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Fターム[2H141MB23]の内容

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【課題】波長可変干渉フィルターにおける接続信頼性が高い分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光カメラは、測定対象光が入射するテレセントリック光学系11と、測定対象光のうち赤外光を第一光路L1に分離し、可視光を第二光路L2に分離する第一ダイクロイックミラー121と、第一光路L1内に配設され、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、第一光路L1の赤外光及び第二光路L2の可視光を射出光路L3に射出する第二ダイクロイックミラー126と、測定対象光を撮像する撮像部13とを具備した。 (もっと読む)


【課題】2軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板101の上に離間して配置されたミラー102と、ミラー102の一端を1つの連結部103を介して連結して基板101の上で支持する第1支持部104と、ミラー102を挟んで第1支持部104に対向する第2支持部105と、第2支持部105に一端が支持されて他端がミラー102の他端に各々1つの連結部106a,106bを介して連結する2つの第1可動梁107および第2可動梁108と、第1可動梁107のミラー102側の他端を基板101より離れる方向および基板101に近づく方向の選択された第1方向に変位させるための第1駆動電極109と、第2可動梁108のミラー102側の他端を上記第1方向に変位させるための第2駆動電極110とを備える。 (もっと読む)


【課題】ターゲットに照射されるビームの焦点ずれ及び位置ずれを独立に調整することが可能な光軸調整装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る光軸調整装置は、光学ベースと、受発光素子と、光学部品と、反射部材と、ターゲットと、支持部材とを備える。前記受発光素子と、前記光学部品と、前記反射部材と、前記ターゲットと、前記支持部材とは、前記光学ベース上に接着等により固定されて実装される。前記反射部材は、前記光学ベース上に接着された支持部材と接着されて前記光学ベース上に実装される。前記反射部材は、第1の反射面と、第2の反射面とを備え、ビームは、前記反射部材によって2回反射されて、前記ターゲットに照射される。 (もっと読む)


【課題】反射膜同士が貼りつき難くする波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】第1基板10と第2基板20との間に第1反射膜14と第2反射膜24と静電アクチュエーター40とを含んで密閉された第1空洞部45と、第2基板20と第3基板30との間に密閉された第2空洞部46と、を備え、第1空洞部45内および第2空洞部46内は大気圧より小さい圧力で保持され、第1空洞部45内の圧力は、第2空洞部46内の圧力より大きく形成する。 (もっと読む)


【課題】機械的な干渉、過度の湿気、及び損傷を及ぼす可能性がある物質からインターフェロメトリックモジュレータを保護するバックプレートを備えたインターフェロメトリックモジュレータアレイを提供する。
【解決手段】MEMSを基本にしたディスプレイデバイス600であり、インターフェロメトリックモジュレータアレイ604が透明基板を通じて光を反射させるように構成されている。透明基板は、シール606を介してバックプレート608に取り付けられており、バックプレートは、インターフェロメトリックモジュレータアレイを制御するための電子回路を内蔵することができる。バックプレートは、ディスプレイの状態を制御するために使用することができるデバイス構成要素(例えば電子構成要素、等)に関する物理的支持物となることができる。さらに、バックプレートは、デバイスに関する構造上の主支持物として利用することもできる。 (もっと読む)


【課題】迅速に安定状態に移行可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定基板51と、固定基板51に接合された可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜54と、可動基板52に設けられ固定反射膜54に反射膜間ギャップG1を介して対向する可動反射膜55と、可動基板52を固定基板51側に撓ませて反射膜間ギャップG1のギャップ量を変化させる静電アクチュエーター56と、を具備し、固定基板51及び可動基板52の間には、反射膜間ギャップG1のギャップ量が小さくなった際に、固定反射膜54及び可動反射膜55の間の空気が逃げる解放空間57が設けられ、可動基板52のバネ定数をkとし、反射膜間ギャップG1に存在する空気のバネ定数をkairとした場合に、k≧20×kairの関係を満たす。 (もっと読む)


【課題】製造効率性の低下を抑え、かつ反射膜の劣化を防止可能な干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5の製造方法は、固定基板51に固定反射膜54と第一接合膜531とを成膜して、固定基板51を形成する第一基板形成工程と、可動基板52に可動反射膜55と、第二接合膜532とを成膜して、可動基板52を形成する第二基板形成工程と、第一接合膜531及び第二接合膜532を接合することで、固定基板51及び可動基板52を接合する接合工程と、を備え、第一接合膜531及び第二接合膜532は、シロキサンを含有し、接合工程は、第一接合膜531及び第二接合膜532に対して、Nプラズマ処理またはArプラズマ処理を行って表面を活性化させた後、これらの第一接合膜531及び第二接合膜532をシロキサン結合により接合する。 (もっと読む)


【課題】内部気密性を良好に維持できる光学フィルターデバイス、及び光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】光学フィルターデバイス600は、固定基板51、可動基板52、固定反射膜、及び可動反射膜を備えた波長可変干渉フィルター5と、波長可変干渉フィルター5を内部に収納する筐体601と、を具備する。筐体601は、ベース基板610と、当該ベース基板610に接合され、当該ベース基板610との間に内部空間650を形成するリッド620と、リッド620に設けられた光通過孔621を閉塞するリッド側ガラス基板640とを備える。そして、リッド側ガラス基板640は、基板端縁641が、光通過孔621の外周縁よりも外側に位置し、光通過孔621の外周縁から基板端縁641までの領域が、リッド620に接合される。 (もっと読む)


【課題】可動ミラーの傾斜に伴う可動ミラーの変形の発生が防止された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器100は、可動ミラー110と、可動ミラー110を第一の軸181まわりに傾斜可能に支持する一対のヒンジ120と、ヒンジ120をそれぞれ支持する一対の固定部130とを有している。可動ミラー110とヒンジ120と固定部130は、第一の軸181に直交する第二の軸182に沿って整列している。光偏向器100はさらに、可動ミラー110を第一の軸181まわりに傾斜させる駆動素子たとえば一対の駆動電極160を有している。光偏向器100はさらに、可動ミラー110の傾斜により可動ミラー110に生じる変形を緩衝する緩衝部140を有している。 (もっと読む)


【課題】帯電の少ない波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板50と、固定基板50に対向し、固定基板50に対して変位可能な可動基板60と、固定基板50の可動基板60と対向する面に第1凹部72が形成され、第1凹部72に設けられた第1反射膜53と、可動基板60に設けられ、第1反射膜53とギャップを介して対向する第2反射膜63と、固定基板50の可動基板60に対向する面の第1凹部72に設けられた第1電極54と、可動基板60に設けられ、第1電極54と対向する第2電極64と、を備え、固定基板50における第1反射膜53の下層に導電性を有するDLC膜56が形成され、可動基板60における第2電極64および第2反射膜63の下層に導電性を有するDLC膜66が連続して形成されている。 (もっと読む)


【課題】 広範囲の波長帯域で、安定的に発振可能な波長掃引光源装置を提供すること。
【解決手段】 光を増幅させる光利得媒体と、該光利得媒体より放出される光を波長に応じて分散させる分散素子と、波長選択素子と、を備え、前記光利得媒体より放出され前記分散素子により分散した波長の異なる光から所定波長の光を、前記波長選択素子により選択して出射する光の発振波長を変化可能な光源装置であって、前記光利得媒体を複数備え、該複数の光利得媒体は、利得波長帯域が互いに一部重複すると共に異なる最大利得波長を有しており、前記複数の光利得媒体で増幅された複数の波長帯域の光より、前記所定波長の光を選択して出射する光の発振波長を変化可能な光源装置。 (もっと読む)


【課題】蛍光体による光の生成効率を高めることができる投写型表示装置および光変換デバイスを提供する。
【解決手段】プロジェクタは、B光を出射する青色レーザアレイ11と、B光を、当該光とは波長帯の異なるG光に変換するホイール110と、ホイール110から出射された光を変調するDMD31と、を備える。ここで、ホイール110は、緑色セグメント領域110Gを有する。緑色セグメント領域110Gは、B光に励起されてG光を発する緑色蛍光層114と、緑色蛍光層114に対してB光の入射側に配され、B光を透過するとともにG光を反射するB光透過膜112と、緑色蛍光層114に対してB光の入射側と反対側に配され、B光を反射するとともにG光を透過するB光反射膜115と、を含む。 (もっと読む)


【課題】必要となるポート数が少ないユーザが、ポート数の多い波長選択スイッチの一部のポートを利用した場合、機能しないポートが数多く存在する。
【解決手段】本発明にかかる波長選択スイッチは、波長多重された光を入力または出力可能なポートを複数備えた光入出力部と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光を波長ごとに偏向可能な第1の偏向部材と、光入出力部および第1の偏向部材の間の光路中に配置された分散素子と、光入出力部および分散素の間の光路中に配置された第1の光学系と、分散素子および第1の偏向部材の間の光路中に配置された第2の光学系と、第1の光学系および第1の偏向部材の間の光路中に配置可能な光学部材と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光のうち、光学部材からの光を波長ごとに偏向可能な第2の偏向部材とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】赤外線をチョッピングし得る領域を十分に広くする。
【解決手段】支持基板20と、赤外線透過薄膜積層体23と、基板20の厚み方向で積層体23に対向配置されて「機構側支持部」によって支持された赤外線透過薄膜積層体25とを有し、導電性材料でそれぞれ形成された両積層体23,25の間に電圧が印加された状態において両積層体23,25が光学的に一体化して厚み方向に赤外線IRを透過させ、かつ、電圧が印加されない状態において両積層体23,25の間にギャップ28が形成されて赤外線IRを反射すると共に、「機構側支持部」が、積層体25の外縁領域に設けられた支持枠24aと、積層体25の内側領域に設けられた支柱24bとを備え、電圧が印加された状態において、積層体25の「機構側支持部」によって支持されていない部位が積層体23に接して両積層体23,25が光学的に一体化する。 (もっと読む)


【課題】変位量が温度変動に影響されない静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】静電アクチュエータ130は基本駆動素子111a1を備えている。基本駆動素子111a1は、櫛歯電極105aと、櫛歯電極106aと、櫛歯電極105aを保持している電極ポスト107aと、櫛歯電極106aを保持している電極ポスト108aと、電極ポスト107aを保持しているたわみばね102,104と、電極ポスト108aを保持しているたわみばね103から構成されている。櫛歯電極105aと櫛歯電極106aは、それらの櫛歯部が互いに対向するように配置されている。櫛歯電極105aは電極ポスト107aを介してたわみばね102,104と電気的に接続され、櫛歯電極106aは電極ポスト108aを介してたわみばね103と電気的に接続されている。 (もっと読む)


【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第2の基板3は、その厚さ方向での位置が異なる2つの面を可動部21側に有し、2つの面のうち、一方に駆動電極33が設けられ、他方に検出電極40が設けられており、検出電極40と可動部21との間の静電容量に基づいて、駆動電極33と可動部21の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるとともに、固定反射膜35と可動反射膜25との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜35と可動反射膜25との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】走査スワス幅と走査線間隔との運転時変化が可能となり、その結果、感光体速度の調整を必要とせずにステッチエラーおよび他の問題を軽減したり、または取り除いたりすることができる改良された印刷システムと、それらの印刷システム用の多重ビームラスタ出力スキャナ(ROS)と、を提供する。
【解決手段】ROS多角形鏡128の上流の光学ビーム経路内に調整可能な鏡M2またはレンズを提供して、運転時に線間間隔とスワス間間隔との自動化した電子的調整を可能にする。 (もっと読む)


【課題】安価な装置で簡易的に台形歪みの無い画像を投写する。
【解決手段】光学エンジンユニットから出射される画像の光を反射させるミラーを回動自在に設け、そのミラーの傾動に連動しかつ2倍の角度で傾動するカメラを設け、ミラーにより反射する第2の投写方向に位置するスクリーンに映し出される画像をカメラにより撮像、スクリーンに映し出される画像が正常な形状の画像となるように、カメラの撮像データに基づいて光学エンジンユニットから出射される画像を補正する。スクリーン上に映し出される画像を撮像するカメラの向きをミラーに連動させることから、カメラの向きの調整を行う必要が無く、画像形状の補正処理を簡略化し得る。 (もっと読む)


【課題】走査角が大きくなっても、走査対象とビームウエストの位置とのずれを抑制すること。
【解決手段】レーザ光を出力する光源と、該光源からのレーザ光を反射して周期的に走査させる走査手段と、を備えた光走査装置であって、前記走査手段が、レーザ光を反射するミラー部と、一走査中、仮想平面上を前記レーザ光のビームウエスト位置が移動するよう、前記ミラー部の曲率を走査周期の1/2周期で変化させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板面に対して大きく傾斜した(或いは垂直に近い)半透過反射面に酸化シリコン膜を均一に形成し得る光学部品の製造方法、並びにこの方法により製造された光学部品を提供する。
【解決手段】光透過性光学部品12を製造する方法であって、板状部材のシリコン領域11をエッチングして凹部を形成する第1のエッチング工程と、凹部の内側面を熱酸化させて酸化シリコン膜14を形成する熱酸化工程と、酸化シリコン膜14を覆う窒化シリコン膜16を形成する窒化膜形成工程とを含む。 (もっと読む)


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