることが防止され、無駄な処理液流を抑制して表面処理効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】製造工程の増加を抑制して、製造工程において、プラスチック基板の変形及び支持基板からの剥離を抑制すると共に、プラスチック基板と支持基板との間への処理液の侵入を抑制する。
【解決手段】支持基板１に支持させたプラスチック基板１１を処理室に搬入した後にその処理室の内部を真空引きする真空引き処理よりも前にプラスチック基板１１に貫通孔１１ａを形成した後に、真空引き処理を行ったときにプラスチック基板１１と支持基板１との間に介在する気体を貫通孔１１ａを介して外部に排出させるように構成された蓋部材３によって貫通孔３を覆うようにした。 （もっと読む）

【課題】層間ズレ測定用パターン領域を小さくし、基板の利用効率を向上した表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】表示領域に形成されたパターンと共に層間ズレ測定の基準となる層間ズレ測定用パターンを第１層パターンとして形成した絶縁基板上に、第１層パターンよりも後にパターニングする第２層を形成し、第２層の上に塗布したホトレジストのうち、層間ズレ測定用パターン上のホトレジストはハーフトーン露光し、表示領域のホトレジストは通常露光、現像してレジストパターンを形成する。その後、層間ズレ測定用パターン上のレジストパターンと層間ズレ測定用パターンとのズレを測定した後、アッシングにより表示領域に位置するレジストパターンを残しつつ層間ズレ測定用パターン上のレジストパターンを除去し、残った表示領域のレジストパターンをマスクとして第２層をパターニングする表示装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】スペックルによるノイズを従来よりも効果的に低減して表示品質を向上させることが可能な投射型表示装置を提供する。
【解決手段】屈折型拡散素子１６Ｒ，１６Ｇ，１６Ｂにより拡散成形される拡散光を、液晶パネル１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂ上に部分的に照射するようにする。従来と比べ、電場間の干渉効果が抑えられる。また、モーター１３１および斜め研磨プリズム１３２によって、レーザ光源１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂからのレーザ光の出射光路を連続的に移動させると共に、上記拡散光の少なくとも一部の照射領域同士が互いに重なるように、液晶パネル１７Ｒ，１７Ｇ，１７Ｂ上を連続的に移動させるようにする。従来とは異なり常に光路が変動することとなり、瞬時であっても光路が固定するのが回避される。 （もっと読む）

【課題】 光源光中の赤外線帯域の光のエネルギーを除去し、光源及び光学素子の劣化が少ない投射型表示装置を提供する。
【解決手段】光源２から射出した光束の光路上に配設された、平行光変換手段と、赤外線透過手段２３と、紫外線／赤外線反射手段２４と、内部に少なくとも平行光変換手段、赤外線透過手段２３及び前記紫外線／赤外線反射手段２４をそれぞれ配設した光学筐体８とを備え、赤外線透過手段２３は、光源２から射出した光束の光路に対し４５度傾斜して光学筐体８内に配設されており、紫外線／赤外線反射手段２４は、赤外線透過手段２３から射出した光束の光路に対し直交して光学筐体８内に配設されており、赤外線透過手段２３を透過した赤外線帯域の光の光路に対して赤外線減衰体２５を傾斜して設置する。 （もっと読む）

【課題】 可とう性を有するシート状部材の側面に付着したダストを確実に除去することができるダスト除去方法およびダスト除去装置を提供する。
【解決手段】 第１工程で、除去開始時点での当接状態として、シート側法線１４と除去側法線１５との成す角度θが９０度より大きく、かつ１８０度未満となるように当接させる。次に、第２工程で、シート状部材１１の側面の厚み方向に沿うように、角度θが除去開始時点の角度から小さくなるように、かつ角度θが０度より大きく、かつ９０度未満となるように除去ユニット１２を回転させる。最後に、第３工程で、除去面１３をシート状部材１１から離反して除去処理を終了する。 （もっと読む）

【課題】基板上に予め形成された基板側アライメントマークがブラック層により覆われたとしても、基板側アライメントマークを用いて基板に対してブラック用マスクを精度良く確実に位置決めすることができるカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルターの製造方法において、基板２上にＲ画素パターン３と、Ｇ画素パターン４と、Ｂ画素パターン５とを形成すると共に、基板側アライメントマーク６を形成する工程と、これらの画素パターン３、４、５および基板側アライメントマーク６上に、ＩＴＯ層７を形成する工程と、ＩＴＯ層上全面にブラックインキを用いてブラック層を形成する工程と、ブラック層のうち、基板側アライメントマーク６に対応する部分に透明部を形成する工程、ブラック用マスクの位置決めを行う工程と、ブラック用マスクを介して露光し、現像することにより遮光層８を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】熱光線の波長にかかわらず、確実に吸光して局所加熱可能な表面処理方法を提供する。
【解決手段】黒系色の吸光膜９３を被処理物９０の外周部（処理すべき部位）に被膜する。照射手段３３からの熱光線３５を被処理物９０の吸光膜被膜部位の一箇所Ｐ１に局所照射するとともに、噴出部４３からオゾン（処理ガス）を局所照射箇所Ｐ１に噴き付け、吸引部５４にて局所照射箇所Ｐ１の近傍のガスを局所的に吸引する。 （もっと読む）

【課題】表示品位に優れた液晶表示パネルを提供する。
【解決手段】液晶表示パネルは、走査線と、信号線と、スイッチング素子と、画素電極１７と、を有したアレイ基板１０と、貫通孔２２ａを含む共通電極２２を有した対向基板２０と、アレイ基板及び対向基板の何れか一方に形成され、画素電極から外れて位置し、貫通孔に重ねられ、アレイ基板及び対向基板間の隙間を保持する柱状スペーサ５０と、アレイ基板及び対向基板間に挟持された液晶層８０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】可燃性有機溶剤を基板に供給して所定の表面処理を施す基板処理装置および方法において、Ｘ線照射を用いた除電を効率的に行う。
【解決手段】基板処理装置が行う一連の処理のうち可燃性雰囲気が形成される処理はＩＰＡ液を用いた置換処理に限定されることから、Ｘ線照射を用いた除電処理を置換処理に限定して用いる。すなわち、Ｘ線照射の開始および停止をＩＰＡ液（可燃性有機溶剤）の供給タイミングに対応して設定している。したがって、Ｘ線照射が必要最小限に止められ、Ｘ線照射を用いた除電を効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】光により媒体に画像の形成および消去を行う画像形成装置が備える遮光部を小型化する手段を提供する。
【解決手段】画像形成装置１は媒体９を載置可能な筐体１１と、媒体９を挟み筐体１１に対向する位置に設けられた光照射バー１２を備えている。光照射バー１２は開閉可能な遮光板１２３を有しており、長手方向を横切る方向に定速で搬送されながら媒体９に対し画像を示す光を照射する間には遮光板１２３が開かれて媒体９の広範囲を遮光する。光照射バー１２および遮光板１２３により遮光されている領域には画像形成電圧が印加され、光の照射された位置の液晶層の配向状態が変更される結果、媒体９に画像の形成が行われる。画像の形成が完了すると、光照射バー１２の遮光板１２３は閉じられる。 （もっと読む）

【課題】純水と窒素ガスとを衝突させて純水の液滴を形成して供給する液滴供給方法、液滴を供給する二流体ノズルおよび液滴を基板に供給して基板処理を施す基板処理装置において、液滴の微粒化を高める。
【解決手段】液体吐出口３４２から純水が吐出されるとともに、液体吐出口３４２を挟み込むように設けられた気体吐出口３４１、３４３から窒素ガスが吐出され、純水と窒素ガスとの衝突によって純水の液滴が形成される。このように互いに異なる２経路で、しかも挟み込むように窒素ガスが純水の液流れに吐出されて純水に対してせん断力が作用する。しかも、いずれの気体吐出経路においても、窒素ガスが純水の液流れに対して直角に吐出されるため、上記せん断力がさらに高められる。その結果、微細な液滴が形成される。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルの各電極を破壊することなく、ＴＦＴ素子や駆動ＩＣドライバの破壊を防ぐことのできる保護フィルム剥離装置および保護フィルム剥離方法を提供する。
【解決手段】
保持台１０１、支持部材１０２および樹脂パッド１０３は液晶パネルＰを保持し、剥離部材１０４および移動手段は保護フィルムＦを液晶パネルＰから剥離し、発光部１０５および受光部１０６は液晶パネルＰの帯電量を検出し、電極部１０７は液晶パネルＰの保護フィルムＦが剥離される側の面に対して反対側に、液晶パネルＰと所定の間隔を隔てて配置され、電位調整部１０８およびバイポーラ電源１０９は発光部１０５および受光部１０６が検出した液晶パネルＰの帯電量に基づいて、液晶パネルＰの帯電量を減少させるように電極部１０７の印加電位を調整するようにする。 （もっと読む）

【課題】すでにパターンが施された基板のパターン欠陥部にインキを転写して修正するパターン修正方法において、従来のフィルム転写方式を用いたパターン修正方法の不具合を解決し、パターン修正部の正確な位置決めや修正フィルムの転写後のパターニングを必要としない高精度なパターン修正方法およびパターン修正装置を提供する。
【解決手段】インキ剥離性フィルム１０７上にパターニングした予備乾燥インキ膜１１３を基板１１５上パターン欠陥部に加圧転写して修正し、前記インキ剥離性フィルム１０７上にパターニングした予備乾燥インキ膜１１３を得る方法として、インキ剥離性フィルム１０７上に修正用インキを塗布し、予備乾燥状態にしてから、必要とするパターンを凹部とする版１０９を接触させ、余分なパターン部を版１０９凸部へ転移させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
互いにパターン（平面形状）の異なる２種類以上の薄膜を積層した積層構造を形成する工程にて、１回のフォトリソグラフィ工程で夫々の薄膜形状を画定すること。
【解決手段】
基板１上に２層の薄膜３，２を順次成膜し、次に薄膜２の上面に形成された第１マスクパターン４を用いて薄膜２のエッチングを行い、第１の薄膜パターン６を形成する。その後、第１マスクパターン４を残した状態で第１マスクパターン４及び薄膜２の上に、有機材料のオフセット印刷、インクジェット印刷、又はディスペンサノズルによる追加塗布で第２マスクパターン５を形成する。最後に、薄膜３を第１マスクパターン４及び第２マスクパターン５を用いて第２の薄膜パターン７に成形し、続いて２つのマスクパターン４，５を除去する。以上の工程により、フォトリソグラフィが第１マスクパターン４を形成する１回のみに制限されるも、基板１の主面に所望の積層構造が形成される。 （もっと読む）

【課題】回動体による基板の損傷を防止して、基板表面の円滑な除塵を実現することができる基板用除塵装置を提供する。
【解決手段】除塵ユニット２は、エア排出室５とエア吸引室７とを備えると共に、エア排出室５及びエア吸引室７が基板３０の搬送方向Ｒ１に沿って配置され、エア排出室５から噴出用流路６を介して基板３０の表面に向けて噴出させた清浄エアをエア吸引室７に吸引させるように構成される。また除塵ユニット２は、エア排出室５とエア吸引室７との間に設けられ、エア吸引室７の吸引力に抵抗する抵抗力を搬送中の基板３０に与えるために基板３０に従動して回動する回動体９を備える。さらに除塵ユニット２は、エア排出室５の清浄エアを、回動体９の表面であって基板３０との接触位置とは異なる位置に噴出させた後、吸引除去する異物除去用流路１０を有する。 （もっと読む）

【課題】機器のパネル剥がしに用いられるパネル剥がし治具及びパネル剥がし方法に関し、作業効率、作業性の安定化、作業の安全性を高めることにある。
【解決手段】治具本体（４）に設置される携帯電話機（６）等の機器のパネル（１０）と機器本体（筐体部１６）との間の接着部分にスライサ（３８、剥離刃７６）を食い込ませ、パネル（１０）に沿ってガイドレール（３２）上を移動させることにより、機器（携帯電話機６）からパネル（１０）を剥離させ、機器本体（筐体部１６）からパネル（１０）を離脱させる。 （もっと読む）

【課題】透明電極の形成において異物が付着した場合であっても、良好な表示品質を可能にする電気光学装置の製造方法等を提供することである。
【解決手段】電気光学装置に設けられた透明電極を複数回の透明導電膜成膜工程ＳＴ１０，ＳＴ２０によって形成し、複数回の透明導電膜成膜工程ＳＴ１０，ＳＴ２０の各工程間の１以上において洗浄工程ＳＴ１５を実施する。 （もっと読む）