【課題】マイクロミラー装置およびマイクロミラーアレイのフィルファクタを向上させる
。
【解決手段】電極１５−１〜１５−４は、可動梁１２−１〜１２−４に対向して配置され
る。これにより、固定電極をミラーに対向して配置したするよりも、各ミラー１４を高密
度に配置することができるので、結果として、フィルファクタを向上させることができる
。 （もっと読む）

【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ１００は、ベース部２と、ベース部２に支持された複数のミラー１１０と、ミラー１１０に連結されてミラー１１０を駆動する複数のアクチュエータ１，１とを備え、ミラー１１０を互いに直交する主軸Ｘ及び副軸Ｙ回りに回動させる。アクチュエータ１は、副軸Ｙ方向に延びるアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３の表面３１に積層された圧電素子４とを有し、圧電素子４を伸縮させることによってアクチュエータ本体３を傾動させるように構成されている。各ミラー１１０には、副軸Ｙを挟んで並ぶ２つのアクチュエータ１，１が主軸Ｘに対して一方の側だけに設けられている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費の小さいマイクロミラー用の制御装置および制御方法を提供する。
【解決手段】第１の傾斜軸を中心にするマイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する第１の周波数（ｆ_ｈ）の第１の制御信号（Ｓ４）を形成するステップと、前記第１の傾斜軸に対して垂直の第２の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー（２０）の傾斜運動を符号化する、前記第１の周波数（ｆ_ｈ）よりも低い第２の周波数（ｆ_ｖ）の第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を形成するステップと、前記第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を、当該第２の制御信号（Ｓ２、Ｓ３）を前記第１の周波数によりバイナリ変調することにより変調するステップと、前記マイクロミラー（２０）の力入力素子（２１、２２、２３、２４）を、前記変調された第２の制御信号（Ｓ５）と前記第１の制御信号（Ｓ４）とで制御するステップと、を有するマイクロミラー（２０）の制御方法。 （もっと読む）

【課題】リサージュ走査であっても効果的な画像重複や走査解像度を有するスキャナ用偏向装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの偏向軸において振動すると共に、フレームと、懸架搭載部によって可動式に配置したミラープレート４とを有するマイクロミラー１と、少なくとも２つの偏向軸においてマイクロミラーの共鳴動作に対する制御信号を生成する制御装置と、を含み、ミラープレートの懸架搭載部が少なくとも１つのバネを有し、バネの一端をミラープレートに接続し、バネの他端を固定したフレームに接続し、マイクロミラーの共鳴動作に対する制御信号の周波数が、少なくとも２つの偏向軸において実質的に等しく、そのレベルを、所定の走査解像度と所定の走査反復率によって決定するが、それらが少なくとも所定の走査反復率に関して異なること、を特徴とするリサージュ走査を行うスキャナ用偏向装置。 （もっと読む）

【課題】双安定機構を含み、かつ、削減された電力消費のために低電圧で駆動されることが可能な機械的に作動可能なディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースのディスプレイ装置に関する。特に、ディスプレイ装置は、２つの機械的にコンプライアントな電極を有するアクチュエータを含んでもよい。さらに、ディスプレイ装置に含まれる、双安定シャッタ組立体と、シャッタ組立体内でシャッタを支持するための手段とが開示される。 （もっと読む）

【課題】望ましくない変形の発生を可能な限り妨げることにより、６自由度までの光学素子またはアセンブリの正確な操作を可能とする、光学素子操作装置を提供する。
【解決手段】少なくとも３つのアクチュエータデバイスを介して、構造体について、光学素子を６自由度まで操作する装置であって、各アクチュエータデバイス９が、少なくとも２つの力制御アクチュエータを備え、各力制御アクチュエータが、１自由度の有効な力を生成すると共に、アクチュエータデバイス９の連結点１１が、光学素子７に直接作用する。 （もっと読む）

【課題】双安定機構を含み、かつ、削減された電力消費のために低電圧で駆動されることが可能な機械的に作動可能なディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースのディスプレイ装置に関する。特に、ディスプレイ装置は、２つの機械的にコンプライアントな電極を有するアクチュエータを含んでもよい。さらに、ディスプレイ装置に含まれる、双安定シャッタ組立体と、シャッタ組立体内でシャッタを支持するための手段とが開示される。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】変位部４１，５１，６１，７１を駆動する駆動部８１０，８２０，８３０，８４０が、可動梁４２，５２，６２，７２の延長方向に変位部４１，５１，６１，７１から隔てて配置され、変位部４１，５１，６１，７１の内枠部４１１に固定される永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１に近付けて配置することができる。このため、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１により駆動部８１０，８２０，８３０，８４０に発生させるトルクを高い状態にすることができる。同一のトルクを低い電流で発生させ、消費電力化を実現する光スキャナー１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー駆動装置に係り、ミラーで反射した光を遮断し難くして、ミラーで反射する光を広範囲な角度に亘って走査することにある。
【解決手段】基板と、光を反射するミラーと、基板に対してミラーを支持する梁と、電磁力によりミラーを基板の上面よりも上方へ浮上させるミラー浮上制御機構と、ミラー浮上制御機構によりミラーが基板の上面よりも上方へ浮上されている際に、該ミラーを該基板に対して傾斜させるミラー傾斜制御機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】大面積のミラー素子を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれ複数の板ばねＳＥＬを用いて傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを、反射面ＳＥＡの裏面側で同一直線上にない３以上の複数点でベース部材ＳＶｂに接近する方向に駆動する複数の電磁石ＳＣｋとから、空間光変調器が構成されている。 （もっと読む）

【課題】可動部の設計変位を生じ易くしながら、意図しない変形は生じ難くすることが可能なマイクロ構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ構造体は、基板９と、基板９に固定された固定支持部４と、第１の可動部６と、第２の可動部３と、第１の可動部６と固定支持部４とを弾性的に連結する弾性支持部５を有する。第２の可動部３は第１の可動部６に固定され、第１の可動部６と第２の可動部３は、弾性支持部４により、固定支持部４に対して一体的に変位可能に弾性支持される。 （もっと読む）

【課題】実質的に透明なスクリーンを用いて観察者の興味を効果的に引き付けることのできる画像形成装置および背面投影型表示装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１は、表示面１１ａを有するスクリーン１１と、表示面１１ａに光を走査することにより画像を描画するプロジェクター１２とを有している。スクリーン１１は、表示面１１ａの各部位にて独立して、光を透過する光透過状態と光を拡散する光拡散状態とを選択でき、アドレス光が照射された部位が光拡散状態となる。プロジェクター１２は、表示面１１ａの当該表示面１１ａに表示する画像に対応した領域が光拡散状態となるようにアドレス光ＬＬ’を表示面１１ａにベクター走査するベクター走査部と、画像を表示するための表示光ＬＬ”をラスター走査するラスター走査部とを有している。 （もっと読む）

【課題】光走査領域の近傍に設置しても、大きな光走査領域を確保することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１００は、レーザー光ＬＬを出射する光出射部２００と、光出射部２００から出射したレーザー光ＬＬを反射する光反射部２２を有し、光反射部２２を互いに直交する回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ回動させて、光反射部２２で反射したレーザー光ＬＬを回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ走査する光スキャナー１と、回動中心軸Ｘ１、Ｙ１の交点と光出射部２００との相対的位置関係を一定に保ちつつ、光スキャナー１を所定の軸線まわりに回動させる駆動手段３００とを有している。 （もっと読む）

【課題】反射鏡を支える支持脚の長さや平面度の精度を向上させる必要がなく、反射面の曲率を変えることが可能で、焦点距離やビーム径、ビームモードの調整が可能な曲率可変鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】曲率可変鏡１は、円形反射鏡２と、円形反射鏡２の裏面２Ｂ側に距離を隔てて配置される構造部材３と、裏面２Ｂと構造部材３との間に裏面２Ｂの中心を挟んで配置された一対の固定部材４と、一端が裏面２Ｂに垂直に固定され、他端が２本を一組として固定部材４にそれぞれ固定される二組の反射鏡支持脚５と、一端が固定部材４の中間位置に固定され、他端が構造部材３に固定される固定部材支持脚６と、裏面２Ｂの中心２Ｅ付近に一端が固定され、他端が構造部材３に固定される距離変更手段であるピエゾアクチュエータ７と、を備えている。反射面２Ａの曲率を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】可動板と捻り梁との接合部における応力による可動板のたわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光反射性を有する反射鏡４２が設けられた可動板４１と、支持枠４４と、可動板４１を支持枠４４に対して回動可能に連結する弾性支持梁４３と、可動板４１の反射鏡４２と反対の面側に設けられた磁石３７とを備え、弾性支持梁４３は、可動板４１の回動軸Ｘに垂直な断面で見たときに、幅が反射鏡４２側から磁石３７側に向けて漸次増加する形状をなしている。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安定して低速駆動を行うことができる圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】駆動対象物３０、３１を軸Ｘ周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ１１０、１１１、１１２であって、
前記軸Ｘの両側に配置された錘部７１と、前記軸Ｘと交差して延在し、前記錘部７１を連結する連結部７２とで前記駆動対象物３０、３１を平面的に囲む環状構造を有し、前記駆動対象物３０、３１が連結されて前記駆動対象物３０、３１を連結支持する可動枠７０と、
弾性体１５に圧電薄膜２２が成膜された構造を有し、前記可動枠７０の外側に配置され、該可動枠７０の前記連結部７２に前記軸Ｘ周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁９０と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】双安定機構を含み、かつ、削減された電力消費のために低電圧で駆動されることが可能な機械的に作動可能なディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースのディスプレイ装置に関する。特に、ディスプレイ装置は、２つの機械的にコンプライアントな電極を有するアクチュエータを含んでもよい。さらに、ディスプレイ装置に含まれる、双安定シャッタ組立体と、シャッタ組立体内でシャッタを支持するための手段とが開示される。 （もっと読む）