【課題】本発明によれば、第１の揺動軸を中心として揺動し得るように構成されたサポートフレーム、及びサポートフレームに固定されたミラーを備えた可動部材であり、サポートフレームの揺動によりミラーが揺動される、可動部材と、サポートフレームと共働するコイルと、サポートフレームとミラーとの間に設けられ、サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にサポートフレームの縁部からミラーに伝達されるワープの影響を低減させる境界部分とを具備し、サポートフレームが切欠領域をさらに備え、切欠領域が、
【解決手段】サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にコイルに対する応力を低減させるように、及び／又は前記アクチュエータの特性の中の温度依存性を低減させるように、コイルの少なくとも一部分に対して平行となるように構成されるアクチュエータが、提供される。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、基板１５０と、基板１５０に設けられた一対の駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと、基板１５０に固定された一対の固定部１０７と、一対の固定部１０７にそれぞれ接続された一対のヒンジ１１０と、一対のヒンジ１１０によって揺動可能に支持された接続部１０５と、接続部１０５に固定された支柱１０２と、支柱１０２に固定された可動板１０１とを有している。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向するように基板１５０から間隔を置いて支持されている。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向する第一の面に対向電極を有し、第一の面の反対側の第二の面に反射面１０３を有している。駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと固定部１０７とヒンジ１１０と接続部１０５は同一の層から形成されている。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルディスプレイを制御する装置および方法を提供する。
【解決手段】フレキシブルディスプレイ制御装置は、直流駆動電圧を所定の周期を有する交流駆動電圧に変換するＤＣ−ＡＣコンバータ部と、イオン層に直流駆動電圧を印加するか交流駆動電圧を印加するかを決定する制御部と、印加される直流駆動電圧または交流駆動電圧に基づいてイオン層を構成するセルを駆動する駆動部と、駆動されたセルに基づいて入力に対応する形状で変化するディスプレイ部とを備える。 （もっと読む）

【課題】別基板に形成された第１光部品と第２光部品の調芯を高精度に行って、固定すること。
【解決手段】第１光部品と、第１光部品に対して固定され、第１光部品に光結合された第２光部品と、第２光部品が第１光部品に対して固定される前において第２光部品を第１光部品に対して移動させて、第１光部品及び第２光部品の調芯用の第１アクチュエータと、を備える光モジュール、光モジュール製造方法、及び光モジュール製造システムにより課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】機能性有機材料の電気的特性を簡便かつ精度よく測定することができる電極構造体、電極構造体の製造方法ならびにそれを用いた電気光学素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る電極構造体は、第１の電極層と、有機物層と、第２の電極層とを具備する。有機物層は、第１の電極層からの高さが第１の高さである第１の樹脂領域と、第１の電極層からの高さが第１の高さより小さい第２の高さである第２の樹脂領域とを有し、第１の電極層上に形成される。第２の電極層は、有機物層の第1の樹脂領域上に形成された第１の電極領域と、有機物層の第２の樹脂領域上に、第１の電極領域と分離して形成された第２の電極領域とを有する。 （もっと読む）

【課題】界面を形成する２つの液体が容器内に収容された液体光学素子において、液体光学素子の光軸に対するチルト回転の外力などが素子に作用した際に、界面が過度に変形して容器の蓋部材などに接触するのを抑制する技術を提供する。
【解決手段】液体光学素子１００において、互いに混和しない２つの液体１２１、１２２が容器１０１、１１１、１１２内に収容され、２つの液体１２１、１２２の界面の端部が容器の内壁面上を移動することにより界面の状態を変化させる。容器の内壁は、液体光学素子１００の光軸１７１の周りにおいて、光軸１７１へ向かう方向に突出した部分１０２を有する。突出部１０２は、光軸１７１の方向における中心部において、面の法線が光軸１７１と交わる環状の面を有し、光軸１７１の方向における周辺部において、面の法線が光軸１７１と平行な方向へ向かって連続的に変化する環状の面を有する。 （もっと読む）

【課題】２軸に傾動可能な光偏向装置において、それぞれの軸の周りの傾動角度を正確に検出することが可能が技術を提供する。
【解決手段】本出願の光偏向装置は、基板に対して第１傾動軸および第２傾動軸周りに傾動可能な傾動部と、前記傾動部に固定されているミラーと、前記傾動部を前記基板に対して第１傾動軸および第２傾動軸周りに傾動させるアクチュエータを備えている。その光偏向装置は、前記傾動部に固定されている磁束源と、前記基板に固定されており、前記磁束源が発生させる磁束密度を検出する第１、第２、第３および第４磁気センサを備えている。その光偏向装置では、前記第１、第２、第３および第４磁気センサが、傾動部の第１傾動軸周りの傾動および第２傾動軸周りの傾動に対して、それぞれ異なる増減特性となる位置関係で配置されている。 （もっと読む）

【課題】レーザ光による回路基板等のワークを加工する際に、ワークに対する加工溝幅、深さを均一に加工することができるようにする。
【解決手段】パルス状のレーザとガルバノスキャナを用いて溝を加工するレーザ加工方法において、前記ガルバノスキャナによるビームスキャン速度に同期させてレーザビームのパルス高さを増減させることで、レーザ光によるワークの加工溝幅、深さを均一に加工することができ、ワークに対する加工品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】櫛歯電極構造を高いアライメント精度で製造する方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１５１の面１５１ａ上に櫛歯電極用マスクパターン１５２ａ，１５２ｂを形成し、これを介してシリコン基板１５３を貼り合わせる。シリコン基板１５１，１５３の面１５１ｂ，１５３ｂに、櫛歯電極用マスクパターン１５２ａ，１５２ｂを内包する粗櫛歯マスクパターン１５４，１５５を形成する。面１５３ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５５をマスクにしてシリコン基板１５３を選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ａをマスクにしてシリコン基板１５１を選択的に除去する。面１５１ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５４をマスクにして残存シリコン基板１５１ｃを選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ｂをマスクにして残存シリコン基板１５３ｃを選択的に除去する。 （もっと読む）

【課題】集光レンズの温度変化による屈折率変化を用いて、集光レンズの焦点距離を変化させ、温度が変化した際に変化する分散量を補正できる波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】波長多重された光を入射させる少なくとも一つの入力部と、入力部からの光を受光し、光を波長ごとに分散させる分散素子と、波長ごとに分散された分散光を集光する集光要素と、集光要素からの分散光を、波長ごとに独立に偏向可能な複数の反射光学素子を有する光偏向部材と、光偏向部材によって偏向された分散光を受光する少なくとも一つの出力部と、を備え、温度変化が生じた場合、分散素子が温度変化に伴って変化する分散量によって変化するビームスポット位置ずれを集光要素の温度特性による焦点距離の変化によって補正する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー変換効率を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、一方の主面側に入射した第１レーザ光の一部を第１反射光として反射するとともに残りの一部を第１透過光として透過し、且つ、他方の主面に入射した第２レーザ光の一部を第２透過光として透過するとともに残りの一部を第２反射光として反射するミラーと、前記第１透過光と前記第２反射光との光軸、もしくは、前記第１反射光と前記第２透過光との光軸が略一致するように、前記ミラーへ前記第１および第２レーザ光を入射させる光学系と、前記第１透過光または前記第１反射光のビームパラメータを計測する第１計測部と、前記第２反射光または前記第２透過光のビームパラメータを計測する第２計測部と、前記第１計測部の計測結果に基づいて前記第１レーザ光を調整する第１調整部と、前記第２計測部の計測結果に基づいて前記第２レーザ光を調整する第２調整部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】衝撃に対する故障発生の低減を図ることのできるアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置３０は、枠部材１と、枠部材１に梁部材３を介して回動可能に支持された可動部２とを備え、両梁部材３を回動軸として可動部２を枠部材１に対して回動させるアクチュエータ装置において、両梁部材３の回動軸線上にダンパー部材４を設けた。 （もっと読む）

【課題】稠密に配列された大面積のミラー素子を有する空間光変調器を構成する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれの反射面ＳＥＡ内の頂点ＳＥｐを中心に傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを反射面ＳＥＡの裏面上で頂点ＳＥｐを含んで同一直線上にない複数の位置にて反射面ＳＥＡに対する垂直方向に駆動する複数のボイスコイルモータＳＶｋとから、空間光変調器が構成される。 （もっと読む）

【課題】大面積のミラー素子を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれ複数の板ばねＳＥＬを用いて傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを、反射面ＳＥＡの裏面側で同一直線上にない３以上の複数点でベース部材ＳＶｂに接近する方向に駆動する複数の電磁石ＳＣｋとから、空間光変調器が構成されている。 （もっと読む）

【課題】従来技術の不利点を有していない膜デバイスを提供する。
【解決手段】膜と流体を収容するキャビティを画成する支持材とを備えるデバイスであって、膜は支持材への固着領域、流体の変位に従って変形することができる中心領域、および固着領域と中心領域との間の作動領域、ならびに応力を作動領域内の膜に印加し、作動に従って中心領域への流体の移動を引き起こすための作動手段を備える、デバイスである。キャビティは、中心領域内に主チャンバーを、また主チャンバーと連通している作動領域内に周辺チャンバーを備え、周辺チャンバーは、作動に従って周辺チャンバーから主チャンバーへの、またはその逆の方向の流体のうちの少なくとも一部の流体の流れを促す少なくとも１つの強制流構造を備え、所定の強制流構造は、支持材と膜の両方に固定されていない。 （もっと読む）

【課題】長期安定性に優れた液体光学素子アレイを提供する。
【解決手段】対向配置された平面基板２１，２２と、平面基板２１の面２１Ｓに立設され、平面基板２１上の領域を複数のセル領域に分割する隔壁２４と、隔壁２４の壁面に、互いに対向して配置された第１および第２の電極２６Ａ，２６Ｂと、平面基板２２の面２２Ｓに設けられた第３の電極２６Ｃと、セル領域において平面基板２１に立設する突起部２５と、平面基板２１と第３の電極２６Ｃとの間に封入され、互いに異なる屈折率を有すると共に分離された状態を保つ極性液体２８および無極性液体２９とを備える。液体光学素子アレイの姿勢に関わらず、極性液体２８および無極性液体２９は突起部２５により安定して保持される。 （もっと読む）

【課題】可動部を正確に揺動させることが可能な光偏向装置および光偏向装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部と、可動部を基板の上方に離反した位置で揺動軸の周りに揺動可能に支持する可撓梁と、可動部を揺動させるアクチュエータと、基板上に設置されているとともに可撓梁の下方から可撓梁に接離可能な下限規制部と、を備えている。揺動軸に垂直な断面における可撓梁の下面の形状が、下限規制部の上方に位置する領域において、曲面を有して下方へ突起している形状とされているか、または、揺動軸に垂直な断面における下限規制部の上面の形状が、曲面を有して上方へ突起している形状とされている。 （もっと読む）

【課題】加速度の変化に追従して撮像画像を補正する撮像装置を提供する。
【解決手段】液体レンズを用いて被写体を撮像する撮像部と、液体レンズにかかる加速度を検出する加速度検出部と、加速度検出部が検出した加速度に基づいて、撮像部が撮像した画像を補正する画像補正部とを備える撮像装置が提供される。加速度検出部は、加速度のベクトルを検出し、画像補正部は、加速度検出部が検出した加速度のベクトルに基づいて、撮像部が撮像した画像を補正する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのばねが、機械的な荷重に頻繁にさらされる場合でも、その機能を確実に満たすことが保証されているようにする。
【解決手段】マイクロマシニング型の構成部材であって、保持部材が設けられており、該保持部材に対して少なくとも第１の位置から第２の位置に調節可能な構成要素が設けられており、該構成要素が、保持部材に少なくとも１つのばね２０を介して結合されている。少なくとも１つのばね２０に配置されたシリサイド含有の少なくとも１つの線路区分３０，３２が設けられている。 （もっと読む）