【課題】光学部材の光学特性を高精度に調整することができる光学部材変形装置、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】凹面鏡４１の形状を変形させるミラー変形装置５３において、凹面鏡４１に固定される第２永久磁石７２と、第２永久磁石７２に対向して配置される第１永久磁石７１と、アクチュエータ６１から伝達される駆動力に基づいて、第１永久磁石７１を第２永久磁石７２に対して相対距離が変化するように変位させる変位機構８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】堅牢で、収容する液体の封止性の劣化を防ぐことが可能な光学装置を提供すること。
【解決手段】照明装置３は、治具１６０により液体レンズ素子２とホルダ８０とを保持固定し、光源ユニット７０をホルダ８０内に保持することによって得られる。治具１６０は、主板１６１において液体レンズ素子２に係合し、突出部１６３においてホルダ８０に係合する。また、治具１６０は、互いに対向して配置された液体レンズ素子２及びホルダ８０をＺ軸方向にて挟圧しつつ、４面方向から周囲を包囲するようにして液体レンズ素子２及びホルダ８０を保持する。上記構成によれば、治具１６０が液体レンズ素子２及びホルダ８０をＺ軸方向にて挟圧するので、複数の治具で照明装置３を保持する構成に比較して、照明装置３の堅牢性が向上する。 （もっと読む）

本発明は光学系（１）に関する。光学系（１）は、ほぼ一定の体積（Ｖ）を取り囲む、ハウジング（２）を貫通して延びた開口（３）を備えたハウジング（２）を有する。２つ以上の膜区分を備えた膜（６）が、開口を横切って配置されており、体積（Ｖ）を、少なくとも１つの流体で充填された第１及び第２のチャンバ（７，８）に分離している。膜は環状保持フレーム（９）に取り付けられている。アクチュエータは、膜の光学作用を変化させるために直接又は間接に膜（６）に結合されている。
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