説明

Fターム[2H096HA03]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 現像後の処理 (2,818) | 一様露光(後露光) (215)

Fターム[2H096HA03]に分類される特許

1 - 20 / 215



【課題】微細なパターンを有し且つ優れた信頼性を有するソルダーレジストを表面に備えるプリント配線板を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】開口を有するソルダーレジストを表面に備えるプリント配線板の製造方法であって、ドライフィルムレジストして機能する第一の感光性樹脂組成物からなる第一の層を形成する工程、ソルダーレジストとして機能する第二の感光性樹脂組成物からなる第二の層を形成する工程とを備えるプリント配線板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】高感度であり、保存安定性に優れ、得られる硬化膜の信頼性(特に耐薬品性)に優れ、硬化膜製造の際の露光マージンや現像マージンが広い感光性樹脂組成物等の提供。
【解決手段】 (A)酸分解性基で保護されたカルボキシ基を有するモノマー由来の繰り返し単位、および/または、酸分解性基で保護されたフェノール性水酸基を有するモノマー由来の繰り返し単位(a1)と、架橋基を有する繰り返し単位(a2)とを、同一の重合体および/または異なる重合体に含む重合体成分(B)下記一般式(b1)で表されるオキシムスルホネート残基を含む化合物、および(C)溶剤、を含有し前記溶剤として、少なくとも1種の沸点が180℃未満の溶剤と、少なくとも1種の沸点が180℃以上の溶剤を含み、(沸点が180℃未満の溶剤の合計量):(沸点が180℃以上の溶剤合計量)が質量換算で99:1〜50:50である、感光性樹脂組成物。
(もっと読む)


【課題】保存安定性に優れ、ドライエッチング耐性及び表面硬度に優れた硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(成分A)酸分解性基で保護された酸基を有する構成単位(a1)及びエポキシ基及又はオキセタニル基を有する構成単位(a2)を有し、かつ式(1)で表される構成単位を有しない共重合体、(成分B)光酸発生剤、(成分C)式(1)で表される構成単位を有する重合体、並びに、(成分D)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、水酸基又は2,3−エポキシプロポキシメチル基を表し、nは1〜5の整数を表す。
(もっと読む)


【課題】フレキシブルプリント配線板に用いて所要の屈曲性を確保できるとともに、所要の領域において耐熱性の高い保護膜を形成できる保護膜形成用樹脂組成物を提供する。
【解決手段】フレキシブルプリント配線板1の保護膜を形成する保護膜形成用樹脂組成物であって、硬化条件又は硬化特性の異なる第1の硬化性樹脂成分5aと第2の硬化性樹脂成分5bとを含んで構成されるとともに、主として上記第1の硬化性樹脂成分を硬化させることにより、所要の変形能を有する保護膜が形成されるとともに、上記第1の硬化性樹脂成分及び第2の硬化性樹脂成分を硬化させることにより所要の耐熱性を有する保護膜が形成される。 (もっと読む)


【課題】適度なゴム弾性を有し、しかも耐溶剤性にも優れる上、長期間に亘って黄変しにくいフレキソ印刷版を形成しうる、新規な感光性樹脂組成物と、前記感光性樹脂組成物を用いて製造されるフレキソ印刷版を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、1,2−ポリブタジエン構造を有し、かつ末端にエチレン性二重結合を有するプレポリマ、エチレン性不飽和単量体、および光重合開始剤としてのベンゾインアルキルエーテルを含む感光性樹脂組成物中に不純物として含まれるベンゾインの割合を、前記感光性樹脂組成物の総量の500ppm以下に制限する。また熱重合禁止剤としてヒドロキノンまたはその誘導体をも含む場合は、その配合割合を、感光性樹脂組成物の総量の10ppm以上、40ppm以下に規定する。フレキソ印刷版は、前記感光性樹脂組成物を用いて製造される。 (もっと読む)


【課題】密着性に優れ、電気的信頼性の高いシリカ系被膜の硬化物が得られるシリカ系被膜の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリカ系被膜の形成方法は、下記一般式(1)で表される化合物を含むシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、光酸発生剤及び光塩基発生剤からなる群より選択される少なくとも1種と、シロキサン樹脂を溶解可能な溶媒と、オニウム塩と、を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布して被膜を得る工程と、パターンマスクを介して被膜を露光する工程と、露光する工程の後に被膜を加熱する工程と、加熱する工程の後に被膜の未露光部を現像によって除去する工程と、除去する工程の後に残存する被膜に紫外線を照射して、パターンを有するシリカ系被膜を得る工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 各種性能に総合的に優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 ブトキシメチルアクリルアミド等を含むアルカリ可溶性樹脂と感放射線酸発生剤を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】形成した樹脂パターンを熱処理した後であっても矩形又は矩形に近い樹脂パターンを製造できる樹脂パターン製造方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも以下の工程(1)〜(7)をこの順に含むことを特徴とする樹脂パターン製造方法。(1)感光性樹脂組成物を基板上に塗布する塗布工程、(2)塗布された感光性樹脂組成物から溶剤を除去する溶剤除去工程、(3)溶剤が除去された感光性樹脂組成物を活性光線によりパターン状に露光する露光工程、(4)露光された感光性樹脂組成物を水性現像液により現像する現像工程、(5)現像された感光性樹脂組成物にオーバーコート層を設ける塗設工程、(6)オーバーコート層が設けられた感光性樹脂組成物を熱処理する熱処理工程、(7)オーバーコート層を除去する除去工程。 (もっと読む)


【課題】形成したパターンをベークした後であっても矩形又は矩形に近いプロファイルが形成可能なエッチングレジスト用感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(成分A)カルボキシ基又はフェノール性水酸基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位(a1)と、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位(a2)とを有する重合体、(成分B)光酸発生剤、並びに、(成分C)溶剤、を含むことを特徴とするエッチングレジスト用感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、十分な感度を有するポジ型感放射線性樹脂組成物、並びにこのポジ型感放射線性樹脂組成物を用い、優れた耐メルトフロー性、耐熱性及び耐溶媒性を有し、電圧保持率に優れる層間絶縁膜及びその形成方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、[A1]ケイ素原子に炭素原子で結合する有機基のうち、エポキシ基を有する有機基の含有割合が、0モル%以上50モル%未満であるポリオルガノシロキサン、及び[A2]上記含有割合が、50モル%以上100モル%以下であるポリオルガノシロキサンを含有するポジ型感放射線性樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】凸版印刷版構成体から凸版印刷版を製版する凸版印刷版の製造方法であって、簡便な手法で、印刷再現性及び版面再現性の高い印刷レリーフを有する凸版印刷版を製造する方法を提供すること。
【解決手段】(1)紫外線露光製版が可能な樹脂層3にネガ型マスク5を形成する工程、(2)前記ネガ型マスクを有する構成体に酸素遮断性層6を形成する工程、(3)前記樹脂層に前記酸素遮断性層側から紫外線露光する工程、及び、(4)前記樹脂層を現像して印刷レリーフを形成する工程を含む、凸版印刷版の製造方法。 (もっと読む)


【課題】簡易な工程かつ低コストで、感光性樹脂層の組成を変更することなく、すなわち感光性樹脂層の本来の性質を損なうことなく、感光性樹脂層との接着性を向上しうるポリエステルフィルムを提供する。
【解決手段】本発明のポリエステルフィルムは、モノビニル置換芳香族炭化水素と共役ジエンを含む熱可塑性エラストマー、ガラス転移温度が35〜150℃の相溶化剤、及びガラス転移温度が35〜150℃かつカルボキシル基含有量が10〜100mgKOH/gのポリエステル樹脂を含む接着層がポリエステル基材上に積層されてなることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】感度、残膜率、保存安定性に優れた、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法であって、硬化させることにより耐熱性、密着性、透過率などに優れる硬化膜が得られる、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた硬化膜形成方法を提供すること。
【解決手段】解離性基が解離することで、カルボキシル基を生じる特定のアクリル酸系構成単位とカルボキシル基と反応して共有結合を形成し得る官能基を有する構成単位を含有し、アルカリ不溶性若しくはアルカリ難溶性であり、且つ、酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物、及び、波長300nm以上の活性光線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜形成方法。 (もっと読む)


【課題】低誘電率と高い基板密着性を両立可能な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)アクリル系共重合体と(B)オキシムスルホネート化合物を含む光酸発生剤と(C)式(c1)で表される化合物、および、(D)溶剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
式(c1)
【化1】


(式(c1)中、R1およびR2は、それぞれ独立に、炭素数1〜10の分岐していてもよいアルキル基、置換基を有しても良いアリール基、置換基を有しても良いシクロアルキル基、またはモルホリノ基を表す。R3は酸素原子または硫黄原子を表し、Aは2価の連結基を表す。) (もっと読む)


【課題】感度及び塗布性に優れ、液晶への汚染が少ない硬化膜を得ることができる感光性樹脂組成物、その硬化膜及び形成方法、前記硬化膜を含む有機EL表示装置及び液晶表示装置の提供。
【解決手段】式(a1)〜(a4)の構成単位を有する共重合体、式(B)のオキシムスルホネート化合物、式(C1)又は(C2)の化合物及び溶剤を含有する感光性樹脂組成物、その硬化膜及び形成方法、前記硬化膜を含む有機EL表示装置及び液晶表示装置。
(もっと読む)


【課題】高感度とPED特性とを両立することができる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(成分A)式(a1)〜式(a3)で表される構成単位を少なくとも有する共重合体、(成分B)式(B)で表されるオキシムスルホネート化合物、及び、(成分C)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素数1〜6のアルキル基又は炭素数4〜7のシクロアルキル基を表し、R3は水素原子又はメチル基を表し、RB1及びRB2はそれぞれ独立に、一価の有機基を表し、RB1及びRB2は連結して環を形成していてもよく、RB3は炭素数1〜8のアルキル基、p−トルイル基、フェニル基、カンホリル基、トリフルオロメチル基又はノナフルオロブチル基を表す。
(もっと読む)


【課題】長期間の使用でも着色が防止され、優れた感度を与える硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物を提供すること。また、前記感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の形成方法、前記形成方法により形成された硬化膜、並びに、前記硬化膜を含む有機EL表示装置及び液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】(成分A)式(a1)〜式(a4)で表される構成単位を少なくとも有する共重合体、(成分B)式(B)で表されるオキシムスルホネート化合物、及び、(成分C)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の形成方法、前記形成方法により形成された硬化膜、並びに、前記硬化膜を含む有機EL表示装置及び液晶表示装置。
(もっと読む)


【課題】ドライエッチング耐性に優れ、ドライエッチング後の表面荒れの少ない硬化膜を形成可能な感光性樹脂組成物を提供すること。また、前記感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の形成方法、前記形成方法により形成された硬化膜、並びに、前記硬化膜を含む有機EL表示装置及び液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】(成分A)式(a1)〜式(a3)で表される構成単位を少なくとも有する共重合体、(成分B)式(B)で表されるオキシムスルホネート化合物、及び、(成分C)溶剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の形成方法、前記形成方法により形成された硬化膜、並びに、前記硬化膜を含む有機EL表示装置及び液晶表示装置。
(もっと読む)


【課題】位置精度よく混色等のない画素を形成な離画壁の提供。
【解決手段】基板上に形成された離画壁用感光性組成物を貧酸素雰囲気下にて露光する工程と、現像して撥インク性化合物を有する離画壁を形成する工程と、を含む離画壁の製造方法であって、離画壁を形成する工程が下記(1)および(5)から選ばれる1種の方法であり、離画壁の断面において、前記離画壁の高さが最も高い点における基板からの高さh、基板から0.8hの位置に前記基板と平行な線L、Lと離画壁表面が交わる点における接線L、hの位置に基板と平行な線L、LとLとの交点から離画壁までの距離dとしたとき、d/hが0.04以下である離画壁の製造方法。
(1)撥インク性化合物を離画壁に練りこむ方法
(5)仮支持体上に撥インク性化合物を含む隣接層と離画壁用感光性組成物層とをこの順に有してなる感光性転写材料を用いて前記離画壁を形成する方法 (もっと読む)


1 - 20 / 215