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Fターム[2H141MD16]の内容

機械的光制御・光スイッチ (28,541) | 光学要素の移動様式 (5,868) | 回転、傾斜 (3,675) | 両持ち (416)

Fターム[2H141MD16]に分類される特許

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【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器A1は、反射面を有するミラー部1と、トーションバー2a、2bに一端が連結され他端が支持部10に連結されて支持された圧電アクチュエータ8a、8bとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部1と支持部10との間の空隙に設けられる衝撃緩和部9a、9bは、支持部10のトーションバーと直交する方向のミラー部1と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 (もっと読む)


【課題】磁石の剥離を防止することができ、磁路を設けることで磁石に作用する磁界の磁束密度を高くすることができ、可動部を第1の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の軸部材13a、13bと、可動板11に設けられ、両極が第1の軸を挟んで配置された永久磁石20と、可動板11と永久磁石20との間に介在して可動板11と永久磁石20とを接合し、半田で構成された半田層21と、可動板11と半田層21との間に介在し、可動板11よりも半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含む下地層22とを備え、可動板11の平面視で、下地層22は、永久磁石20を包含し、下地層22の少なくとも一部が永久磁石20から突出している。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20a、20bと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20a、20bは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して傾斜するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して直交するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】レーザダイオードの制御を煩雑にすることなく、被投射面に投射される画像の明度を装置本体の周囲の明るさに応じて適正化できるプロジェクタ装置を提供する。
【解決手段】 プロジェクタ装置10は、3つのレーザダイオードLD1〜LD3から射出され偏向反射器20で偏向された光をスクリーンSの被投射面に投射して画像を表示する装置本体11と、該装置本体11の周囲の明るさを検出する照度センサ16と、該照度センサ16からの検出情報に基づいて、前記光の光路上にフィルタ部材22の一部を位置させて前記光の強度を変更可能な光強度可変装置18とを備えている。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第2の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20aと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20aは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して直交するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して傾斜するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー(10)の自由端に形成された櫛歯電極を有する第1の櫛歯部(13a,13b)と、第1の櫛歯部(13a,13b)と対向し互いの櫛歯が噛み合うように配置された櫛歯電極を有する第2の櫛歯部(15a,15b)と、反射ミラー(10)および第2の櫛歯部(15a,15b)の一方の面に対向するようにスペースを開けて配置された透光性基板(22)と、透光性基板(22)を固定端として第2の櫛歯部(15a,15b)の一部であって第2のトーションバー(16)の軸から外れた位置を押圧する押圧部材(23)と、具備する構成とする。 (もっと読む)


【課題】全体の小型化を可能とする光走査装置を提供すること。
【解決手段】被写体に照射する照射光が入射し所定方向へ反射する第1の反射面を有し、該第1の反射面で反射する照射光を第1の軸方向に走査するように前記第1の反射面を回転駆動させる第1のマイクロスキャナ(10)と、一方の集光点が前記第1の反射面上の照射光位置に設定され、他方の集光点が前記第1のマイクロスキャナ(10)と干渉しない位置に設定された凹面鏡(50)と、前記凹面鏡(50)の他方の集光点に配置された第2の反射面を有し、前記凹面鏡(50)から前記第2の反射面に入射して反射する照射光を第1の軸方向と異なる第2の軸方向に走査するように前記第2の反射面を回転駆動させる第2のマイクロスキャナ(20)と、を有する構成とする。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー(10)の自由端に形成された第1の櫛歯電極(13a,13b)と、第1の櫛歯電極(13a,13b)と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第2の櫛歯電極(15a,15b)と、第2の櫛歯電極(15a,15b)と梁(18)を介して結合された接触部(19)と、接触部(19)の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部(20)と、を有し、接触部(19)と電極部(20)との間に静電引力を発生させて、接触部(19)を変位させる構成とする。 (もっと読む)


【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】2次元光偏向器1は、照射された光を反射するミラー部2と、ミラー部2を囲うように間隙3を有して配置されたジンバル部4と、ジンバル部4を囲うように間隙5を有して配置されたフレーム部6と、ミラー部2とジンバル部4とを接続する一対の第1トーションバー部7a,7bと、ジンバル部4とフレーム部6とを接続する一対の第2トーションバー部8a〜8d,9a,9bと、を備え、一対の第2トーションバー部8a〜8d,9a,9bは、所定の材料から構成された第3トーションバー部8a〜8dと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第4トーションバー部9a,9bと、をそれぞれ有する。 (もっと読む)


【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第1の駆動梁と、第1の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第1の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第1の圧電センサを有し、第1の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第1の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第1の駆動梁に向かって引き出される。 (もっと読む)


【課題】ミラー素子の状態を検出することができる光通信装置およびミラー素子を提供する。
【解決手段】可動梁22−1〜22−4には、センサ部25−1〜25−4が設けられている。これにより、センサ部25−1〜25−4の抵抗値の変化に基づいて可動梁22−1〜22−4の状態を検出することができる。結果として、ミラー素子1が故障しているか否かを特定することもできる。 (もっと読む)


【課題】本発明によれば、第1の揺動軸を中心として揺動し得るように構成されたサポートフレーム、及びサポートフレームに固定されたミラーを備えた可動部材であり、サポートフレームの揺動によりミラーが揺動される、可動部材と、サポートフレームと共働するコイルと、サポートフレームとミラーとの間に設けられ、サポートフレームが第1の揺動軸を中心として揺動する際にサポートフレームの縁部からミラーに伝達されるワープの影響を低減させる境界部分とを具備し、サポートフレームが切欠領域をさらに備え、切欠領域が、
【解決手段】サポートフレームが第1の揺動軸を中心として揺動する際にコイルに対する応力を低減させるように、及び/又は前記アクチュエータの特性の中の温度依存性を低減させるように、コイルの少なくとも一部分に対して平行となるように構成されるアクチュエータが、提供される。 (もっと読む)


【課題】2軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板101の上に離間して配置されたミラー102と、ミラー102の一端を1つの連結部103を介して連結して基板101の上で支持する第1支持部104と、ミラー102を挟んで第1支持部104に対向する第2支持部105と、第2支持部105に一端が支持されて他端がミラー102の他端に各々1つの連結部106a,106bを介して連結する2つの第1可動梁107および第2可動梁108と、第1可動梁107のミラー102側の他端を基板101より離れる方向および基板101に近づく方向の選択された第1方向に変位させるための第1駆動電極109と、第2可動梁108のミラー102側の他端を上記第1方向に変位させるための第2駆動電極110とを備える。 (もっと読む)


【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、光反射性を有する光反射部211と、光反射部211を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部21と、可動部21に連結し、かつ前記可動部21の回動に伴って捩り変形する連結部23、24と、連結部23、24を支持する支持部22と、を有し、可動部21は、可動部21の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状(十字状)をなす。 (もっと読む)


【課題】2軸動作が可能なマイクロミラー素子より構成されるミラーアレイが、配線数の増加を抑制した状態で形成できるようにする。
【解決手段】第1可動梁131を駆動するための第1駆動電極111が、基板101の側に第1可動梁131に対向して配置され、第2可動梁141を駆動するための第3駆動電極113が、基板101の側に第2可動梁141に対向して配置されている。一方、第3可動梁161を駆動するための第2駆動電極112は、基板101の側とは反対側で第3可動梁161に対向して配置され、第4可動梁171を駆動するための第4駆動電極114も、基板101の側とは反対側で第4可動梁171に対向して配置されている。 (もっと読む)


【課題】 反射面を二軸周りに揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二軸周りの揺動を精度良く検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器1は、第1圧電アクチュエータ31及び第2圧電アクチュエータ51の駆動で二軸周りに揺動する反射面2aと、当該揺動を検知する第1検知部71y及び第2検知部71xを有する第1支持部4とを備える。第2圧電アクチュエータ51には、第1圧電アクチュエータ31に導通する第1駆動配線Wyと、第2圧電アクチュエータ51に導通する第2駆動配線Wo,Weと、第1検知部71yに導通する第1検知配線Wmyと、第2検知部71xに導通する第2検知配線Wmxと、第1接地線Wgyとが並行に配置される。第1接地線Wgyは、第1駆動配線Wy及び第2駆動配線Wo,Weと、第1検知配線Wmy及び第2検知配線Wmxとの間に配置される。 (もっと読む)


【課題】 複雑で高価な工法を用いることなく、光スキャナ素子構造の破損を防止しながら光スキャナ素子を個片として加工できる光スキャナの製造方法を提供する。
【解決手段】 光スキャナ素子1を形成する加工ウエハ11の表面を加工する際に、光スキャナ素子1をチップとして個片化するためのダイシングストリート12を形成する工程と、加工ウエハ11が光スキャナ素子1の可動部に対応したキャビティ13を有する支持基板14を加工ウエハ11の一方の表面に仮接合する工程と、加工ウエハ11の仮接合面と反対側の面を粘着フィルム16に貼り付け、仮接合に用いた部材15の接合力を消失させて加工ウエハから支持基板14を剥離する工程と、粘着フィルム16をエキスパンドさせた後、光スキャナ素子1をピックアップしてパッケージングする工程とを備える。 (もっと読む)


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