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Fターム[2H141MA12]の内容

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Fターム[2H141MA12]に分類される特許

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【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】構造体において発生する不要な周波数の振動を低減することができる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ1は、構造体2、圧電素子5、基台4、および突出部44を備える。構造体2は、ミラー部21、一対の捩れ梁部22、および本体部23を有する。ミラー部21は、揺動軸Oを中心として揺動可能に支持される。一対の捩れ梁部22は、ミラー部21を揺動可能に支持する。本体部23には、一対の捩れ梁部22の各々のうち、ミラー部21に接続する端部とは反対側の端部が接続される。圧電素子5は、本体部23の一方の板面に接合され、ミラー部21を共振揺動させるための振動力を発生させる。突出部44は、基台4から突出し、本体部23のうち圧電素子5が接合される板面の反対側の板面に固定される。 (もっと読む)


【課題】 絶縁基体と側面導体との熱膨張率の違いによって光学素子搭載用基板に生じる反りを抑制すること。
【解決手段】
光学素子搭載用基板1は、光学素子2の搭載領域11aを含む上面を有しており、平面視において矩形状の絶縁基体11と、絶縁基体11の対向する第1の一対の側面11bに設けられた第1の側面導体12と、絶縁基体11の対向する第2の一対の側面11cに設けられた第2の側面導体13とを有しており、第1の側面導体12が下方向に向かうに伴って厚くなっており、第2の側面導体13が下方向に向かうに伴って薄くなっている。絶縁基体11の角部における反りが低減されて、絶縁基体11の角部を起点とする絶縁基体11の反りが低減される。 (もっと読む)


【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】溶接によって生じるひずみの影響を低下させつつ、構造体と基台が接触することで生じる振動時の騒音を抑制することができる光スキャナの製造方法、および前記光スキャナを提供する。
【解決手段】ミラー部を有する平板状の構造体と、構造体を支持する基台とが準備される(S1〜S4)。準備された構造体と基台とを重ねた状態で、構造体と基台とが重なる重複領域の複数点においてレーザスポット溶接が行われることで、構造体が基台に固定される(S5)。構造体が基台に固定された後に、固定された構造体と基台との隙間に接着剤が充填される(S6)。隙間に充填された接着剤が硬化されて(S8)、製造工程は終了する。 (もっと読む)


【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器A1は、反射面を有するミラー部1と、トーションバー2a、2bに一端が連結され他端が支持部10に連結されて支持された圧電アクチュエータ8a、8bとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部1と支持部10との間の空隙に設けられる衝撃緩和部9a、9bは、支持部10のトーションバーと直交する方向のミラー部1と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 (もっと読む)


【課題】製造性に優れた構造であり、正確な駆動を実現することができる光学素子アレイを提供する。
【解決手段】この光学素子アレイは、対向配置された第1および第2の基板と、第1の基板の、第2の基板と対向する内面に立設する複数の第1の壁と、隣り合う第1の壁の対向する壁面にそれぞれ設けられた第1および第2の電極と、第2の基板の、第1の基板と対向する内面に設けられた第3の電極と、第1の基板の内面および第1の壁を部分的に覆い、第1の基板と第2の基板とが挟む空間の少なくとも一部を部分的もしくは全体的に取り囲む第2の壁と、第1の基板、第2の基板および第2の壁によって取り囲まれた空間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体および無極性液体とを備える。 (もっと読む)


【課題】EW方式の駆動ポンプ部の駆動力を用いた液体レンズなどの液体光学素子において、電極の絶縁膜と液体との摩擦により低下しやすい駆動速度を高速化する技術を提供する。
【解決手段】液体光学素子は、光学有効部と複数の駆動ポンプ部108を有する。駆動ポンプ部は、不混和な液体101、102間の界面103b、103c、103 dの端部を保持する保持部106と、保持部に対して配置された絶縁電極104を有する。電極に印加される電圧を制御することで電極104に接する界面の端部を変位させて液体を移動させることにより、各駆動ポンプ部から連通して存在する液体101、102を含む複数の液体が存在する光学有効部の状態を変化させて光学特性が変化させられる。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20a、20bと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20a、20bは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して傾斜するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して直交するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】レーザダイオードの制御を煩雑にすることなく、被投射面に投射される画像の明度を装置本体の周囲の明るさに応じて適正化できるプロジェクタ装置を提供する。
【解決手段】 プロジェクタ装置10は、3つのレーザダイオードLD1〜LD3から射出され偏向反射器20で偏向された光をスクリーンSの被投射面に投射して画像を表示する装置本体11と、該装置本体11の周囲の明るさを検出する照度センサ16と、該照度センサ16からの検出情報に基づいて、前記光の光路上にフィルタ部材22の一部を位置させて前記光の強度を変更可能な光強度可変装置18とを備えている。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第2の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20aと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20aは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して直交するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して傾斜するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】2次元光偏向器1は、照射された光を反射するミラー部2と、ミラー部2を囲うように間隙3を有して配置されたジンバル部4と、ジンバル部4を囲うように間隙5を有して配置されたフレーム部6と、ミラー部2とジンバル部4とを接続する一対の第1トーションバー部7a,7bと、ジンバル部4とフレーム部6とを接続する一対の第2トーションバー部8a〜8d,9a,9bと、を備え、一対の第2トーションバー部8a〜8d,9a,9bは、所定の材料から構成された第3トーションバー部8a〜8dと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第4トーションバー部9a,9bと、をそれぞれ有する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー(10)の自由端に形成された櫛歯電極を有する第1の櫛歯部(13a,13b)と、第1の櫛歯部(13a,13b)と対向し互いの櫛歯が噛み合うように配置された櫛歯電極を有する第2の櫛歯部(15a,15b)と、反射ミラー(10)および第2の櫛歯部(15a,15b)の一方の面に対向するようにスペースを開けて配置された透光性基板(22)と、透光性基板(22)を固定端として第2の櫛歯部(15a,15b)の一部であって第2のトーションバー(16)の軸から外れた位置を押圧する押圧部材(23)と、具備する構成とする。 (もっと読む)


【課題】全体の小型化を可能とする光走査装置を提供すること。
【解決手段】被写体に照射する照射光が入射し所定方向へ反射する第1の反射面を有し、該第1の反射面で反射する照射光を第1の軸方向に走査するように前記第1の反射面を回転駆動させる第1のマイクロスキャナ(10)と、一方の集光点が前記第1の反射面上の照射光位置に設定され、他方の集光点が前記第1のマイクロスキャナ(10)と干渉しない位置に設定された凹面鏡(50)と、前記凹面鏡(50)の他方の集光点に配置された第2の反射面を有し、前記凹面鏡(50)から前記第2の反射面に入射して反射する照射光を第1の軸方向と異なる第2の軸方向に走査するように前記第2の反射面を回転駆動させる第2のマイクロスキャナ(20)と、を有する構成とする。 (もっと読む)


【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、光反射面の静的なたわみを低減することができるアクチュエーター、光スキャナー、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】静的なたわみを低減することができるアクチュエーターは、揺動軸まわりに揺動可能な可動部、前記可動部から延出する連結部、および連結部を支持する支持部、を含む基体と、光反射面を有する光反射部、および前記光反射部から延出し前記可動部に固定される固定部、を含むミラー保持体と、前記可動部に設けられるコイルと、前記コイルに作用する磁界を発生する磁石とを備える。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー(10)の自由端に形成された第1の櫛歯電極(13a,13b)と、第1の櫛歯電極(13a,13b)と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第2の櫛歯電極(15a,15b)と、第2の櫛歯電極(15a,15b)と梁(18)を介して結合された接触部(19)と、接触部(19)の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部(20)と、を有し、接触部(19)と電極部(20)との間に静電引力を発生させて、接触部(19)を変位させる構成とする。 (もっと読む)


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