Fターム[2H099BA01]の内容
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光反射素子およびこれを用いた光学装置
【課題】 モータや直動機構を用いることなくミラーの回転角度を調整する光反射素子およびこれを用いた光学装置を提供する。
【解決手段】 反射部と、反射部の中心線上に配置され、前記反射部を回転可能に保持するねじりばねと、前記ねじりばねの両端を保持する第1の基板と、前記第1の基板の前記反射部に対応する位置にギャップを備え、前記ねじりばねを中心に配置された前記反射部の両側の位置にそれぞれ電極を備える第2の基板とを備え、前記第1の基板と前記第2の基板を一体に接合して構成する。
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