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Fターム[2H096CA05]の内容

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【課題】フォトレジストパターンの残渣物及びエッチング残渣物を効果的に剥離除去することができ、金属に対する防食性に優れ、さらには長時間の継続使用も可能なフォトリソグラフィ用剥離液、及びこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィ用剥離液は、(A)フッ化水素酸、(B)一般式(b−1)で表される塩基性化合物、及び(C)水を含有する。式中、R1bからR5bは、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基等を示し、R1bからR5bの少なくとも1つは水素原子である。R1bからR4bのうちいずれか1つとR5bとが相互に結合して環構造を形成してもよい。Y1b及びY2bは炭素数1〜3のアルキレン基を示し、nは0〜5の整数を示す。nが2以上のとき、複数のR5b同士及び複数のY1b同士は互いに同一であっても異なっていてもよく、R5b同士が相互に結合して環構造を形成してもよい。
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【課題】耐刷性、耐地汚れ性、インキ脱離性および耐網がらみ性の全てに優れた平版印刷版が得られる平版印刷版用支持体、およびネガ型感光性平版印刷版を提供する。
【解決手段】親水性層が含有する無機フィラーの粒度分布のピークが0.2μm以上0.6μm未満の範囲と、0.6μm以上1.5μm未満の範囲に存在し、0.2μm以上0.6μm未満の範囲に存在する無機フィラーの分布頻度をfx、0.6μm以上1.5μm未満の範囲に存在する無機フィラーの分布頻度をfyとしたとき、fx/fy比が1.5以上であり、かつ分布頻度fyが25%以上である平版印刷版用支持体、およびこれを用いたネガ型感光性平版印刷版。 (もっと読む)


【課題】1浴処理が可能で、耐刷性、インキ着肉性、及び印刷汚れにくさに優れた平版印刷版の製版方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、ビニルカルバゾール化合物由来のモノマー単位を有するアクリルポリマー、及び/又は、ウレタン−アクリルハイブリッドポリマーを含有する光重合性感光層を有するネガ型平版印刷版原版を作製する工程、前記ネガ型平版印刷版原版を画像様に露光する工程、及び、pH4〜10であり、(成分A)下記式(I)で表される化合物、及び、(成分B)水、を少なくとも含み、有機溶剤の含有量が5重量%未満である現像液により、露光された前記ネガ型平版印刷版原版を現像する工程、を含み、前記現像工程の前後での水洗工程及びガム引き工程を含まないことを特徴とする平版印刷版の製版方法。式(I)中、R1は置換若しくは無置換の、フェニル基、1−ナフチル基又は2−ナフチル基を表し、nは4〜20の整数を表す。
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【課題】裏露光を必要としないことからフレキソ印刷版のレリーフ深度を深くできるとともにその分作業工程を少なくでき、高精度に剥離現像可能な剥離現像用フレキソ印刷版原版を提供すること。
【解決手段】支持体12、支持体接着層14、感光層16、剥離接着層18、剥離体20の順で積層されたもので構成され、下記の(A)および(B)を満たすものとする。
(A)感光層16の硬化前には、感光層16と支持体接着層14との間の剥離力が、剥離接着層18と剥離体20との間の剥離力より小さい
(B)感光層16の硬化後には、感光層16と支持体接着層14との間の剥離力が、剥離接着層18と剥離体20との間の剥離力より大きい
(C)感光層16の硬化後には、剥離接着層18と剥離体20との間の剥離力が、感光層16の硬化部の破壊強度よりも小さい (もっと読む)


【課題】ブロックコポリマーのミクロ相分離を利用したパターン形成方法において、ブロックコポリマーの配向を容易に制御でき、より短時間で微細なパターンを形成できる方法を提供する。
【解決手段】実施形態のパターン形成方法は、基板11上に熱架橋性分子を塗布し熱架橋性分子層12を形成する工程と、前記熱架橋性分子層12上に感光性ポリマーを塗布して感光性ポリマー層17を形成する工程と、前記熱架橋性分子層12と前記感光性ポリマー層17とを加熱による架橋反応により接着する工程と、前記感光性ポリマー層17を選択的に露光することにより、露光部および未露光部の感光性ポリマーパターンを形成する工程と、前記感光性ポリマー層17上に、第1および第2のブロック鎖を含むブロックコポリマー層14を形成し、前記ブロックコポリマー層をミクロ相分離させ、前記ポリマー層13の表面エネルギーに基づいて前記第1および第2のブロック鎖のパターンを形成する工程と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【解決手段】ヒドロキシ基が酸不安定基で置換された繰り返し単位を有する高分子化合物と、酸発生剤と、有機溶剤とを含むレジスト組成物を基板上に塗布し、加熱処理後に高エネルギー線で上記レジスト膜を露光し、加熱処理後に有機溶剤による現像液を用いて未露光部を溶解させ、露光部が溶解しないネガ型パターンを得、その上に置換又は非置換のメチロール基と結合する窒素原子及び/又は芳香族基を有する架橋剤を含む溶液を塗布、ベークによってネガパターン表面で架橋することにより、ネガパターンのスペース部分の寸法を縮小させるパターン形成方法。
【効果】本発明のレジスト膜は、有機溶剤による現像におけるポジネガ反転の画像形成において、未露光部分の溶解性が高く、露光部分の溶解性が低く、溶解コントラストが高い特徴を有する。 (もっと読む)


【課題】耐刷性に優れ、且つ、非画像部の汚れ性が良好な平版印刷版を作製しうる平版印刷版原版、その製造方法、該製造方法により得られた平版印刷版を提供する。
【解決手段】支持体上に、下記一般式(I−1)で表される繰り返し単位及び一般式(I−2)で表される繰り返し単位を含むポリマーを含有する中間層と、ポジ型画像形成層と、を順次備えるポジ型平版印刷版原版である。式中、R、Rは水素原子、メチル基、又はエチル基を表す。Lは単結合、又は−COO−(CHCHO)n−を表し、R及びRはそれぞれ独立に、炭素数1〜3のアルキル基を表す。Lは、−COO−、−CONH−、及び炭素数1〜5のアルキレン基から選ばれる連結基、並びに、これらが2以上結合してなる連結基を表し、Lはアルキレン基、又は−CHCHOHCH−を表す。
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【課題】ネガ現像において得られるレジストパターンに適用できるだけでなく、ポジ現像で得られるレジストパターンにも適用できるレジスト下層膜形成用組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)一般式(1)で表される加水分解性ケイ素化合物と一般式(2)で表される加水分解性化合物とを含有する混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、及びRm1m2m3Si(OR)(4−m1−m2−m3)(1)U(ORm4(ORm5(2)(B)一般式(3)で表される加水分解性ケイ素化合物と一般式(4)で表される加水分解性ケイ素化合物とを含有する混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、Rm6m7m8Si(OR(4−m6−m7−m8)(3)Si(OR10(4)を含むケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】耐薬品性が改善されたポジ型画像形成要素を製造するための輻射線感受性組成物を提供すること。
【解決手段】a.特定のポリ(ビニルアセタール)であるアルカリ可溶性のポリマーバインダー、および
b.輻射線吸収性化合物、
を含む輻射線感受性組成物。 (もっと読む)


【課題】エッチング耐性を維持しつつ、アルカリ液を用いて容易に除去可能なレジスト下層膜を形成できるパターン形成方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、(1)アルカリ開裂性官能基を有する化合物を含有するレジスト下層膜形成用組成物を用い、被加工基板上にレジスト下層膜を形成する工程、(2)上記レジスト下層膜上にレジストパターンを形成する工程、(3)上記レジストパターンをマスクとした上記レジスト下層膜及び上記被加工基板のドライエッチングにより上記被加工基板にパターンを形成する工程、並びに(4)アルカリ液により上記レジスト下層膜を除去する工程を有するパターン形成方法である。 (もっと読む)


【課題】機上現像性及び耐刷性が共に優れ、特に長期保管後の機上現像性に優れた平版印刷版原版、並びにその製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に重合性画像記録層を有する平版印刷版原版であって、支持体と重合性画像記録層の間に支持体吸着性基を有する繰り返し単位(a1)とオキシアルキレン単位の繰り返し数が8〜120であるポリオキシアルキレン基を有する繰り返し単位(a2)を有する高分子化合物を含んでなる中間層を有し、中間層及び重合性画像記録層の少なくともいずれかに分子量が1500以下のオキシアルキレン基を有する化合物を含有することを特徴とする平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】酸性から中性域で現像可能であり、そして、その際に問題となる現像性、更に現像によって除去した感光層成分(現像カス)の分散安定性の問題を克服した平版印刷版用現像処理液及び平版印刷版の製版方法を提供する。
【解決手段】下記式<1>、<2>または<3>で表される化合物の少なくともいずれかを含有し、pH2〜10であることを特徴とし、支持体上に、画像記録層を有する平版印刷版原版を、画像様露光により露光部の画像記録層を硬化させた後、前記現像処理液にて現像を行うことを特徴とする。


(式<1>〜<3>中、R1〜R7はアルキル基等を、A〜Cはエチレンオキサイド基を含有する基等を、Dはカルボン酸アニオンを含有する基等を表す。Zは対アニオンである。) (もっと読む)


【課題】めっき後に細線乃至小ドットの金属パターンを高解像度で形成できる金属パターン材料及び金属パターン材料の製造方法の提供。
【解決手段】特定のめっき形成用光感応材料を6μm未満のピッチで露光する際に、6μmピッチ露光時の最適パワーに対し、100%未満であり、かつ〔(ピッチ(μm)×75/6+25)−30〕〜〔(ピッチ(μm)×75/6+25)+15〕%のレーザーパワーで露光する露光工程と、露光後のめっき形成用光感応材料を現像液で現像する現像工程と、現像後のパターンが形成されためっき形成用光感応材料を、めっき浴比が10未満でめっきを行うめっき工程とを含む金属パターン材料の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】無機膜上に形成するレジストパターンの形成性及びエッチング選択比に優れ、レジスト膜を薄膜化する場合においても忠実なパターン転写が可能な多層レジストプロセス用無機膜形成組成物、並びにパターン形成方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、[A]加水分解性基を有する金属錯体(I)、加水分解性基を有する金属錯体(I)の加水分解物及び加水分解性基を有する金属錯体(I)の加水分解縮合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物、並びに[B]有機溶媒を含有する多層レジストプロセス用無機膜形成組成物であって、[A]化合物が、第3族元素、第4族元素及び第5族元素からなる群より選択される少なくとも1種の金属元素を含有し、かつこの金属元素の含有割合が、[A]化合物に含まれる金属元素及び半金属元素の合計量に対し50モル%以上であることを特徴とする多層レジストプロセス用無機膜形成組成物である。 (もっと読む)


【課題】感度及び安定性の高い重合性組成物、並びに、高感度、高耐刷性で、保存安定性の高い平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】(A)一般式(1)で示されるボレート化合物、(B)増感色素、及び(C)重合性化合物を含む重合性組成物。支持体上に、該重合性組成物を含有する画像記録層を有する平版印刷版原版。


(一般式(1)においてR1、R2及びR3は、そのうちの一つ又は二つは、OR7、SR8又はNR9R10を表し、それ以外は、水素原子、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表す。R4、R5、及びR6はそれぞれ独立に、アリール基又はヘテロ環基を表す。[X]+は電荷を中和するカチオンを表す。R7、R8、R9及びR10はそれぞれ独立に、アルキル基、アリール基又はヘテロ環基を表し、2つのR8又はR9とR10で環を形成してもよい。) (もっと読む)


【課題】赤外レーザーで画像記録可能であり、耐汚れ性及び保存安定性を維持しつつ高耐刷である平版印刷版原版を提供する。特に機上現像可能な平版印刷版原版とその製版方法を提供する。
【解決手段】親水性支持体上に、(A)ポリマー微粒子、(B)ラジカル重合性化合物、及び(C)赤外線吸収染料を含有する画像記録層を有する平版印刷版原版であって、(A)ポリマー微粒子が、分子中に2個以上のヒドロキシ基を有する多価フェノール化合物とイソホロンジイソシアネートとの付加物である多価イソシアネート化合物、並びに、活性水素を有する化合物との反応により得られることを特徴とする平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】金属基材のような反射率の高い基材を用いた凸版であっても、良好なエッジ検出ができる版材が得られ、さらには欠陥検査機も併用できることで、安定的かつ高精度の印刷用刷版の管理を行うことを可能とする高精細パターン形成用凸版を提供する。
【解決手段】印刷用凸版100の樹脂層により形成される凸部パターン101と凸部パターン101を支持する金属製の基材105との間に、少なくとも400nmから800nmの波長領域の光を乱反射する層とそれに積層させ104の端部及び端面が印刷用凸版100の端部及び端面から外方に露出しないように覆う光透過層103と表面調整剤が付与されている耐油、耐水、あるいは耐溶剤性を持つ層102とが順次積層されている層構造を有する。 (もっと読む)


【課題】CTP方式に利用できる高感度な感光性平版印刷版材料であり、水により現像が可能で、特に紫外線硬化インキを使用した場合にも耐刷性が良好であり、またタック値の低いインキを使用した場合にも網絡みの発生のない印刷性に優れた感光性平版印刷版材料を提供すること。
【解決手段】支持体上に、水溶性ポリマーとヒドロキシアパタイトを含有する親水性層と、該親水性層上に、不飽和二重結合基を側鎖に有する水溶性重合体、光重合開始剤、および光重合開始剤を増感する化合物を含有する光重合性感光層を有する感光性平版印刷版材料。 (もっと読む)


【課題】プラスチックフィルム支持体上に、親水性層、光重合性の感光層を少なくともこの順に有する感光性ネガ型平版印刷版であって、非画像部の耐汚れ性を低下させずに画像部の耐刷性を改善し、耐刷性及び耐地汚れ性共に充分な性能が得られる感光性ネガ型平版印刷版を提供する。
【解決手段】親水性層がカルボキシ基を有する水溶性高分子化合物、グリシジル基またはカルボジイミド基を有する架橋剤、及び下記一般式(1)で示される化合物を含有する感光性ネガ型平版印刷版。
【化1】


(式中Rは水素原子またはメチル基を表し、Lは二価の連結基を表し、Mはカチオンを表す。) (もっと読む)


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