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Fターム[2H095BC31]の内容

写真製版における原稿準備・マスク (14,219) | 構成要素 (3,401) | ペリクル (569)

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Fターム[2H095BC31]に分類される特許

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【課題】蓋の目視検査性の向上を図ることができると共に、歩留まりをよくできるペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクル収納容器1は、ペリクル3を載置するペリクル載置台5と、ペリクル載置台5の上部を覆う蓋7と、を備え、蓋7は光線透過率が60%以下の部分を有する。 (もっと読む)


【課題】容器本体に固定された状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも固定状態を確実に維持でき、且つ蓋体を開いて開封したとき、固定状態を簡単に解除してペリクルの取り出しができるペリクル収容容器を提供する。
【解決手段】ペリクル16を載置した容器本体12と、ペリクル16を被覆する蓋体14とから構成され、容器本体12には、ペリクル16のペリクルフレーム16aの凹部26に、先端部16aが挿入されて回動可能のピン28と、ピン28を着脱可能に装着するピン装着部32とを備えたペリクル固定部18を複数個設置し、各ペリクル固定部18のピン装着部32に装着し、先端部16aをペリクルフレーム16aの凹部26に挿入したピン28を所定角度回動して、ピン28の先端部28aを凹部26から抜け出なくするように、ピン28を保持する保持手段としての突起部30と切欠部32aとを具備することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】容器本体の所定位置に固定した状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも前記固定状態を確実に維持でき、且つ前記固定状態を簡単に解除してペリクルの取り出しを可能とするペリクル収容容器を提供する。
【解決手段】ペリクル16を載置した容器本体12と蓋体14とから構成され、ペリクルフレーム16aの凹部26に、先端部28aを挿入した状態で回動可能のピン28と、容器本体12に設けた、ペリクルフレーム16aの凹部26から先端部28aが抜き出し可能にピン28を装着するピン装着部32と、容器本体12に被着した蓋体14の外側からピン装着部32のピン28を回動できるように蓋体14に形成した開口部14aと、開口部14aの閉塞板40とを備えたペリクル固定部18を複数設置し、ピン装着部32に装着したピン28を所定角度回動して、ピン28を保持する突起部30と切欠部32bとを具備する。 (もっと読む)


【課題】通過するEUV光の減衰が最小限に抑えられるペリクル、及び、俊敏に行なわれる往復運動によって生じる強い加速度に耐えることができるEUV用レクチルを提供する。
【解決手段】EUV透過膜、透過膜に接合されたハニカム形状構造物、及び、構造物を支持する、長方形又は正方形のフレームを有するEUV用ペリクル;及び、該ペリクルに接合されたEUV用フォトマスクを有するEUV用レチクル。前記ペリクルは、前記構造物が前記ハニカムの1辺Aと前記長方形のフレームの長辺又は正方形のフレームの1辺とのなす角度が±20°以内となるように構築されており、前記レクチルは、該レチクルがスキャナー内での露光時に往復運動する方向をペリクル膜に投影したときに、該往復運動の方向と前記ハニカム構造物のハニカムの1辺Aとがなす角度が±20°以内となるように、ペリクルがフォトマスクに接合されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ペリクルを露光原版に貼り付けたときの露光原版の変形を低減することができる、リソグラフィ用ペリクルを提供する。
【解決手段】自重を含む0.008〜5kgfの貼付荷重で露光原版に貼り付けたときに、エアパスが発生しない粘着層を持つことを特徴とする、リソグラフイ用ペリクル。前記粘着層は、ヤング率が0.01〜0.10MPa、引張接着強さが0.02〜0.10N/mmであり、表面の平坦度が0〜15μmである粘着層である。 (もっと読む)


【課題】露光装置より照射された平行光7を、被照射体6に傾斜させて出射するフォトマスク1であって、被照射体6を傾ける必要がなく、通常の密着露光装置で、1度の露光で多角度の斜め露光を、被写体6に対して行うことができるフォトマスク1を提供する。
【解決手段】透明基板の照射面側に、光透過部31のパターンが形成され、透明基板の出射面側の、パターンに対応した部位に斜面21、22が形成され、あるいは、さらに光透過部に、グレースケール膜が形成されていることを特徴とするフォトマスク。 (もっと読む)


【課題】 フォトマスクを汚染することのない反射型フォトマスク用の塵付着防止用治具、その取付け方法、取付け装置及び反射型フォトマスクの保管装置を提供すること。
【解決手段】 一方の面にパターンを有する反射型フォトマスクを収納して、前記パターンへの塵付着を防止するための塵付着防止用治具であって、前記反射型フォトマスクの一方の面の周端面を覆う基部と前記反射型フォトマスクの側面を覆う側壁部とからなるフレーム、及び前記反射型フォトマスクのパターンを所定の間隔を隔てて覆うように前記フレームの基部に設けられた保護膜を具備し、前記フレームの側壁部の上端が、前記反射型フォトマスクの他方の面とともに、固定部材により固定されることを特徴とする反射型フォトマスクの塵付着防止用治具。 (もっと読む)


【課題】 保管・輸送・開封に際しても、発塵することが少なく、袋に収納する製品、特にはペリクル容器の内部に収納されたペリクルを汚染することのないペリクル収納方法を提供する。
【解決手段】 ペリクルを収納した容器をクリーン仕様の第一の袋に入れてその口を閉じ、次いでこれを帯電防止機能を有する第二の袋に入れてその口を閉じ、更に帯電防止機能を有する第三の袋に入れて密閉することを特徴とするペリクル収納方法である。 (もっと読む)


【課題】少なくともひとつの辺長が1000mmを超えるような特に大型のペリクルを収納したペリクル収納容器を傾斜及び脱落させることなく安定にかつ清浄な状態を保ち保管するとともに、ペリクル収納容器及び収納されているペリクルに十分な緩衝能力を発揮して衝撃や振動を与えず、輸送及び運搬することが可能なペリクル用梱包箱を提供する。
【解決手段】ペリクル用梱包箱1は、少なくともひとつの辺長が1000mmを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器30を保管及び/又は輸送するための梱包箱であって、該梱包箱の内部底面に、該ペリクル収納容器の外部底面に突出した複数の脚部33を夫々挿入する凹みを有する複数の緩衝体18が、分離して取り付けられているものである。 (もっと読む)


【課題】シート材を成形したものでありながら、他の補強体を用いずとも、保管、輸送中の外力に耐え、内部に収納したペリクルへの異物付着を防止する十分な剛性を有する、軽量かつ低コストのペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクルを載置する容器本体と、ペリクルを被覆すると共に容器本体と周縁部で嵌め合い係止する蓋体とからなる樹脂のシート材を成形した少なくとも一辺の長さが500mmを超えるペリクル収納容器において、容器本体の互いに平行な2辺が、側面方向から見た場合に、蓋体と嵌め合い係止した周縁部の内側に少なくとも2段の立面を有する階段形状に形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 少なくともひとつの辺長が500mmを超える矩形のペリクルを安全、確実かつ容易にハンドリングできるペリクルハンドリング治具を提供する。
【解決手段】 ペリクルフレームの一対の辺の外側面に沿って配置される2本の腕部を有し、該2本の各腕部はその一端で連結部に接続され、該連結部には操作部が設けられ、該2本の各腕部上には少なくとも2箇のペリクルフレーム把持手段が、任意の位置に移動ならびに固定可能な移動手段に搭載されていることを特徴とし、前記ペリクルフレーム把持手段の先端はピン形状または爪形状を有し、該先端をペリクルフレームの外側面に設けられた凹み部または溝部に挿入してペリクルの把持を行う。 (もっと読む)


【課題】ペリクル膜の張力による撓みやハンドリング時における撓みが小さい、剛性の高いペリクルフレームならびにペリクルを提供する。
【解決手段】材質が炭素繊維と樹脂からなる複合材料を成型加工した後、表面に樹脂皮膜を付与して炭素繊維が表面に露出していないことを特徴とするペリクルフレームであり、該樹脂皮膜の材質がフッ素樹脂、シリコーン樹脂またはアクリル樹脂であり、前記樹脂皮膜を黒色とするのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】枠体の製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制する。
【解決手段】略矩形状に形成されて大型ペリクル膜3を展張支持する大型ペリクル用枠体2を構成する長辺2a,2bの一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部10a,10bを形成する。このように、長辺2a,2bの一部を屈曲させるという簡易な方法により屈曲部10a,10bを形成できるとともに、展張した大型ペリクル膜3の張力により大型ペリクル用枠体2の辺が内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体2の内側に入り込む辺の最大変位量を小さくすることができるため、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】分割枠とする場合であっても接合部に枠体よりも剛性の高い部材等を用いることなく実用上問題のない剛性及び寸法安定性を維持すると共に、歩留まりを向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル1のペリクル枠体2では、接合部22a〜22hにおける接合強度を10kgf以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部22a〜22hに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】 ペリクルフレームの内壁面に、薄い粘着剤層をコーティングすることにより、フォトマスクにゴミなどの異物が付着することを効果的に防止することができ、リソグラフィ用ペリクルの歩留まりを向上させることができるリソグラフィ用のペリクルの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のリソグラフィ用のペリクルの製造方法は、第一のスプレーノズル11と第二のスプレーノズル12とが所定の間隔で設けられたスプレーノズルセット10を用いて、まず、ペリクルフレーム20の内壁面1に、第一のスプレーノズル11から粘着剤溶液を噴射し、次いで、溶媒の揮発によって、粘着剤溶液中の粘着剤濃度が所定濃度以下にならないうちに、第二のスプレーノズル12から粘着剤溶液の溶媒を噴射するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】蓋体に吸着盤等が吸着可能であると共に、撓みにくい大型精密部材収納容器を提供すること。
【解決手段】大型精密部材4を載置する容器本体3と、容器本体3に係合可能であり、かつ、大型精密部材4を覆う蓋体2を少なくとも含む大型精密部材収納容器1において、蓋体の容器本体3に対向する天面21は、天面21の略中央部に位置する平面部23、および天面21の外周から平面部23の外周まで延出し、平面部23を支持する略平面の斜面部24を少なくとも有し、平面部23は、斜面部24の外周端から、天面21の長手方向の長さの0.2〜0.8%の高さだけ上方向に位置し、平面部23の長手方向の長さは、天面21の長手方向の長さの1/2以下であると共に、平面部23の短手方向の長さは、天面21の短手方向の長さの1/2以下としている。 (もっと読む)


【課題】補強板を用いずともペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保し、ペリクルを運搬する際のペリクル膜のシワの発生を防止する。
【解決手段】ペリクル枠体の一縁面にペリクル膜が展張されたペリクル4を載置するトレイ2と、該トレイ2の上部から被せる蓋3と、を有するペリクル収納容器21において、該トレイ2は、トレイ中央底面5と、該トレイ中央底面5から上部側に隆起してペリクル4を載置する略角環状の載置台6と、該載置台6の外周縁から水平方向に延びる外延部7a(嵌合部7)と、を有し、該トレイ中央底面5と該載置台6の間と、該載置台6と該外延部7b(嵌合部7)の間とに、それぞれに緩衝部8,9を有する。 (もっと読む)


【課題】 異物の侵入が無く、かつ、器具等を要さず、開封が容易な、製品包装袋による製品収納方法を提供する。
【解決手段】 製品収納袋の最奥部まで内容物を入れ、入れられた内容物の製品収納袋の開口側の端部位置と製品収納袋の開口部の距離の1/2の位置で一旦袋を折り曲げた後、更にその1/2の位置で袋を折り曲げ、その後内容物の端部に相当する位置で製品収納袋を折り返し、製品収納袋が開かないように折り返し部と収納物上の製品収納袋の外を粘着テープで留めることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 ストッカー棚部に清浄空気の流通を行い、ストッカー内の清浄度を維持しながら周辺からの異物の浸入を防止することが出来るクリーンルーム内製品保管用ストッカーを提供する。
【解決手段】 クリーンルーム内で使用する製品及び中間品ストッカーであって、ストッカーが棚状の構造を持ち、さらには前後が開口してクリーンルーム内の気流を流通させることが出来るようにしたものであって、ストッカーの一開口部側の全面を、一定距離を置いてパネルによって遮断し外部からの異物の侵入を防ぐようにしたことを特徴とするクリーンルーム内製品保管用ストッカーである。 (もっと読む)


【課題】補強板を用いずともペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保でき、ペリクルを自動取り出しする際のトレイ吸着にも最適な形状を得る。
【解決手段】ペリクル収納容器1は、ペリクル4が載置されるトレイ2と蓋3とにより構成され、トレイ2は、トレイ中央底面5と、ペリクル4が載置される載置台6と、蓋3との嵌合部7とを備える。載置台6には、トレイ2の外縁側に、ペリクルフレーム4bの高さ方向の段差8が形成され、トレイ中央底面5側に、ペリクルフレーム4bの高さ方向の段差9が形成される。段差9は、載置台6の角部付近に配置される第一水平面部の角部Aが略三角形状に形成されるとともに、第二垂直面部がトレイ2外形の対角線と交差する位置に配置される。 (もっと読む)


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