【課題】構造体において発生する不要な周波数の振動を低減することができる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、構造体２、圧電素子５、基台４、および突出部４４を備える。構造体２は、ミラー部２１、一対の捩れ梁部２２、および本体部２３を有する。ミラー部２１は、揺動軸Ｏを中心として揺動可能に支持される。一対の捩れ梁部２２は、ミラー部２１を揺動可能に支持する。本体部２３には、一対の捩れ梁部２２の各々のうち、ミラー部２１に接続する端部とは反対側の端部が接続される。圧電素子５は、本体部２３の一方の板面に接合され、ミラー部２１を共振揺動させるための振動力を発生させる。突出部４４は、基台４から突出し、本体部２３のうち圧電素子５が接合される板面の反対側の板面に固定される。 （もっと読む）

【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】 絶縁基体と側面導体との熱膨張率の違いによって光学素子搭載用基板に生じる反りを抑制すること。
【解決手段】
光学素子搭載用基板１は、光学素子２の搭載領域11ａを含む上面を有しており、平面視において矩形状の絶縁基体11と、絶縁基体11の対向する第１の一対の側面11ｂに設けられた第１の側面導体12と、絶縁基体11の対向する第２の一対の側面11ｃに設けられた第２の側面導体13とを有しており、第１の側面導体12が下方向に向かうに伴って厚くなっており、第２の側面導体13が下方向に向かうに伴って薄くなっている。絶縁基体11の角部における反りが低減されて、絶縁基体11の角部を起点とする絶縁基体11の反りが低減される。 （もっと読む）

【課題】波長可変干渉フィルターにおける接続信頼性が高い分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光カメラは、測定対象光が入射するテレセントリック光学系１１と、測定対象光のうち赤外光を第一光路Ｌ１に分離し、可視光を第二光路Ｌ２に分離する第一ダイクロイックミラー１２１と、第一光路Ｌ１内に配設され、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、第一光路Ｌ１の赤外光及び第二光路Ｌ２の可視光を射出光路Ｌ３に射出する第二ダイクロイックミラー１２６と、測定対象光を撮像する撮像部１３とを具備した。 （もっと読む）

【課題】フィルタ特性の中心波長ずれを修正可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ３００は、波長多重された光信号が入力される入力ポート３０１と、光信号が出力される出力ポート３０２と、光信号を分波および合波する分波合波器３０４と、光信号を波長ごとに偏向し得る光偏向器アレイ３０６と、入力ポート３０１と出力ポート３０２を分波合波器３０４と光偏向器アレイ３０６を介して結合させる光学部材３０３を有している。光偏向器アレイ３０６は、分波合波器３０４の分波方向に配列された複数の光偏向器３０５と、光偏向器３０５から外れた光信号を受光しその光量を反映した電気信号を出力する光検出部３０７を有している。波長選択スイッチ３００はさらに、光偏向器アレイ３０６の位置を変更し得る位置変更部３０９と、光検出部３０７による検出結果に基づいて位置変更部３０９をサーボ制御する制御部３０８を有している。 （もっと読む）

【課題】EW方式の駆動ポンプ部の駆動力を用いた液体レンズなどの液体光学素子において、電極の絶縁膜と液体との摩擦により低下しやすい駆動速度を高速化する技術を提供する。
【解決手段】液体光学素子は、光学有効部と複数の駆動ポンプ部１０８を有する。駆動ポンプ部は、不混和な液体１０１、１０２間の界面１０３b、１０３c、１０３ dの端部を保持する保持部１０６と、保持部に対して配置された絶縁電極１０４を有する。電極に印加される電圧を制御することで電極１０４に接する界面の端部を変位させて液体を移動させることにより、各駆動ポンプ部から連通して存在する液体１０１、１０２を含む複数の液体が存在する光学有効部の状態を変化させて光学特性が変化させられる。 （もっと読む）

【課題】マイクロミラー装置およびマイクロミラーアレイのフィルファクタを向上させる
。
【解決手段】電極１５−１〜１５−４は、可動梁１２−１〜１２−４に対向して配置され
る。これにより、固定電極をミラーに対向して配置したするよりも、各ミラー１４を高密
度に配置することができるので、結果として、フィルファクタを向上させることができる
。 （もっと読む）

【課題】迅速なスペクトル特性の測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、光量を検出するディテクター１１と、測定対象光のスペクトル特性を測定する制御部２０と、を備え、制御部２０は、静電アクチュエーターに駆動電圧を印加して反射膜間ギャップを変化させるフィルター駆動部２１と、ディテクター１１により検出される光量を取得する検出光量取得部２３と、検出された光量の遷移状態及び可動基板が有する固有振動周期に基づいて、可動基板の振動中心に対応した光量を目的光量として取得する目的光量取得部２４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】全体の小型化を可能とする光走査装置を提供すること。
【解決手段】被写体に照射する照射光が入射し所定方向へ反射する第１の反射面を有し、該第１の反射面で反射する照射光を第１の軸方向に走査するように前記第１の反射面を回転駆動させる第１のマイクロスキャナ（１０）と、一方の集光点が前記第１の反射面上の照射光位置に設定され、他方の集光点が前記第１のマイクロスキャナ（１０）と干渉しない位置に設定された凹面鏡（５０）と、前記凹面鏡（５０）の他方の集光点に配置された第２の反射面を有し、前記凹面鏡（５０）から前記第２の反射面に入射して反射する照射光を第１の軸方向と異なる第２の軸方向に走査するように前記第２の反射面を回転駆動させる第２のマイクロスキャナ（２０）と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１は、照射された光を反射するミラー部２と、ミラー部２を囲うように間隙３を有して配置されたジンバル部４と、ジンバル部４を囲うように間隙５を有して配置されたフレーム部６と、ミラー部２とジンバル部４とを接続する一対の第１トーションバー部７ａ，７ｂと、ジンバル部４とフレーム部６とを接続する一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂと、を備え、一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂは、所定の材料から構成された第３トーションバー部８ａ〜８ｄと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第４トーションバー部９ａ，９ｂと、をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】ミラー素子の状態を検出することができる光通信装置およびミラー素子を提供する。
【解決手段】可動梁２２−１〜２２−４には、センサ部２５−１〜２５−４が設けられている。これにより、センサ部２５−１〜２５−４の抵抗値の変化に基づいて可動梁２２−１〜２２−４の状態を検出することができる。結果として、ミラー素子１が故障しているか否かを特定することもできる。 （もっと読む）

【課題】本発明によれば、第１の揺動軸を中心として揺動し得るように構成されたサポートフレーム、及びサポートフレームに固定されたミラーを備えた可動部材であり、サポートフレームの揺動によりミラーが揺動される、可動部材と、サポートフレームと共働するコイルと、サポートフレームとミラーとの間に設けられ、サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にサポートフレームの縁部からミラーに伝達されるワープの影響を低減させる境界部分とを具備し、サポートフレームが切欠領域をさらに備え、切欠領域が、
【解決手段】サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にコイルに対する応力を低減させるように、及び／又は前記アクチュエータの特性の中の温度依存性を低減させるように、コイルの少なくとも一部分に対して平行となるように構成されるアクチュエータが、提供される。 （もっと読む）

【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５により取り出された光の光強度を検出する検出部１１と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部２１及び電圧制御部１５と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部２２と、電圧監視部２２により監視される電圧が所定の測定対象電圧になった際に検出部１１により検出された光強度を取得する光強度取得部２４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に離間して配置されたミラー１０２と、ミラー１０２の一端を１つの連結部１０３を介して連結して基板１０１の上で支持する第１支持部１０４と、ミラー１０２を挟んで第１支持部１０４に対向する第２支持部１０５と、第２支持部１０５に一端が支持されて他端がミラー１０２の他端に各々１つの連結部１０６ａ，１０６ｂを介して連結する２つの第１可動梁１０７および第２可動梁１０８と、第１可動梁１０７のミラー１０２側の他端を基板１０１より離れる方向および基板１０１に近づく方向の選択された第１方向に変位させるための第１駆動電極１０９と、第２可動梁１０８のミラー１０２側の他端を上記第１方向に変位させるための第２駆動電極１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】駆動開口と固定開口がどれだけずれているかを検出することができる構造を提供する。
【解決手段】遮光膜１２は、表示領域に複数の固定開口を有する。遮光膜１２は、周辺領域では、周辺領域のシャッタ４０の一部との重複を避けるように形成されたダミー開口２４を有する。ダミー開口２４の縁は、固定開口の規則性を以て周辺領域に配置すると仮想した固定開口の縁の一部からなるエッジを含む。表示領域のシャッタ４０は、第１位置Ｐ１で駆動開口４２と固定開口が連通して光を通過させ、第２位置Ｐ２で駆動開口４２と固定開口がずれるように配置されて光を遮断する。複数のシャッタ４０が第２位置Ｐ２にあるとき、周辺領域の駆動開口４２とエッジとの距離ｄと、表示領域の駆動開口４２と固定開口の縁の一部との距離Ｄとが相間関係を有する。 （もっと読む）

【課題】可動シャッタ方式の画像表示装置の利点である高画質性能を維持しながら、画素回路の簡略化による高精細化と高信頼性化を両立させる。
【解決手段】画素回路は、前記可動シャッタに対して対に設けられた第１制御電極と第２制御電極と、前記第１制御電極に前記画像信号に応じた第１制御電圧を入力するための第１制御電圧印加回路とを有し、前記第２制御電極には第２制御電圧が入力され、前記第１制御電圧印加回路は、電流端子の一端が前記信号線に接続され、ゲートが前記走査線に接続される入力トランジスタと、他端に容量制御信号が入力されるとともに、一端が前記入力トランジスタの電流端子の他端に接続され、前記入力トランジスタで取り込んだ電圧を保持する保持容量と、ゲートが前記保持容量の一端に接続され、電流端子の他端が第１制御電極に接続されるとともに、電流端子の一端に第１制御信号が入力される第１トランジスタとを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１及び可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、複数の固定部分電極５４３を備え、可動電極５４２は、複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３及び可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、同一面積を有し、重心点が可動部５２１の中心点Ｏを中心とする仮想円Ｐ上で等角度間隔に配置され、電圧印加用部分電極間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）