【課題】処理装置側の処理速度が速くなった場合でも対応することが出来、また横行コンベア又はトラバーサーが故障してしまった場合であっても、上記ガラス基板の投入や回収を行うことが出来る高速マルチローダーを提供する。
【解決手段】ガラス基板を処理する処理装置にガラス基板を投入し、処理装置で処理されたガラス基板を回収するマルチローダーであって、ガラス基板を収納したカセットとガラス基板を回収するカセットをそれぞれ載置する部位を三個以上備えた載置部と、載置部から処理装置側に順に設けられた、ガラス基板の受け入れ受け渡しを行う上下二段からなる第一搬送手段と、第一搬送手段とガラス基板の受け入れ受け渡しを行う左右二列と上下二段からなる第二の搬送手段と、第二の搬送手段と処理装置との間でガラス基板の受け渡し受け入れを行う第三の搬送手段と、を備えたことを特徴とするガラス基板の高速マルチローダー。 （もっと読む）

【課題】接着剤の付着を抑制し、ディスプレイパネルの高い生産効率を達成することができる貼合装置を提供する。
【解決手段】第１基板と第２基板とを接着剤を用いて貼り合わせる貼合装置であって、前記第１基板と前記第２基板との間の前記接着剤を加圧する加圧機構と、前記第２基板と前記加圧機構との間に配置され、前記接着剤から前記加圧機構を保護する保護シートと、前記第２基板に対する前記保護シートの接触位置を変更する位置変更部と、を備えることを特徴とする貼合装置。 （もっと読む）

【課題】基板上に異物があった場合でも支持部材を損傷させることなく、且つ修正スタンプの接触による基板表面の劣化を防ぎながら欠陥修正できると共に、１回の転写で欠陥部１１を修正できるようにする。
【解決手段】アレイ基板２上において形成膜（ＰＩ配向膜１０）が欠如した欠陥部１１を検出し、支持部材７ａの下端に設けた修正スタンプ７ｂの下面に表面張力により、修正インク７ｃを付着させ、欠陥部１１のある位置に、修正インク７ｃを付着させた修正スタンプ７ｂを移動させ、修正スタンプ７ｂの下面をアレイ基板２表面に当接させることなく下降させて修正インク７ｃを欠陥部１１上に塗布し、修正スタンプ７ｂを水平移動させることなく、垂直に上昇させて欠陥部１１から離れ、欠陥部１１に塗布された修正インク７ｃを乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】カスケード方式の洗浄装置における菌体の繁殖を簡易な手段で防止することができ、被洗浄物の洗浄効率を向上させることができる洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１がローラー２で搬送され、ジェット洗浄ノズル３及び最終リンスノズル４で洗浄される。最終リンスノズル４に純水が供給される。最終リンスノズル４からの洗浄排水がタンク７に流入し、ポンプ９からノズル３に供給される。タンク７内の菌体数が増加した場合、タンク７内の水をオゾン水供給装置１２に循環通水し、タンク７内にオゾン水を供給し、殺菌する。 （もっと読む）

【課題】パッシブ方式による３次元画像表示に関して、高い精度により効率良くパターン位相差フィルムを量産することができるようにする。
【解決手段】ロール版２０により配向膜に係る凹凸形状を作製するようにして、ラビング布５２をロール版２０の母材４０の側面に押し付けた状態で、母材４０を回転させながらラビング布５２を母材４０の回転軸に沿った方向に移動させることにより、母材４０の周囲を螺旋状に摩擦してラビング処理する。 （もっと読む）

【課題】ラビングステージに液晶表示素子基板の真空吸着機能を備える構成において、ラビングステージ上で液晶表示素子基板の旋回を可能にするとともに、アライメント調整により正確な位置決めをしてラビングステージに固定することが可能となるようにする。
【解決手段】ラビング装置におれるラビングステージの中央に、前記液晶表示素子基板の中央部を吸着し、該液晶表示素子基板を旋回する機能を有するアライメントヘッドと、前記液晶表示素子基板の中央部以外の部分を吸着または浮揚する機能を有する空圧テーブルを前記アライメントヘッドの外周を囲うように備える。 （もっと読む）

【課題】光学表示部品に所定の処理を施してなる光学表示デバイスの生産システムの運転方法において、不良品の発生を抑えて前記生産システムの収率悪化を防止する。
【解決手段】光学表示部品を生産システムのメインラインに所定量流通させ、光学表示部品に所定の処理を施す初期生産工程（ステップＳ３）と、初期生産工程後に初期生産工程で得た製品の不良を検査する初期製品検査工程（ステップＳ４）と、初期製品検査工程で検出した不良品の数に応じて本生産工程へ移行するか否かを判定する本生産移行判定工程（ステップＳ５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルに発生した不良を低コストで修正する。
【解決手段】液晶表示パネル５０ａの一方の表面に接触して、液晶表示パネル５０ａに対して加熱及び加圧を行う加熱加圧ユニット６０と、加熱加圧ユニット６０で加熱及び加圧が行われている液晶表示パネル５０ａの他方の表面に接触して、液晶表示パネル５０ａに対して加振を行う加振ユニット１００ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを最小限に抑えつつ、周辺での作業に支障をきたすことがないフィルム材の貼合装置を提供する。
【解決手段】 液晶パネルを搬送するローラコンベア５と、液晶パネルの表裏面に貼合される偏光フィルムの偏光フィルムシートをロールＲ１から巻き出すと共にハーフカットして切り出す搬送装置と、ロールＲ１を支持する搬送台車３０を備え、搬送台車３０がロール収容エリアとローラコンベア５下方のロール配置位置との間を移動可能に設けられ、搬送台車３０は、走行するべース部３２とこのベース部３２上でロールＲ１を支持するロール支持部３３とを備え、ベース部３２に対してロール支持部３３が水平面内で姿勢変化可能に支持され、搬送台車３０とローラコンベア５との間に、ローラコンベア５に対してロール支持部３３を位置決めするエアー浮上装置２９及び水平方向位置決め装置５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】塗布針と基板との接触圧力の軽減が可能な塗布装置および本塗布装置を搭載した欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】基板上の微細領域に液状材料を塗布して欠陥を修正するための液状材料塗布装置において、微細領域に液状材料を塗布する塗布針と、塗布針を上下方向に移動させるためのスライド機構と、スライド機構を上下方向に移動可能に支持する支持部材と、支持部材との距離が一定となるように設定された基板と塗布針との接触圧力を軽減する接触圧力軽減機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】液体冷媒に浸漬した状態のブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層の全面に均一な光照射を行うことができ、従って、ブルー相方式の液晶パネル材料が大型のものであっても、液晶層をむらのないブルー相状態とすることのできるブルー相方式の液晶パネルを製造することのできるブルー相方式の液晶パネル製造装置およびブルー相方式の液晶パネルの製造方法を提供すること。
【解決手段】ブルー相方式の液晶パネル製造装置は、液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料対して光を照射する紫外線光源が、当該紫外線光源と液晶パネル材料との間に液体冷媒と大気との境界面が存在しないように配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学表示デバイスの生産システムに用いられる光学表示部品の吸着装置において、吸着パッドの発塵を抑えて生産システムの歩留まりの低下を抑える。
【解決手段】液晶パネルＰを吸着するべく液晶パネルＰ側に延びるリップ（第三傾斜部２６ｅ）を有する吸着パッド２６と、吸着パッド２６内に保持されるＰＥＥＫ製のアタッチメント２７とを備え、アタッチメント２７が、吸着パッド２６のリップの先端と液晶パネルＰとの間に介在するパッド接触制限部２７ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、撮影した複数の赤外線画像から欠陥位置特定に適した画像を抽出して、短絡欠陥部の位置を正確に特定することを目的とする。
【解決手段】 本発明の配線検査方法は、基板に形成された配線の短絡欠陥部の有無を検査する配線検査方法であって、配線に電圧を印加して前記短絡欠陥部を発熱させる発熱工程（Ｓ３〜Ｓ６）と、基板を撮影して複数の時刻毎の赤外線画像を取得する画像取得工程（Ｓ２〜Ｓ５）と、所定時刻の赤外線画像を用いて発熱領域を認識する発熱領域認識工程（Ｓ８）と、発熱領域から短絡欠陥部の位置を特定できるか判定する発熱領域判定工程（Ｓ９）と、発熱領域から短絡欠陥部の位置を特定する欠陥位置特定工程（Ｓ１０）とを含み、発熱領域認識工程はさらに、発熱領域判定工程において短絡欠陥部の位置を特定できないと判定されたとき、所定時刻と異なる別時刻の赤外線画像を用いて、発熱領域を認識することを特徴とする。 （もっと読む）