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Fターム[2H141MD40]の内容

機械的光制御・光スイッチ (28,541) | 光学要素の移動様式 (5,868) | 光の入射方向 (648) | 基板面に斜め入射 (321)

Fターム[2H141MD40]に分類される特許

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【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第2の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20aと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20aは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して直交するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して傾斜するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、駆動の際、可動板に撓みが生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20a、20bと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20a、20bは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して傾斜するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して直交するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】2次元光偏向器1は、照射された光を反射するミラー部2と、ミラー部2を囲うように間隙3を有して配置されたジンバル部4と、ジンバル部4を囲うように間隙5を有して配置されたフレーム部6と、ミラー部2とジンバル部4とを接続する一対の第1トーションバー部7a,7bと、ジンバル部4とフレーム部6とを接続する一対の第2トーションバー部8a〜8d,9a,9bと、を備え、一対の第2トーションバー部8a〜8d,9a,9bは、所定の材料から構成された第3トーションバー部8a〜8dと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第4トーションバー部9a,9bと、をそれぞれ有する。 (もっと読む)


【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ100は、ベース部2と、ベース部2に支持された複数のミラー110と、ミラー110に連結されてミラー110を駆動する複数のアクチュエータ1,1とを備え、ミラー110を互いに直交する主軸X及び副軸Y回りに回動させる。アクチュエータ1は、副軸Y方向に延びるアクチュエータ本体3と、アクチュエータ本体3の表面31に積層された圧電素子4とを有し、圧電素子4を伸縮させることによってアクチュエータ本体3を傾動させるように構成されている。各ミラー110には、副軸Yを挟んで並ぶ2つのアクチュエータ1,1が主軸Xに対して一方の側だけに設けられている。 (もっと読む)


【課題】ブラックマスクが光を吸収し、電力を生成することができる電子装置を提供する。
【解決手段】複数の光学ディスプレイ素子を含む表示領域と、前記表示領域の前記光学ディスプレイ素子間の領域内に堆積され、基板と前記光学ディスプレイ素子との間に配置された光起電性ブラックマスクと、を備えている電子装置であって、前記光起電性ブラックマスクが、光を吸収するように構成された少なくとも1つの層、および電力を生成するように構成された少なくとも1つの層、を備えている電子装置。 (もっと読む)


【課題】基板の撓みを抑制可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定反射膜54を有する固定基板51と、可動反射膜55を有する可動基板52と、固定基板51及び可動基板52を接合する接合部53と、を具備し、可動基板52は、可動部521と、保持部522と、基板外周部525と、を備え、保持部522は、均一厚み寸法の平坦部522Aと、平坦部522Aの外周側に設けられ、基板外周部525に向かうに従って厚み寸法が増大する曲面部522Bと、を備え、接合部53は、固定基板51及び可動基板52の互いに対向する面のうち、各基板外周縁に沿った外周領域に設けられ、かつ、接合部53の内周縁53Aが、曲面部522Bの外周縁522Eよりも内側に設けられた。 (もっと読む)


【課題】応答性が良好な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定基板51と、可動基板52と、固定基板51の反射膜固定面512Aに設けられた固定反射膜54と、可動基板52の可動面521Aに設けられた可動反射膜55と、反射膜間ギャップを変化させる静電アクチュエーター56と、を備え、固定反射膜54及び可動反射膜55が対向する反射膜対向領域Ar1には、反射膜固定面512A及び可動面521Aが第一ギャップG1で対向する第一領域Ar2と、第一ギャップG1より第二ギャップG2で対向する第二領域Ar3と、が設けられ、固定反射膜54及び可動反射膜55は、それぞれ反射膜対向領域Ar1のうち少なくとも第一領域Ar2に設けられ、前記第二領域Ar3を通る光路上に、光を遮光する遮光部516が設けられた。 (もっと読む)


【課題】応力関連の変形を最小限に抑えるように構成された支持構造を有するMEMSデバイス、およびその製造方法。
【解決手段】MEMSデバイスの実施形態は、上位の支持構造によって支持される移動可能層を含み、更に、下位の支持構造を含むことができる。1つの実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、移動可能層内の残留応力とが、実質的に等しい。別の実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、下位の支持構造内の残留応力とが、実質的に等しい。特定の実施形態では、実質的に等しい残留応力は、同じ厚さを有する同じ材料で形成される層の使用を通じて得られる。更なる実施形態では、実質的に等しい残留応力は、互いの鏡像である支持構造および/または移動可能層の使用を通じて得られる。 (もっと読む)


【課題】可動ミラーの傾斜に伴う可動ミラーの変形の発生が防止された光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器100は、可動ミラー110と、可動ミラー110を第一の軸181まわりに傾斜可能に支持する一対のヒンジ120と、ヒンジ120をそれぞれ支持する一対の固定部130とを有している。可動ミラー110とヒンジ120と固定部130は、第一の軸181に直交する第二の軸182に沿って整列している。光偏向器100はさらに、可動ミラー110を第一の軸181まわりに傾斜させる駆動素子たとえば一対の駆動電極160を有している。光偏向器100はさらに、可動ミラー110の傾斜により可動ミラー110に生じる変形を緩衝する緩衝部140を有している。 (もっと読む)


【課題】本発明の分野は、微小電気機械システム(MEMS)に関し、より具体的には、MEMSを備えるディスプレイに関する。
【解決手段】映像ディスプレイにピクセルを形成するのに適した光デバイス800。光デバイス800は、第1の屈折率を有する第1の層802と、第1の屈折率よりも低い第2の屈折率を有する、第1の層802の上の第2の層804と、第2の屈折率よりも高い第3の屈折率を有する、第2の層804の上の第3の層806と、少なくとも部分的に光吸収性である第4の層810とを含み、光スタック808および第4の層810は、デバイスが第1の状態のときは互いから第1の距離にあり、デバイスが第2の状態のときは互いから第2の距離にあり、第1の距離は第2の距離とは異なる。 (もっと読む)


【課題】アナモルフィック光学系を利用して低輝度の変調光場を集中させることにより、高い合計光強度がライン画像の全体長さに沿って同時に発生され、これにより、あらゆるドット様ピクセル画像が同時に発生される単一パス高解像度高速印刷用途に使用される画像形成システムを提供する。
【解決手段】アナモルフィック光学系130を用いて画像形成面162上へ二次元画像の略一次元ライン画像を発生させるために利用される単純化された単一パス画像形成システム100において、システム100はさらに、均質光発生器110と、均質光発生器110から受信される均質光118Aを変調するようにコントローラ180により制御される空間光変調器120と、変調器120により発生される変調光場119Bを画像化しかつ集中させ、かつ画像形成面162上に略一次元ライン画像SLを投影させるように位置合わせされるアナモルフィック光学系130とを含む。 (もっと読む)


【課題】高速画像形成のために高エネルギ光源を利用する単一通過の画像形成システムを提供する。
【解決手段】予め決められたスキャンライン画像データに応答して、略一次元スキャンライン画像を1200dpi以上で発生する。略均一な二次元均質光場119Aは空間光変調器120を用いて、変調された光が二次元変調光場119Bを形成するように、予め決められたスキャンライン画像データに従って変調される。変調された光場は、次に、略一次元スキャンライン画像を形成するようにアナモルフィックに画像化されかつ集中される。光変調素子125−11〜125−43は、個々に変調「オン」状態と変調「オフ」状態との間で調整可能であって、これにより、変調「オン」状態において各変調素子がその受け入れた光部分をアナモルフィック光学系の対応する領域上へ方向づけ、かつ「オフ」状態において光部分を阻止または迂回させるように配置される。 (もっと読む)


【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー(アクチュエーター)1の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に連結された連結部と、前記連結部を支持する支持部とを有する基体を形成する第1の工程と、基体上に絶縁層を形成する第2の工程と、基体の一方の面の絶縁層上に導電性を有する導体部を形成する第3の工程とを有している。 (もっと読む)


【課題】複数の偏向角に自動的かつ高精度に位置決めされた状態で偏向させることが可能であり、構造や制御アルゴリズムの設計が容易な静電偏向素子を提供する。
【解決手段】静電偏向素子100は、支持基板110と、支持基板110に対して偏向し得るマイクロミラー121から構成される。支持基板110は、マイクロミラー121に対向する面に設けられた複数個の駆動電極111A〜111Mと、駆動電極111A〜111Mの上に設けられた絶縁層113を有している。マイクロミラー121は、支持基板110に対向している対向面123が円筒面で構成されている。対向面123の一部は互いに連結されない状態で支持基板110に接している。 (もっと読む)


【課題】表示映像に悪影響を与えることなく、微細ミラーが駆動する角度が異なる複数種の反射型表示デバイスに対応可能な映像表示装置を得る。
【解決手段】回路基板33は駆動角度が異なる2種類のDMDに対して互いに異なる正向き状態及び逆向き状態で設置可能であり、正向き状態時における光検出素子15の位置と、逆向き状態における光検出素子15の位置とが、ねじ穴35,36間を結ぶ基準線の中心点となる基準点SPに対して距離L隔てて互いに点対称の関係を有している。そして、オフ光17aの光軸中心線とオフ光17bの光軸中心線との中線MLは、上述した基準点SPを通過する位置関係を有する。 (もっと読む)


【課題】大きな光偏向角が得られる光偏向装置、広範囲な範囲を走査できる光走査装置、大きさサイズの記録媒体への画像形成が可能となる画像形成装置及び大型スクリーンへの投影が可能となる画像投影装置を提供できる。
【解決手段】一対のトーションバースプリング12、13の一端がミラーの回動軸の仮想線から所定値オフセットしてミラー11の両端縁に接続されている。一対のトーションバースプリング12、13の他端には一対のカンチレバー14、15の可動端がそれぞれ接続され、各カンチレバー14、15には圧電材料が積層されユニモルフまたはバイモルフ構造が形成されている。カンチレバー14、15の固定端は保持枠16に接続されている。 (もっと読む)


【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する2軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路5は、第1の周波数で周期的に変化する第1の電圧V11、V12を発生する第1の電圧発生部51と、第1の周波数と異なる第2の周波数で周期的に変化する第2の電圧V21、V22を発生する第2の電圧発生部52と、第1の電圧V11、V12と第2の電圧V21、V22とを重畳する電圧重畳部53とを備え、電圧重畳部53で重畳された電圧を各圧電素子41、42、43、44に印加することにより、質量部をこれを支持する1対の弾性部に沿った第1の軸線まわりに第1の周波数で回動させつつ第1の軸線に直交する第2の軸線まわりに第2の周波数で回動させるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】製造コストが小さく、信頼性が高い光走査装置を提供する。
【解決手段】走査部11は、2軸方向に揺動することにより光を走査する。梁部12は、走査部11が第1の方向の揺動可能なように、走査部11を支持する。可動支持部15は、梁部12を支持する。駆動部14は、走査部11を第1の方向に揺動させるように駆動する。ワイヤ17は、可動支持部15が第1の方向と直交する第2の方向の揺動可能なように、一端側において可動支持部15を支持し、駆動部14と電気的に接続する。導電性材料31は、ワイヤ17の一端側と可動支持部15とを固定する。固定支持部21は、ワイヤ17の他端側においてワイヤ17を支持する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成でスペックルノイズの低減が可能な走査型表示装置を提供する。
【解決手段】走査素子110、走査素子112、位相分布変化素子111で構成される位相分布変化装置109を光ビームの光路に挿入する。走査素子110は、位相分布変化素子111上に光ビームを走査する。位相分布変化素子111は、光ビームが入射する位置によって異なる位相分布を光ビームに付加する。走査素子112を走査素子110と同期制御させ、光ビームの進行方向の変化を相殺する。即ち、位相分布変化装置109は、光ビームの進行方向を保持したまま、その位相分布を動的に変化させる。その結果、レーザ光ビームの干渉現象に起因するスペックルノイズパターンを動的に変化させ、時間的平均化効果により、スペックルノイズを低減する。 (もっと読む)


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