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Fターム[2H096CA11]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 感光層の形成 (2,014) | 被覆方法 (337)

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【課題】露光装置の生産効率を落とさない塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】塗布膜が形成された、露光前の基板を一旦仮置きする仮置き部と、基板の搬送経路における、基板が置かれるモジュールについてメンテナンスを行うために、当該上流側の基板の搬送を停止する時間の長さを設定するための停止時間設定部と、前記仮置き部に置かれた基板の枚数が前記停止時間の長さに応じた、前記処理ブロックによる基板の処理枚数に達したか否かを監視し、達した後に仮置き部の上流側の基板の搬送を停止するように制御信号を出力する制御部と、を備えるように塗布、現像装置を構成する。 (もっと読む)


【課題】ノズルのプライミング処理に用いる洗浄液の消費量を低減することができ、且つ、前記基板への塗布膜形成の際に、スリット状のノズル吐出口から塗布液を均一に吐出する。
【解決手段】ノズル16に塗布液を供給する塗布液供給手段20,32,33と、前記ノズルを、その長手方向を軸として回動させ、前記吐出口を上方に臨む状態とするノズル回動手段25と、前記塗布液供給手段と前記ノズル回動手段の駆動制御を行う制御手段50とを備え、前記制御手段は、前記プライミング処理において、前記ノズル回動手段により前記ノズルを回動させて前記吐出口が上方に臨む状態とし、前記塗布液供給手段により前記ノズルに所定量の塗布液を供給し、前記吐出口から前記塗布液を吐出させることにより、前記吐出口上に前記塗布液の隆起部R1を形成する。 (もっと読む)


【課題】基材表面に、導電性に優れ、断面のアスペクト比が高い導電性パターンを形成する方法およびその方法に用いる組成物を提供する。
【解決手段】導電性パターン形成用液状組成物を露光面を有する容器に供給する工程と、導電性パターンが形成される表面を有する基材を前記組成物に浸漬する工程と、露光面と基材の表面との間に所定厚みの組成物層が介在するように基材を配置し、組成物層にマスクを介して露光し、所定パターンの硬化物層を形成する工程と、露光面と形成された硬化物層の表面との間に所定厚みの新たな組成物層が介在するように基材を移動させ、その組成物層にマスクを介して露光し、所定パターンの硬化物層を更に形成する操作を1回以上行い、硬化物層の積層膜を形成する工程と、基材の表面から未硬化の組成物を除去する工程と、積層膜を熱処理する工程とを有する導電性パターンの形成方法およびその方法に用いる導電性パターン形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】基板にレジストを塗布し、露光後の基板を現像する塗布、現像装置において、露光処理の際の基板温度の安定化を図り、露光処理の歩留まりを向上させる。
【解決手段】レジストの塗布、現像を行う処理部S1の棚ユニットU1〜U3内に、レジスト塗布後の基板を加熱する加熱部と加熱された基板を冷却する冷却部とを設ける。そして処理部と露光装置との間に介在するインターフェイス部S3の棚ユニットU4に、露光前の基板を載置して当該基板の温度を露光処理に適した温度に調整するための温調プレートを備えた温度調整部を設け、前記冷却部で冷却した基板をこの温調プレートにより高精度に温度調整する。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、非画像部の汚れ防止性、色濁り防止性に優れ、かつ感度、耐刷性に優れる印刷版材料及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 基材上に、光熱変換剤粒子を含有する親水性層及び、感熱画像形成層を有する印刷版材料の製造方法において、該光熱変換剤粒子が金属酸化物粒子または金属酸化物で表面を被覆された粒子であり、該親水性層は該基材上に親水性層用塗布液を塗布し、乾燥して設けられた層であり、該親水性層用塗布液を塗布し、乾燥した後に、親水性層表面をクリーニングする工程を有することを特徴とする印刷版材料の製造方法。 (もっと読む)


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