【課題】カブリ故障を抑えつつ、良好な露光パターンを得る。
【解決手段】露光機４４は、金属製のバックアップロール４１と、光源５２と、光マスク板５６と、マスク支持板５７Ａ・５７Ｂとを備える。バックアップロール４１は、表面に硬化性膜２７が形成された支持フィルム１３の裏面を周面４１Ａで支持しながら搬送する。光源５２は、バックアップロール４１に支持されている支持フィルム１３上の硬化性膜２７に向けての硬化光を放つ。光マスク板５６は硬化光を遮る。光マスク板５６は、バックアップロール４１に近接するようにして光源５２及びバックアップロール４１の間に配され、Ｘ方向へ延びＹ方向に並ぶスリット５６Ｓを有する。マスク支持板５７Ａ・５７Ｂは、光マスク板５６及びバックアップロール４１の間に配され、バックアップロール４１側から光マスク板５６を支持する。マスク支持板５７Ａ・５７Ｂは、光マスク板５６よりも硬化光が散乱しやすい。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高精細な画像を形成することができる画像形成装置を実現する。
【解決手段】記録媒体にレーザ光を照射して該記録媒体Ｐの表面に画像を形成する画像形成装置であって、レーザ光を発する複数の光源３１と、各光源３１から発せられたレーザ光を伝搬させる複数の光ファイバ２３、４２と、光ファイバ４２を保持するホルダ４３と、各光ファイバ４２の端面から出射されたレーザ光が通過するフライアイレンズ５０、シリンドリカルレンズアレイ６０、アパーチャアレイ７０、レンズ８０ａおよびレンズ８０ｂとを有し、アパーチャアレイ７０のアパーチャ７１が矩形である。 （もっと読む）

【課題】スリーブの回転時に生じる回転振れを抑制でき、高速回転でのパターニングを実現できる露光装置を提供すること。
【解決手段】本発明の露光装置（１）は、軸方向の一端部に被保持部（１６ｂ）が設けられたスリーブ（１６）と、スリーブ（１６）の中心を回転軸Ｘとして、スリーブ（１６）を周方向に回転させる回転駆動部（１３）と、被保持部（１６ｂ）の外周面の外側に配置され、チャック部（１４）の中心に向けて駆動され被保持部（１６ｂ）をチャックする少なくとも２つの保持爪（１４ａ）を有するチャック部（１４）と、スリーブ（１６）に露光する露光部（１８）とを具備し、チャック部（１４）の中心及び回転駆動部（１３）の回転軸が略同一直線上に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一次元の高輝度ライン画像を形成するために、比較的低輝度の二次元変調光場をアナモルフィックに画像化しかつ集中させるべく反射屈折アナモルフィック光学系を利用した画像形成システムを提供する。
【解決手段】単一パス画像形成システム１００は、光源１１０および空間光変調器１２０を利用して二次元変調光場１１９Ｂを発生し、かつこの変調光を反射屈折アナモルフィック光学系１３０を用いてアナモルフィックに画像化しかつ集中させ、画像形成面１６２上へ高輝度の略一次元ライン画像ＳＬを発生する。反射屈折アナモルフィック光学系１３０は、変調光場１１９Ｂを工程方向へ画像化しかつ集中させる。ライン画像ＳＬは、画像形成面１６２から湿し溶液を気化するに足るエネルギーを用いて発生される。本画像形成システム１００は、ライン画像の全ての成分ピクセル画像を同時に発生し、よって、１２００ｄｐｉ以上の能力を有する印刷装置を容易にする。 （もっと読む）

【課題】版胴上における位置決め部材への刷版の当接を精度よく検出する。
【解決手段】刷版検出装置１０は、回転軸を中心とする版胴３の外側面３０上において、回転軸に平行な方向に互いに離間して設けられる一対の位置決め部材３３、刷版９の一辺のエッジ９１が一対の位置決め部材３３の双方に当接する際に、エッジ９１により押されることにより、一対の位置決め部材３３に当接する一対の導通部材５３、および、一対の導通部材５３が一対の位置決め部材３３に当接することにより電気的に閉じられる回路に設けられる検出部を備える。これにより、版胴３上における双方の位置決め部材３３への刷版９の当接を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高解像度、高精度のレーザー露光装置による継ぎ目のないシームレスなシリンダータイプのホログラム版の製造方法、製造装置を提供することを課題とするものである。
【解決手段】シリンダーロールに直接描画によるホログラム母型版の製造方法に関して絵柄パターンにレーザー光を照射してできる干渉縞や回折格子パターンのデータを、描画データに変換するデータ変換装置と、その描画データをレーザービームとして出力する半導体レーザービーム高解像度描画装置とによって前記描画データをシリンダー上の感光性樹脂塗膜に露光、照射する工程と、その後、現像工程、水洗工程、エッチング工程、水洗工程、メッキ工程そして水洗工程をこの順に行うことによって継ぎ目のないシームレスホログラム母型シリンダー版が製造できるものである。 （もっと読む）

【課題】帯状の基板に表示素子を効率的に製造することができる露光装置を提供する。
【解決手段】マスクＭに形成されたパターンＰｍを基板Ｓに転写する露光装置ＥＸであって、マスクＭを照明する照明装置ＩＵと、基板Ｓに対してパターンＰｍの拡大像を投影する投影装置ＰＵと、マスクＭを保持する第一円筒面３１を有し、第一円筒面３１の周方向に回転するマスク保持部４０と、基板を搬送する第二円筒面３２を有し、マスク保持部４０と同一の回転軸Ｃを中心として第二円筒面３２の周方向に回転する基板搬送部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】画像記録装置において、複雑な制御を必要とすることなく、記録ヘッドの両端部における記録強度の低下を防止する。
【解決手段】画像記録装置１は、複数のレーザ出射部が列設された記録ヘッド４と、副走査方向に記録ヘッドを移動させるリニアモータ５と、記録ヘッドによるレーザ光の出射および移動手段による記録ヘッドの移動を制御する装置制御部１２とを備え、装置制御部は、ドラムの回転に応じて刷版の主走査方向に対する記録ヘッドの１回の走査が完了する毎に、複数のレーザ出射部から出射されるレーザ光による副走査方向の記録幅よりも小さい移動量にて記録ヘッドを副走査方向に移動させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】ロール状基材に連続した画像を形成する筒状体マスク及びこれを使用した露光装置を提供する。
【解決手段】光透過性を有する筒状体と、該筒状体の周方向に連続して刻設された凹部からなるパターンと、該凹部に充填された遮光部材とから構成される筒状体マスクと、該筒状体マスクの中央に設置された光源とから構成され、少なくとも片面に感光性樹脂を塗布したロール状基材の該樹脂塗布面と、前記筒状体の表面とを接触回転させ、前記光源によって露光する。 （もっと読む）

【課題】 偏光光をマスクを介して被照射物に照射する光照射装置において、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができ、しかも、十分に高い消光比を得ることのできる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、ショートアーク型の放電ランプおよびリフレクタよりなる光源素子の複数が、一方向に並んで配置されてなる光源素子列を有する光出射部と、光出射部からの光を、前記一方向に伸びる線状に集光する集光部材と、集光部材からの光が入射される、各々前記一方向に垂直な方向に伸びる線状の多数の遮光部および多数の透光部が前記一方向に交互に並んで配置されてなるマスクと、集光部材とマスクとの間の光路上に配置された偏光素子とを備えてなり、偏光素子は、その法線が前記集光部材から前記マスクに対して入射される光の正反射方向の光軸に対して傾斜する状態で、配置されている。 （もっと読む）

【課題】フレキソ印刷版の印刷パターンにおける凸部の幅が細く構成されていても、該凸部の破壊がなく、良好な印刷を行うことを可能とする。
【解決手段】本発明に係るフレキソ印刷装置は、回転可能な版胴と、版胴に貼り付けられ、凸部を有するフレキソ印刷版１とを備えている。フレキソ印刷装置は、版胴を回転させることによって、凸部に塗布したインクをワーク５の表面に転写する。凸部は、インクが塗布される表面部２と、フレキソ印刷版１から表面部２に向かってテーパー形状を取る支持部３とによって構成されている。版胴の回転方向に垂直な支持部３におけるテーパー角度９が、版胴の回転方向に平行な支持部３におけるテーパー角度８よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】優れたスループットを実現できる導電性素子を提供する。
【解決手段】導電性素子は、第１の波面および第２の波面を有する基体と、第１の波面上に形成された導電層とを備える。導電層は、導電パターン部を形成し、第１の波面および第２の波面が、０≦（Ａｍ１／λｍ１）＜（Ａｍ２／λｍ２）≦１．８（但し、Ａｍ１：第１の波面の振動の平均幅、Ａｍ２：第２の波面の振動の平均幅、λｍ１：第１の波面の平均波長、λｍ２：第２の波面の平均波長）の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】複数の記録ヘッドを使用した画像記録装置において、比較的小さな装備で複数ヘッドを並行して動作させることができる画像記録装置を提供する。
【解決手段】例えば、画像変換手段１０６は、元画像データｉｍ１を、予め格納されていたパラメータに従って画像データｉｍ３に画像変換する。そして、画像変換手段１０６は、この画像データｉｍ３を第１画像処理手段８１に送る。また、画像変換手段１０６は、元画像データｉｍ２を、画像変換手段１０７に予め格納されていた回転パラメータに従って画像データｉｍ４に画像変換する。そして、画像変換手段１０６は、この画像データｉｍ４を第１画像処理手段８１に送る。これにより、記録ヘッド１０、２０のそれぞれは、いずれか一方によって、各色成分画像の輪郭が略一致するように、対応する印刷版上に画像記録ができる。 （もっと読む）

【課題】マルチビーム露光において、安定して急峻化した凸小点形状を形成する。
【解決手段】複数の光ビームを同時に照射し、同一走査線を複数回露光することにより記録媒体の表面を彫刻するマルチビーム露光走査方法において、前記記録媒体の露光表面に残すべき目的の平面形状であって、四辺を有する矩形の平面形状の周囲の領域である第１の領域について少なくとも４回の走査を行い、それぞれ１回の走査において少なくとも前記四辺のうちの一辺に隣接する領域を露光するとともに前記一辺を順に変更することで前記第１の領域を全て彫刻するマルチビーム露光走査方法により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】彫刻により発生するガス、アブレーションカスを吸込フードに誘導し、回収効率を上げることができる。
【解決手段】吹付ノズル８０は、一列に並んだ吹き出し口８０ａからの空気を吹き出し、略四角錐台形のエアーフローＡ１を形成する。吹付ノズル８０は、エアーフロー中心面ＡＭ１が、光軸Ｌと露光面ＦＡとの交点Ｉにおけるドラム５０の接線と平行となるように、かつエアーフローＡ１の方向がドラムの回転方向Ｒと同方向となるように配設される。エアーフローＡ１の延長上には、エアーフローＡ１を覆う大きさで形成された吸込フード８１が配設される。これにより、ガス、アブレーションカスを含むエアーフローＡ１を吸込フード８１から確実に吸い込むことができる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス性に優れたマスクホルダを提供すること。
【解決手段】円筒状に形成された固定部と、円筒状に形成され、前記固定部と同軸に該固定部の周囲に設けられるとともに前記固定部に対して回転可能に接続される回転部と、前記回転部に設けられ、シート状のマスク部材を取り外し可能に保持する保持部とを備える。 （もっと読む）

パターン発生器は、書込ツールと校正システムとを有する。書込ツールは、ステージ上に配列されたワークピース上にパターンを発生させるように構成される。校正システムは、書込ツールの座標系と、ステージおよびワークピースのうちの１つ上の校正プレートの座標系との間の相関を決定するように構成される。校正システムはまた、校正プレートの表面上の少なくとも１つの反射パターンから反射した少なくとも１つの光ビーム状の光相関信号、またはパターンに少なくとも部分的に基づき相関を決定するように構成される。
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マスク投影技術により固体の表面に微細構造を形成するためのレーザー設備のマスク及び／又はダイヤフラムを製造するための方法において、レーザー放射を散乱させる決められた不透過面部を、マスク及び／又はダイヤフラム基材に、後者をフェムト秒、ピコ秒、又はフッ素レーザー光を用いて粗化・改変させることにより製造する。このようなマスク及びダイヤフラムは、その寿命と精度が大幅に改善され、例えば、固体の表面の回折格子アレイに配置されて、高輝度のスペクトル色及び混合色を生成するのに用いられるブレーズド格子を形成するのに使用することができる。
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【課題】本発明は、大型サイズの円筒表面に、直接ナノメートル大きさのパターンを大面積で刻むための円筒状の磁気浮上ステージ及び露光装置に関する。
【解決手段】本発明は、磁気浮上原理で円筒を浮上し、非接触で回転及び軸方向に移送しながら円筒表面に直接ナノメートル大きさのパターンを刻むことができる新しい形態のステージと、円筒表面に光を照射する光源とを具現することにより、ナノメートル大きさの誤差で位置を能動制御できるなど、機械加工による誤差及び外乱を実時間的に補正することができて、結局、大型サイズの円筒表面にナノメートル大きさのパターンを効率的に加工できると共に、ステージと組み合わされ、光源と円筒表面との間を、部分的に真空環境が保持されるようにする差動真空手段を具現することにより、Ｘ線や電子ビーム、極紫外線(EUV)のような光源を適用することができる円筒状の磁気浮上ステージ及び露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ロールを被覆するレジスト層上で隣接する露光マークの露光開始点を正確に制御し２次元的に自在な配置に大面積の露光パターンを作製可能な露光装置及び露光方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】レジスト層がロール表面を被覆してなるロール状の部材にレーザー光でパルス露光してレジスト層に複数の露光部からなる露光パターンを形成する露光装置において、ロール状部材をロールの中心を軸に回転させる回転制御部と、ロール状部材の回転方向における露光パターンをロール状部材の回転と同期した基準信号に基づいて制御し、ロール状部材の回転方向と垂直なロール長手方向に露光を繰り返す露光部とを設ける。 （もっと読む）