【課題】本発明によれば、撮影画角に関わらず、フレアやゴーストを有効に防止することができる光学鏡胴、結像光学システム、および撮影装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被写体光を結像させる焦点距離可変の光学系を収容した光学鏡胴において、
光学系により結像される被写体以外の外光の進入を防ぐ、光路上に配置され、電圧の印加開放を受けて光学系の焦点距離に応じて光透過有効径を変化させる遮光部材とを備えた。焦点距離が短い（すなわち、撮影画角が広い）ときには、遮光部材の光透過有効径を増加させることによって明るい撮影画像を得ることができ、焦点距離が長い（すなわち、撮影画角が狭い）ときには遮光部材の光透過有効径を減少させることによって、高精度に画像欠陥の発生を回避することができる。 （もっと読む）

【課題】 薄膜デバイス転写のためにガラス基板をフッ酸溶液に浸漬させてエッチングする従来技術では、高速且つ面内均一にガラスをエッチングすることができなかった。従来のエッチングレートでは、ガラス基板をエッチングするために２時間以上を要し、量産技術としてはスループットが非常に遅いという課題があった。
【解決手段】 ガラス基板１４にシャワー状のフッ酸溶液１６を吐出することによりエッチングが可能なエッチング装置１００、及びそれを用いたエッチングプロセスを提供する。シャワー１５の噴霧角度、シャワーノズル１３と基板１４との間の間隔、基板１４の揺動振幅長などを適切に設計することにより、シャワー１５を基板１４面内に均一に供給可能とする。基板１４表面への微粒子１７（フッ酸に対する不溶物）の付着を効果的に抑制でき、非常に高速且つ面内均一なエッチングを実現できる。 （もっと読む）

【課題】表示パネルやパネル体の基板の強度を上げることができる表示パネルの製造方法およびパネル体の製造方法を提供する。
【解決手段】下側基板および上側基板からなる表示パネルにおける端子部にポリイミドテープを貼り付けた後（ステップＳ５１）、表示パネル全体をエッチング槽に浸す（ステップＳ５２）。そして、所定時間が経過すると、表示パネルをエッチング槽のエッチング液から引き上げ、エッチング液を除去する（ステップＳ５３）。その後、端子部からポリイミドテープを剥離する（ステップＳ５４）。このような工程によれば、金属の配線を腐食させることなく、下側基板および上側基板における全てのエッジを一時にソフトエッチングすることができ、作業効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】 基材上に、その表面側から順に、修正対象の樹脂部とその下地であるＩＴＯからなる下地層を配設した複合基材において、下地層を損傷することなく、簡単に、且つ、確実に、樹脂部の突起欠陥の修正を行える、レーザ光による欠陥修正方法を提供する。
【解決手段】 レーザ光が複合基材上に照射される際の光強度（Ｗ／面積）である照射強度を制御し、樹脂部を除去できる照射強度で、且つ、下地層に損傷を与えない照射強度として、突起欠陥を含む領域に対して、繰り返し、ショット（パルス）照射を行い、該突起欠陥を除去し、突起欠陥領域の下地層を露出させる、突起欠陥除去を行う。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥として存在する突起を研磨によって正確に除去することが可能な基板のリペア装置及びその方法を提供する。
【解決手段】キャリッジ１００は、基板２に突出している突起４に対してＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向に沿って運動し得るように基板上に設置される。研磨テープ供給装置１２０は、キャリッジに装着されており、表面に研磨材層が塗布されている研磨テープを突起の上方に移送する。接触式変位センサ１３０は、研磨テープ供給装置によって移送される研磨テープ１１０の上方に位置するようにキャリッジに装着されており、研磨テープの裏面を押圧して突起に研磨材層を接触させるプレッサー１３２を備え、プレッサーの変位を検出する。変位制御器１５０は、プレッサーの押圧によって突起に与えられる圧力が制御されるようにプレッサーの変位を制御する。 （もっと読む）

【課題】表示パネル基板の幅よりも長い軸長を有する粘着ローラにより、表示パネル基板に付着している異物を除去する際の粘着ローラの偏摩耗を防止する。
【解決手段】粘着ローラ２により表示パネル基板Ｐの表面を清掃するにあたって、表示パネル基板Ｐの一端側の原点位置ＰＹ１で粘着ローラ２を表示パネル基板Ｐに所定の圧力で押し付け他端ＰＹ２側に向けて移動させたのち、粘着ローラ２を表示パネル基板上Ｐから上昇させて原点位置ＰＹ１に戻し、再度粘着ローラ２を表示パネル基板Ｐに押し付ける前に、粘着ローラ２を軸方向に所定距離ΔＸだけ移動させて粘着ローラ２の清掃に供される粘着面をずらす。 （もっと読む）

【課題】
搬送される基板面に付着したゴミ等の異物を効果的に除去する簡単、小型且つ安価な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】
基板４０の搬送方向に沿って所定間隔で配置された複数個の搬送コロ２２Ａ〜２２Ｄを含む搬送部２０と、この搬送部２０の搬送コロ２２Ａ〜２２Ｄのスリットノズル２４からエアー等の気体を吹き出し又は吸引する気体吹付／吸引部３０とを備えている。気体吹付／吸引部３０のブロアファン３１の吸気および排気を複数個の搬送コロ２２Ａ〜２２Ｄへ交互に供給する。 （もっと読む）

【課題】基板上のフィルムを除去するためのフィルム除去方法およびフィルム除去装置を提供する。
【解決手段】まず、プラズマ生成器および吸気装置を基板の上方に設け、次に、プラズマ生成器がプラズマビームをフィルムに対して斜めに射出し、吸気装置をプラズマ生成器から射出されたプラズマに対応する反射ルート上に位置させることにより、フィルムがプラズマ反応を経た後、反応が不完全なために生じた副生成物を吸い取ることで、基板表面をクリーンに維持することができるとともに、大気圧状態下で表面の除去処理をプラズマにより行うことによって副生成物の堆積が生じる欠点を解決できる。 （もっと読む）

【課題】ケミカルエッチングによって基板を薄化処理する場合に、スクライブ溝を良好に形成し、また、基板厚さを容易に違えることである。
【解決手段】スクライブ溝１６０の形成後に大判基板１１０，１２０をケミカルエッチングすることにより、基板１１０，１２０を薄化するとともにスクライブ溝１６０を深くする。その後、基板１１０，１２０を機械的に分断する。または、スクライブ溝１６０をケミカルエッチングによって主面１１０Ｓ１，１２０Ｓ１にまで到達させることにより基板１１０，１２０を分断する。一方の基板１１０，１２０上にコーティング膜を設けた状態で上記ケミカルエッチングを実施することにより、基板１１０，１２０の厚さを違える。または、基板１１０，１２０に厚さの異なる下地ガラス基板を利用することにより、コーティング膜を用いずに、基板１１０，１２０の厚さを違える。 （もっと読む）

【課題】平流し方式において被処理基板に気体を吹き付ける乾燥処理に際して基板表面より発生するミストの基板への再付着を効果的に防止して、処理品質を向上させる。
【解決手段】この乾燥処理室Ｍ5は隔壁１９４により搬送方向に沿って２つの室Ｍ5a，Ｍ5bに分割されており、隔壁１９４には搬送路１１４上の基板Ｇがわずかな隙間を空けて通り抜けできる開口部１９２が設けられている。搬送路１１４上で基板Ｇが隔壁１９４の開口部１９２を通り抜ける時、基板Ｇと開口部１９２との間にはわずかな隙間Ｋが形成され、この隙間Ｋを通って下流側の高圧室Ｍ5bから上流側の低圧室Ｍ5aに向って空気流Ａが吹き抜けることにより、基板Ｇの表面に付着している液Ｒa，Ｒbは空気流Ａの風圧によって基板後方へ払い落とされると同時に、一部がミストｍとなって上流側の室Ｍ5a内で飛散ないし拡散する。 （もっと読む）

【課題】着色画素上からブラックマトリックス上方の着色画素上にまで延長された枝リブ８４であっても、枝リブの全長にわたり、均一な幅を有する枝リブを形成する配向制御突起形成用のフォトマスクを提供すること。
【解決手段】ブラックマトリックス端上方の近傍の着色画素上に形成される配向制御用突起８４−３に対応したフォトマスク上の遮光部の幅（Ｗａ）を、また、ブラックマトリックス上方の着色画素上に形成される配向制御用突起８４−２に対応したフォトマスク上の遮光部の幅（Ｗｃ）を、その下方にブラックマトリックスを有しない着色画素上に形成される配向制御用突起８４−１に対応したフォトマスク上の遮光部の幅（Ｗｂ）より大きくしたこと。 （もっと読む）

【課題】基板上において各スペーサが電極上に偏在してしまうのを防止し、スペーサ散布領域において各スペーサを全体的に均一に分散させる。
【解決手段】電極６が形成された透明基板２上にスペーサ３を散布するチャンバ４と、チャンバ４の内部からスペーサ３が散布された透明基板２を搬出する基板搬送装置１４とを有し、基板搬送装置１４は、チャンバ４の内部においてスペーサ３が散布された透明基板２の下面を支持して、透明基板２をチャンバ４の外部に搬出する搬送部１０を備え、搬送部１０のうちチャンバ４の内部に挿入される部分を、全て絶縁材料により形成する。 （もっと読む）

【課題】基板表面から光学フィルムの一部を剥離除去する際に刃物が基板に食い込むことによる傷の発生を低減する。
【解決手段】光学フィルム剥離装置は、基板１００上に貼られた光学フィルム１０６を部分的に剥離するための装置であって、直線状に前後移動可能な可動部４０を備える。可動部４０は、可動部本体４８と、光学フィルム１０６をすくい取るように切除するための刃物８２を前向きに保持するツールホルダ４６とを備える。ツールホルダ４６は、可動部本体４８に対して、進行方向と垂直かつ水平な回転軸４９を中心に回動自在に取り付けられており、回転軸４９は刃物８２の前端よりも前方に位置する。 （もっと読む）

【課題】ガラス屑を原因とする問題の発生を低減させることのできる表示パネルの製造方法とフィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板を有する表示パネル１の分断工程において分断された表示パネル１にフィルムを貼付するフィルム貼付工程において、前記表示パネル１のフィルムを貼付する面を清掃する前に、前記分断工程において分断された面のエッジ部にガラス屑誘発部材２２を当接させて基板処理を行なう。 （もっと読む）

【課題】被照射物に対して均一に紫外線を照射することにより、均一に光化学処理を行うことが可能な光化学処理装置及び光化学処理方法を提供する。
【解決手段】被照射物１を光化学処理するための処理室２と、処理室２内に設けられ、被照射物を搬送するための搬送手段３と、処理室２内に、水平方向に一定の周期Ｔで配置され、被照射物１に紫外線を照射する複数の管状の紫外線光源４と、被照射物１を、複数の紫外線光源４の配置方向に、距離ｄ＝（２ｎ−１）Ｔ／２（ｎは１以上の整数）水平移動させる移動手段３を備える。 （もっと読む）

【課題】２枚の基板を接着剤によって貼り合わせたときに混入した異物を簡単に除去することのできる電気光学装置の製造方法及びその製造装置を提供する。
【解決手段】電気光学装置の製造方法は、画像表示のための表示領域を有する電気光学装置を構成する第１と第２の基板とを貼り合わせた後に、表示領域内に異物があると判定された場合、２枚の基板のそれぞれの貼り合わせ面を平面視したときに異物が２枚の基板の両方に重ならないようになるまで、２枚の基板の一方を他方に対して相対的に、かつ貼り合わせ面に平行に、移動させる工程を有する。さらに、それぞれの貼り合わせ面を近づけて、接着剤層の層厚を薄くする方向に、２枚の基板の一方を所定量だけ押し込む押込工程と、押込により薄くされた層厚を維持しながら、２枚の基板が貼り合わされたときの位置まで、２枚の基板の一方を移動する移動工程を有する。 （もっと読む）

【課題】作業性及び生産性の向上を図ることができ、液晶パネルのコスト低減に効を奏する液晶パネルの組立て方法を提供する。
【解決手段】パレット部２１によりフレーム１を垂直に支持し、このフレーム１にガラス基板８を垂直に立てて位置決めし固定し、この状態でガラス基板８の表ラミネートフィルム１１ａ及び裏ラミネートフィルム１１ｂの剥離作業を行っているので、従来の様に液晶パネルを反転させる必要がなく、作業工程の簡略化等が可能である。また、平面状のフレーム１にガラス基板８や回路基板９を固定しているので、これらの固定作業をフレーム１に対して一方向から行うことができ、ネジ締め等の作業性が向上する。この後、フレーム１の各帯状縁部分３、４を折り曲げてからベゼル１２を取り付けているので、ベゼル１２を一方向から取り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】コモン電位の長期通電による不安定さを改善し、長期にわたって良好な表示品質を維持することのできる液晶装置を提供する。
【解決手段】基板間導通材２０６が配置される部分の配向膜１６，２２を除去し、基板間導通材２０６と対向電極２１及び引き廻し配線２０９を直接接触させる。また、導電粒子２０８ａが配置される部分の配向膜１６を除去し、導電粒子２０８ａと外部回路実装端子２０２及びフレキシブル回路基板２０７の端子２０７ａとを直接接触させる。さらに、画像表示領域内に配置される配向膜１６と配向膜２２の電荷捕獲サイトの密度を等しくする。 （もっと読む）

【課題】処理シーケンスにより、異常放電を防止して、静電チャック及び基板が損傷する
のを防止することができるプラズマ処理方法及び電気光学装置の製造方法を提供する。
【解決手段】チャンバー１２内に置かれた基板Ｐに対して表面処理を施す際に、高周波電
圧印加によりプラズマを発生させて表面処理を行い、その処理時の基板Ｐの発熱に対して
冷却ガスを使用するプラズマ処理方法において、処理開始時に高周波電圧の供給を一旦遮
断した後、前記冷却ガスを導入することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可撓性給気管から発塵したとしても除塵ヘッドから噴射する前にその塵埃を捕集することで基板の汚染を防止し、除塵能力を高めた可動式除塵装置を提供する。
【解決手段】可撓性を有する第１弾性材製給気ホース１５・第２弾性材製給気ホース１９の下流であって除塵ヘッド１２の上流の流路に配置される第１フィルタ１３・第２フィルタ１７が第１弾性材製給気ホース１５・第２弾性材製給気ホース１９の屈曲時に管内に発生した異物を捕集して清浄エアを除塵ヘッド１２へ給気することで、除塵能力を高めた可動式除塵装置１０とした。 （もっと読む）