【課題】 注入孔の周りに段差がある液晶素子を封孔材で封孔したところ長期信頼性で不具合が生じた。
【解決手段】注入孔に第１の封孔材１８を塗布する工程と、第１の封孔材１８を覆うように第２の封孔材１９を塗布する工程を有することにより、封孔材とシール材界面の密着力が弱い部分と、封孔材を注入孔へ流し込む際に生じる封孔材の不足部分を第２の封孔材１９で補強した。 （もっと読む）

【課題】 注入孔の周りに段差がある液晶素子を封孔材で封孔したところ長期信頼性で不具合が生じた。
【解決手段】注入孔に第１の封孔材１８を塗布し、さらに第１の封孔材１８を覆うように第２の封孔材１９を塗布したことにより、封孔材とシール材の密着力が弱い部分と、封孔材を注入孔へ流し込む際に生じる封孔材の不足部分を第２の封孔材１９で補強した。 （もっと読む）

【課題】ムラのない観察画像を得ることが可能な微細パターン修正装置を提供する。
【解決手段】この微細パターン修正装置では、ガラス定盤９を、各々が水平方向に移動可能に設けられた２枚の副ガラス定盤１０，１１に分割する。観察位置Ｐの下に副ガラス定盤１１のリフタピン孔２２がある場合は、副ガラス定盤１１を移動させてそのリフタピン孔２２を観察位置Ｐから離間させる。したがって、リフタピン孔２２などに起因する観察画像のムラを無くすことができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を用いることなく液が基板の表面に到達することを阻止した状態で基板の裏面、または基板の裏面およびエッジ部を液処理することができる液処理装置を提供すること。
【解決手段】液処理装置１００は、ウエハＷを水平に保持し、ウエハＷとともに回転可能なウエハ保持部２と、ウエハ保持部２をウエハＷとともに回転させる回転機構３と、ウエハ保持部２に保持されたウエハＷの裏面に液を供給する裏面側液供給ノズル６と、ウエハ保持部２に保持されたウエハＷの周囲を囲繞するように設けられた排液カップ５１と、ウエハ保持部２に保持されたウエハの外側に、裏面側液供給ノズル６からウエハ裏面に供給された液がウエハＷの表面側に回り込むことを阻止するように環状に設けられ、ウエハＷから振り切られた液を排液カップ５１に導く仕切り部材３５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ワークに付着している異物を粘着テープを用いて的確かつ効率よく除去する。
【解決手段】ワークである基板ｗに付着している異物を狙って局部的に粘着テープＴを貼り付け、該粘着テープＴを剥離することにより異物を粘着テープＴに移し取って基板ｗから除去する。好ましくは、粘着テープＴを非粘着面から押圧部材２６で押圧しながら基板表面に沿って押圧部材２６を相対移動させるとともに、押圧部材２６の相対移動に連動して粘着テープＴを粘着テープ供給手段から繰り出しながら基板ｗに貼り付け、かつ、粘着テープＴを剥離して回収する。 （もっと読む）

【課題】基板に吐出される処理液の流量を正確に計測することができ、これにより、基板に適切な処理を施すことのできる基板処理装置、および処理液流量計測方法を提供すること。
【解決手段】処理液供給路への第１薬液の流通が開始されたときの流量計の出力する計測値がサンプリングされ（ステップＴ９）、この計測値に基づいて、第１薬液の計測値の時間変化を表す計測パターンが形成される（ステップＴ１２）。その計測パターンの波形をＤＩＷパターンの波形にパターンマッチングさせる（ステップＴ１３）。パターンマッチングされた後の計測パターンと、ＤＩＷパターンとに基づいて、複数の計測値にそれぞれ対応する第１薬液の補正係数が演算される（ステップＴ１４）。パターンマッチング後の互いに波形のずれがない計測パターンおよびＤＩＷパターンに基づいて補正係数の演算が行われる。 （もっと読む）

【課題】基板に対して良好に洗浄処理を施すことができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】薬液ユニット１０は、基板Ｗの薬液処理を可能とするユニットである。洗浄ユニット６０は、薬液ユニット１０により薬液が供給された基板Ｗにマイクロバブル水を供給して、マイクロバブル水による洗浄処理を可能とするユニットである。洗浄ユニット６０は、主として、複数の上側ノズル６１と、複数の下側ノズル６２と、液ナイフ６６と、貯留槽２０と、マイクロバブル発生部２１と、を備えている。これにより、薬液処理後の基板Ｗにマイクロバブル水を供給することができる。そのため、薬液処理において基板に付着した薬液をマイクロバブル水により迅速に置換することができ、洗浄処理に使用される処理液の量を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】回収溝に回収される処理液への他の種類の処理液の混入を防止することができる基板処理装置、高さ方向における小型化を図ることができる基板処理装置、大幅なコストアップを招くことなく、回収される処理液の種類の増加に対応できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】内構成部材１９は、スピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられ、第１案内部２５、廃棄溝２６、内側回収溝２７および外側回収溝５２を一体的に有している。中構成部材２０は、内構成部材１９の外側においてスピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられ、第２案内部４８を有している。外構成部材２１は、中構成部材２０の第２案内部４８の外側においてスピンチャック１の周囲を取り囲むように設けられている。そして、内構成部材１９、中構成部材２０および外構成部材２１は、互いに独立して昇降可能にされている。 （もっと読む）

【課題】溶剤の結露に起因する欠陥の発生を防止して歩留まりを向上させることを可能とするカラーフィルタ製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】減圧加熱装置８は、減圧部９によりチャンバ４１内の空気を吸引して減圧し、加熱部１０により基板３の着色層４５を加熱する。着色層４５から水分や溶剤が気化して気化成分５１が生じる。気化成分５１は、分離膜４２を透過するので、下室４４から上室４３へ流入する（図５（ａ））。上室４３に流入した気化成分５１は、放熱等による温度低下により、結露５２となって上室４３の内面に付着する（図５（ｂ））。複数の基板３の減圧加熱処理を継続すると、結露５２の付着量が大きくなり、液滴５３となって落下する。液滴５３は、分離膜４２を透過しないので、分離膜４２の上に滞留する（図５（ｃ））。 （もっと読む）

【課題】 酸化膜にダメージを与えることなく、砒素がドープされたレジストを除去可能であり、酸化剤を含有しないレジスト除去用組成物を提供する。
【解決手段】 基板工程において砒素がドープされたレジストを除去する際にエチレンジアミンを含む組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルから保護シートを剥離する際に、偏光板表面に処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境や剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保つことができる保護シート剥離装置およびその剥離方法を提供する。
【解決手段】 剥離部４が移動しながら液晶パネル２から保護シート８を剥離し、ミストを生成し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面に向けてミストを吹き出し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺にあるミストを吸引する。液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を検出し、検出した湿度に基づいてミスト吹出量とミスト吸引量と前記剥離部４の移動速度とを制御するようにする。 （もっと読む）

【課題】基板からレジストを良好に除去することができ、かつ、そのレジストの除去に用いた処理液の再利用を図ることができる、基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】ミキシングバルブ８には、過硫酸生成槽１２において濃度４ｍｏｌ／ｌの低濃度硫酸を電気分解して生成される過硫酸と、温度１２０℃、濃度９６ｗｔ％の高温高濃度硫酸とが供給される。ミキシングバルブ８に過硫酸および高温高濃度硫酸が供給されると、これらが混合され、高温高濃度硫酸が過硫酸で希釈されることによる希釈熱が生じ、この希釈熱および高温高濃度硫酸が有する熱により、その過硫酸および高温高濃度硫酸の混合液は、高温高濃度硫酸の液温以上の高温に急速に昇温する。高温に昇温した混合液は、その後直ちにミキシングバルブ８からノズル３に送られ、ノズル３からウエハＷの表面に向けて吐出される。 （もっと読む）

【課題】基板に帯電防止処理を行う装置において、継続して使用しても静電気の帯電防止効率を低下させず、パーティクルを発生させない。
【解決手段】帯電防止装置２４には、ガラス基板Ｇの裏面に紫外線を照射する照射部１２０が設けられている。ガス供給部１１０とガス排出部１１１は照射部１２０を挟んで配置されている。ガス供給部１１０へ酸素含有ガスを供給するガス供給経路Ｍと、ガス排出部１１１からガスを排出するガス排出経路Ｎとの間には、戻し経路Ｒが接続されている。ガス排出経路Ｎを流れるガスは、その一部が戻し経路Ｒを流れて、ガス供給経路Ｍに戻される。ガス排出経路Ｎに排出されるガスのオゾン濃度は、オゾンモニター１２４によって測定され、その結果に基づいて、制御部１２５は、戻し経路Ｒに設けられたファン１２１の回転数を制御する。 （もっと読む）

【課題】液晶セル内のイオン性不純物の量を減少させることが可能で、焼きつき現象の発現を抑止でき、ひいてはより高品位な画質を得ることができる液晶表示素子および投射型液晶表示装置を提供する。
【解決手段】配向膜が所定間隙で対向するようにシール材１５で貼り合わせた一対の基板１１，１２間に液晶層１６が挟持された液晶表示素子１０であって、液晶層１６の材料は、測定温度７０℃における誘電率異方性Δεの範囲が−４．５から０未満である。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルから保護フィルムを剥離する際に、偏光板表面に処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境や剥離条件に影響されない安定した表面電位を保ち、さらに剥離される保護フィルムと干渉することなく偏光板の表面電位を検出することができる保護フィルム剥離装置およびその剥離方法を提供する。
【解決手段】 偏光板４１の表面電位を検出する表面電位計１１と、保護フィルムを偏光板から剥離する回転ローラー１２と、表面電位計１１と固定され表面電位計１１を移動させるための第１のリニアガイドステージ２１と、回転ローラー１２と固定され回転ローラー１２を移動させるための第２のリニアガイドステージ２２と、第１および第２のリニアガイドステージの移動速度を表面電位計１１が検出した表面電位に基づいて制御する移動命令部３１とを具備し、表面電位計１１を、保護フィルムＦが剥離される側の面に対して反対側に配置する。 （もっと読む）

【課題】処理液の上部に保護液層を形成することにより、処理液の損耗を防止することができるとともに、処理液及び基板の汚染を防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】噴出管７から処理液を処理槽１に供給させつつ回収槽１７から処理液を排出させるとともに、保護液供給部１９から純水を供給させつつ処理液排出孔１５及び回収槽１７から純水を排出させて、処理液の上面に純水による保護液層ＰＬを形成させる。保護液層ＰＬにより処理液の上面が塞がれた状態となるので、リフタ３３による基板Ｗの搬入出の際にオートカバー２７を開けても、処理液の蒸発が抑制できる。したがって、処理液の損耗を防止できるとともに、オートカバー２７への付着を防止でき処理液及び基板Ｗの汚染を防止できる。 （もっと読む）

【課題】投射像を投射する場合の放熱部分と、照明用として外部へ光を放射する場合の放熱部分とを共有化した照明装置およびランタンを提供する。
【解決手段】照明用光源４１と、照明用光源４１からの光を利用して投射像を投射するプロジェクタモジュール１４Ａと、照明用光源４１の光を照明用として外部へ放射する照明部２０と、プロジェクタモジュール１４Ａに照明用光源４１の光を導くとともに、照明用の光を遮光するモータ３３およびモジュール駆動部３６とを有する。 （もっと読む）

【課題】投射型表示装置に関し、光漏れや騒音が少なく、且つ内部の発熱部材を適切に冷却することができるようにすることを目的とする。
【解決手段】ハウジング１２と、ライトバルブ２０と、ライトバルブで形成された画像光を拡大投射するための投射レンズ３６と、ハウジング内に配置された少なくとも１つの発熱部材１４、３８、４０と、ライトバルブに冷却空気が当たるようにハウジングの内部に冷却空気を取り入れるための少なくとも１つの第１のファン４２と、少なくとも１つの発熱部材に直接に冷却空気が当たるようにハウジング内に配置された少なくとも１つの第２のファン４３、４４、４５と、ハウジングから外部へ冷却空気を排気するための第３のファン４６とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】異物除去の効率を維持しながら、表示パネルに付着したイオン性不純物を迅速かつ確実に除去する。
【解決手段】液晶表示パネル１に水を付与する水付与工程と、繊維からなる芯部７ａと、芯部７ａの周面を被覆し吸水機能を有する被覆部７ｂとを有し、自重の１００倍以上の水を吸収可能な高吸水性繊維７を棒状部材８の先端部分に取り付けて構成した拭き取り棒９によって液晶表示パネル１を擦り、液晶表示パネル８に付着した異物６および水を拭き取る拭き取り工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造効率を良好にして歩留まりを向上させ、且つ、薄型の表示パネルにおいても、基板端面強度を良好とすることができる表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液晶表示装置１０の製造方法は、第１表示素子区画を有するＴＦＴ基板４２を準備するステップと、第２表示素子区画を有するＣＦ基板４１を準備するステップと、準備したＴＦＴ基板４２及びＣＦ基板４１を貼り合わせて大判の貼り合わせ基板４３を形成するステップと、大判の貼り合わせ基板４３を構成するＴＦＴ基板４２及びＣＦ基板４１の少なくとも一方の外表面において、各表示素子区画に対応する領域にエッチング保護膜６１を形成するステップと、エッチング保護膜６１を形成した大判の貼り合わせ基板４３にエッチングを行うことにより、大判の貼り合わせ基板４３の平面視における各表示素子区画の外側部分を除去するステップと、を備える。 （もっと読む）