【課題】 ワークを液滴吐出ヘッドに対して高精度に位置合わせする。
【解決手段】 帯状のワーク８１に対して液滴を吐出する吐出ヘッドと、ワーク８１に形成されたマークを撮像して吐出ヘッドとワーク８１との相対位置関係を計測する撮像装置３２とを有する。撮像装置３２に対してワーク８１の表面に沿う方向に相対移動自在で、且つワーク８１に形成された第２マークを撮像する第２撮像装置３３を備える。 （もっと読む）

【課題】インクジェット法により形成される膜パターンに、断線や短絡等の欠陥の発生を抑止できる配線形成方法を提供する。
【解決手段】導電性微粒子を含有した液体からなる液滴Ｌ１，Ｌ２を、基板１１上の所定の配線形成領域に吐出して配線を形成する配線形成方法であって、液滴Ｌ１，Ｌ２を吐出する前に、基板１１上に表面処理を行う表面処理工程を有し、表面処理された基板１１上に、基板１１上に配置した直後の液滴Ｌ１の直径よりも大きく且つ、液滴Ｌ１の直径の２倍以下であって、液滴Ｌ１同士がつながらない配置ピッチで、液滴Ｌ１を配置する第１配置工程と、第１配置工程で配置された液滴Ｌ１どうしの間を埋めるように、基板１１上に液滴Ｌ２を着弾させる第２配置工程と、液滴Ｌ１，Ｌ２同士の間が埋められた状態で、熱処理又は光処理によって液滴Ｌ１，Ｌ２を導電膜に変換する工程と、を有する。 （もっと読む）