Fターム[2H097AB00]の内容
フォトレジスト感材への露光・位置合せ (19,491) | 原版或いは感材移動露光 (1,174)
Fターム[2H097AB00]の下位に属するFターム
原版移動露光 (50)
感材移動露光 (1,013)
原版、感材ともに移動露光 (110)
Fターム[2H097AB00]に分類される特許
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直接描画装置
【課題】 描画される画像の画素をより小さくすることができる直接描画装置を提供する。
【解決手段】 光を放射する複数の発光画素が少なくとも1列に並んで発光画素アレイが構成される。発光画素に対応して開口が形成され、発光画素から放射された光の一部が、対応する開口を通過し、かつ各開口内の全領域を、対応する発光画素から放射された光が通過するように配置され、開口以外の領域に入射する光を遮光する遮光マスクが配置されている。ステージが、表面に感光膜が形成された露光対象物を保持する。集光光学系が、発光画素から放射され、遮光マスクの対応する開口を通過した光を、ステージに保持された露光対象物上に集光させる。移動機構が、ステージに保持された露光対象物及び集光光学系の一方を他方に対して移動させる。
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