【課題】低電圧で正確な駆動を実現することができる光学素子を提供する。
【解決手段】この光学素子は、対向配置された電極１１，１２と、電極１１，１２をそれぞれ覆う誘電体膜１３，１４と、誘電体膜１３と誘電体膜１４との間のキャビティ部１５を含む空間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体１６および無極性液体１７とを備える。電極１２は、入射光の一部を透過すると共に他の一部を反射するものであり、電極１１は、電極１２を透過した光を反射するものである。 （もっと読む）

【課題】反射膜同士が貼りつき難くする波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】第１基板１０と第２基板２０との間に第１反射膜１４と第２反射膜２４と静電アクチュエーター４０とを含んで密閉された第１空洞部４５と、第２基板２０と第３基板３０との間に密閉された第２空洞部４６と、を備え、第１空洞部４５内および第２空洞部４６内は大気圧より小さい圧力で保持され、第１空洞部４５内の圧力は、第２空洞部４６内の圧力より大きく形成する。 （もっと読む）

【課題】機械的な干渉、過度の湿気、及び損傷を及ぼす可能性がある物質からインターフェロメトリックモジュレータを保護するバックプレートを備えたインターフェロメトリックモジュレータアレイを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳを基本にしたディスプレイデバイス６００であり、インターフェロメトリックモジュレータアレイ６０４が透明基板を通じて光を反射させるように構成されている。透明基板は、シール６０６を介してバックプレート６０８に取り付けられており、バックプレートは、インターフェロメトリックモジュレータアレイを制御するための電子回路を内蔵することができる。バックプレートは、ディスプレイの状態を制御するために使用することができるデバイス構成要素（例えば電子構成要素、等）に関する物理的支持物となることができる。さらに、バックプレートは、デバイスに関する構造上の主支持物として利用することもできる。 （もっと読む）

【課題】迅速に安定状態に移行可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、固定基板５１に接合された可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ固定反射膜５４に反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、可動基板５２を固定基板５１側に撓ませて反射膜間ギャップＧ１のギャップ量を変化させる静電アクチュエーター５６と、を具備し、固定基板５１及び可動基板５２の間には、反射膜間ギャップＧ１のギャップ量が小さくなった際に、固定反射膜５４及び可動反射膜５５の間の空気が逃げる解放空間５７が設けられ、可動基板５２のバネ定数をｋ_ｖとし、反射膜間ギャップＧ１に存在する空気のバネ定数をｋ_ａｉｒとした場合に、ｋ_ｖ≧２０×ｋ_ａｉｒの関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】内部気密性を良好に維持できる光学フィルターデバイス、及び光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】光学フィルターデバイス６００は、固定基板５１、可動基板５２、固定反射膜、及び可動反射膜を備えた波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５を内部に収納する筐体６０１と、を具備する。筐体６０１は、ベース基板６１０と、当該ベース基板６１０に接合され、当該ベース基板６１０との間に内部空間６５０を形成するリッド６２０と、リッド６２０に設けられた光通過孔６２１を閉塞するリッド側ガラス基板６４０とを備える。そして、リッド側ガラス基板６４０は、基板端縁６４１が、光通過孔６２１の外周縁よりも外側に位置し、光通過孔６２１の外周縁から基板端縁６４１までの領域が、リッド６２０に接合される。 （もっと読む）

【課題】十分な絶縁性を確保しつつ、低電圧で正確な駆動を実現することができる光学素子を提供する。
【解決手段】対向配置された第１および第２の基板と、第１の基板における第２の基板と対向する内面に、第１の方向において隣り合うように立設すると共に第１の方向と直交する第２の方向へ延在する一対の壁部と、その一対の壁部の壁面に、互いに対向し、かつ第１の基板から離間して設けられた第１および第２の電極と、第１および第２の電極をそれぞれ覆う絶縁膜と、第２の基板の、第１の基板と対向する内面に設けられた第３の電極と、第１の基板と第３の電極との間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体および無極性液体とを備える。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェッティングを用いて、高い解像度が得られるとともに、各画素を通過する光の位相を制御可能な空間光変調器を提供する。
【解決手段】入射光を変調する空間光変調器２８は、液体を収容可能な枠状の隔壁部３３ａ及び可変電圧が印加される画素電極３８を有する複数のセル部３４と、複数のセル部３４に収容可能に保持された互いに屈折率及び誘電率が異なる第１及び第２の液体Ｌｑａ，Ｌｑｂと、複数のセル部３４で増減する液体Ｌｑａ，Ｌｑｂを貯蔵可能な貯蔵部３１と、を備え、セル部３４の画素電極３８に印加される電圧によって、隔壁部３３ａ内における液体Ｌｑａ，Ｌｑｂの厚さの比を制御する。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮化及び測定精度の向上を図ると共に装置の小型化が可能な光学遅延装置を提供する。
【解決手段】回転型の光学遅延装置１０は、入射された光を反射して出射する反射体１１０〜１４０と、反射体から出射された光を反射して、この反射体とは異なる他の反射体に入射させるミラー群２１０〜２３０と、を備える。反射体１１０〜１４０に入射される入力光の光路長を、反射体１１０〜１４０の回転によって変動させることにより、入力光に対して遅延された遅延光を出力する。 （もっと読む）

【課題】中間部材を設けずに対向する基板間を容易に接続する光フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを介して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１に設けられた第１駆動電極５６１と、可動基板５２に設けられ、第１駆動電極５６１と対向する第２駆動電極５６２と、固定基板５１に設けられた第１接続電極５７１と、可動基板５２に設けられ、第１接続電極５７１の一部と対向する位置に可動基板５２の厚み方向の寸法が小さく形成された薄肉部５８２と、第２駆動電極５６２に接続され、第１接続電極５７１に対向して薄肉部に形成された第２接続電極５７２と、を備え、第１接続電極５７１と薄肉部５８２に形成された第２接続電極５７２とが接続されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でスペックルノイズの低減が可能な走査型表示装置を提供する。
【解決手段】走査素子１１０、走査素子１１２、位相分布変化素子１１１で構成される位相分布変化装置１０９を光ビームの光路に挿入する。走査素子１１０は、位相分布変化素子１１１上に光ビームを走査する。位相分布変化素子１１１は、光ビームが入射する位置によって異なる位相分布を光ビームに付加する。走査素子１１２を走査素子１１０と同期制御させ、光ビームの進行方向の変化を相殺する。即ち、位相分布変化装置１０９は、光ビームの進行方向を保持したまま、その位相分布を動的に変化させる。その結果、レーザ光ビームの干渉現象に起因するスペックルノイズパターンを動的に変化させ、時間的平均化効果により、スペックルノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】基板面に対して大きく傾斜した（或いは垂直に近い）半透過反射面に酸化シリコン膜を均一に形成し得る光学部品の製造方法、並びにこの方法により製造された光学部品を提供する。
【解決手段】光透過性光学部品１２を製造する方法であって、板状部材のシリコン領域１１をエッチングして凹部を形成する第１のエッチング工程と、凹部の内側面を熱酸化させて酸化シリコン膜１４を形成する熱酸化工程と、酸化シリコン膜１４を覆う窒化シリコン膜１６を形成する窒化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】走査角が大きくなっても、走査対象とビームウエストの位置とのずれを抑制すること。
【解決手段】レーザ光を出力する光源と、該光源からのレーザ光を反射して周期的に走査させる走査手段と、を備えた光走査装置であって、前記走査手段が、レーザ光を反射するミラー部と、一走査中、仮想平面上を前記レーザ光のビームウエスト位置が移動するよう、前記ミラー部の曲率を走査周期の１／２周期で変化させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光路長の可変時の光軸ずれを抑制して安定な干渉強度が得られるようにする。
【解決手段】ビームスプリッタ２２と第１の直交ミラー２３との間の第１の折り返し光路に挿入された光路長可変器３０の可動部としての可動透光体３２が、その折り返し光路がなす面と直交し且つ第１の直交ミラー２３の一対の反射面２３ａ、２３ｂが交わる境界線２３ｃを含む平面に沿ってその位置を変化させ、第１の折り返し光路を伝搬する光の伝搬長を可変させるから、その可動により直交ミラー３０側への出射光軸のシフトが生じても、そのシフト方向は直交ミラー３０の反射面の境界線２３ｃに沿った方向となり、その入射軸と平行な光軸で折り返されて可動透光体３２に再入射され、光軸シフトが相殺された状態でビームスプリッタ２２に戻される。 （もっと読む）

【課題】小型でビットレート、光位相とも変更可能な１ビット遅延干渉計を提供する。
【解決手段】本発明の遅延干渉計は、分岐手段により分岐された光線の第１の光路及び又は第２の光路に配置されたものであり、駆動部と、それぞれの頂角が同じであるくさび型光学素子及びくさび型光学素子とを有して構成されるものであって、駆動部による駆動を受けたくさび型光学素子が、対向するくさび型光学素子に平行に移動することにより、第１の光路及び又は第２の光路を進行する光の光路長の粗調及び微調を行う粗動調整手段及び微動調整手段と、微動調整手段による微動調整、粗動調整手段による粗動調整が行われた、第１の光路を進行する第１の光線及び第２の光路を進行する第２の光線を分岐し、第１の光線及び第２の光線の各分岐光に基づいて再結合して出力する分岐再結合手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射型ディスプレイにおいて反射型ディスプレイ素子の前面に向けられた照明を供給する。
【解決手段】ディスプレイ装置であって、入射光がそこから反射される反射面を有する複数の反射型ディスプレイ素子と、前記反射面を支持する少なくとも部分的に光学的に伝送可能な複数の支柱４００と、前記支柱と位置合せされた複数の光リダイレクタ４１０とを具備し、前記光リダイレクタは、前記支柱により伝達される光の向きを前記反射型ディスプレイ素子の中へと変えるように構成される。 （もっと読む）

【課題】マスキングを減少させた微小電子機械システム(MEMS)デバイスを製作する方法と、その方法によって形成されたMEMSデバイスが開示される。
【解決手段】一実施形態では、MEMSデバイス(900)は、事前形成された構成要素を各々が有する、前面基板(910)と保持体(950)を積層することによって製作される。前面基板(910)には、その上に重ねて形成された静止電極が提供される。その上に重ねて形成された可動電極(1360)を含む保持体(950)は、前面基板(910)に結合される。いくつかの実施形態の保持体(3500)は、可動電極(3510)を前面基板(3570)に移転させた後で除去される。他の実施形態では、保持体(3450)は、前面基板(3410)上に留まり、MEMSデバイス(3400)のための背面板として機能する。フィーチャは、付着およびパターン形成によって、型押しによって、またはパターン形成およびエッチングによって形成される。 （もっと読む）

【課題】結合効率が高い光パルス列を射出でき、また、光パルス列のパルス間隔を任意に設定できる光パルス多重化ユニット、それを用いた光パルス発生器、及び光パルス多重化方法を提供する。
【解決手段】ハーフミラー２と、Ｎ個の屈折率ｎの遅延素子３１１、３１２、…、３１Ｎを有し、Ｎ個の遅延素子の各々が、ハーフミラー２の一方の側に、一端から他端に向かって配置され、且つ、最も小さい厚みをΔとしたとき、各々、Δ，２Δ，…，２^N-1Δの互いに異なる厚みを有する。また、平行配置されたミラー１１，１２を有し、ハーフミラー２が、ミラー１１，１２の中間位置近傍に平行配置され、Ｎ個の遅延素子が、ミラー１２とハーフミラー２の間に配置されている。Ｎ個の遅延素子の各々は、平行平面板であり、該平行平面板の面の法線方向がハーフミラー２の一端から他端に向かう方向と異なる角度で配置されている。 （もっと読む）

【課題】小型・簡易制御の可変焦点ミラーにおいて、消費電力の低減と、信頼性向上を図る。
【解決手段】可変焦点ミラーおよびこれを用いた光ピックアップは、基板と、前記基板の片面に形成した反射膜と、前記基板に前記反射膜と相対する片面に形成した中間部材と、前記中間部材を介して前記基板に固定された磁性体とから形成されたミラー素子部と、ヨークと前記ヨークの周囲に配置したコイルとから形成された電磁石と、ミラー素子部の外周部と電磁石とを固定する筺体から成る可変焦点ミラーにおいて、前記電磁石は前記中間部材と前記磁性体に非接触に対向して配置され、前記中間部材は弾性体を用いる。 （もっと読む）

【課題】動作の遅延を抑制しつつ、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを抑える。
【解決手段】空間光変調装置１Ａは、位相変調型の空間光変調素子１０と、空間光変調素子１０の温度を検出する温度センサと、駆動信号ＳＤを空間光変調素子１０に提供する制御部２０Ａとを備える。制御部２０Ａは記憶部２２を有する。記憶部２２は、空間光変調素子１０の位相歪みを補正するために空間光変調素子１０のＮ個（Ｎは２以上の整数）の温度値に対応して作成されたＮ個の補正用パターンを記憶している。制御部２０Ａは、空間光変調素子１０の温度値に応じて一の補正用パターンを選択し、該一の補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される位相パターンに基づいて駆動信号ＳＤを生成する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線発信器から発振されたレーザー光線の出力を高速制御することができるレーザー光線照射機構およびレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】レーザー光線発振器と集光レンズとの間に配設された出力調整手段６３とを具備するレーザー光線照射機構であって、出力調整手段は、１／２波長板と、直線偏光のレーザー光線を入光してS偏光成分を反射させP偏光成分を透過せしめる第１の偏光ビームスプリッター面および第２の偏光ビームスプリッター面を備えたプリズム６３２と、S偏光成分とP偏光成分との間に位相差(α)を生成する光路長調整手段６３３と、偏光成分合成手段６３６と、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線を分光する偏光ビームスプリッター面を備え、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線のS偏光成分とP偏光成分との位相差(α＋β)を０度から１８０度の間で制御する制御手段とを具備している。 （もっと読む）