【課題】微細なホールパターンを低コストで確実に形成することが可能な方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係るパターン形成方法は、インプリント法を用いて、第１の方向に延伸する溝パターンを有するインプリント材料層１２ａを基板上に形成する工程と、溝パターンをポジ型のレジスト材料で埋める工程と、第１の方向に直交する第２の方向に延伸する透光パターンを有するマスクを介してレジスト材料を露光する工程と、透光パターンを介して露光されたレジスト材料の部分を除去することでホールパターン１５を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】高いスループットが得られる現像装置を提供すること。
【解決手段】処理雰囲気を形成する気密な処理容器と、この処理容器内に搬入された基板の表面に現像液を結露させて液膜を形成するために、当該処理容器内に現像液のミストを供給する雰囲気ガス供給部と、前記液膜による現像を停止するために基板を乾燥する乾燥部と、を備えるように現像装置を構成する。現像液とレジストとの反応を停止させることができるので、洗浄モジュールによる洗浄処理と並行して現像処理を行うことができ、高いスループットが得られる。 （もっと読む）

【課題】基板表面全体に均一性高く現像液の液膜を形成すると共に高いスループットが得られる塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】現像モジュールと、洗浄モジュールと、前記現像モジュールにより現像された基板を前記洗浄モジュールに搬送する搬送機構と、を備え、前記現像モジュールは、処理雰囲気を形成する気密な処理容器と、この処理容器内に設けられ、基板を載置し、冷却するための温調プレートと、前記処理容器内に現像液のミストを含む雰囲気ガスを供給する蒸気供給部と、前記温調プレートを、前記蒸気が基板上に結露する温度に調整するための温度調整部と、を備えるように塗布、現像装置を構成する。現像モジュールと洗浄モジュールとで並行して処理を行えるので、高いスループットが得られる。 （もっと読む）

【課題】コントラストを増大させて、解像性能を良好とすることができる光消色性材料層用感光性組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式（１）で表される化合物及び樹脂を含有する光消色性材料層用感光性組成物。


［式（１）中、Ｒ^１及びＲ^２は、互いに独立に、水素原子、炭素数１〜１２の脂肪族炭化水素基、炭素数１〜１２のアルコキシ基、アクリロイル基又はメタクリロイル基を表す。前記脂肪族炭化水素基及びアルコキシ基に含まれる水素原子は、フッ素原子で置換されていてもよく、前記脂肪族炭化水素基及びアルコキシ基は、炭素−炭素二重結合を有していてもよい。］ （もっと読む）

【課題】本発明は、耐傷性と画質に優れた感光性組成物を提供することを課題とする。もう一つの課題としては、耐傷性、画質及び耐刷性に優れた感光性平版印刷版を提供する事である。
【解決手段】（１）平均繊維径１μｍ以下であるセルロース繊維を含有する事を特徴とする感光性組成物。（２）支持体上に、平均繊維径１μｍ以下であるセルロース繊維を含有する画像形成層を有する事を特徴とする感光性平版印刷版。 （もっと読む）