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Fターム[2H141MF26]の内容

機械的光制御・光スイッチ (28,541) | 目的 (3,151) | 製造の容易化 (195)

Fターム[2H141MF26]に分類される特許

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【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】簡素な構成で、透過帯域の劣化や波長毎の透過帯域バラツキを抑制する。
【解決手段】複数の可動ミラー7aが等間隔配置されてなるミラーデバイス7と、複数の可動ミラー7aのそれぞれで反射させるべき各反射対象光を、該当する可動ミラー7aの配置位置に対応する光軸を有するように光軸補正して、当該可動ミラー7aに導くミラーインタフェース5と、をそなえる。 (もっと読む)


【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第2の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第1の軸および第1の軸に直交する第2の軸の周りに回動(搖動)させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス1は、枠状部材14と、1対の第2の軸部材15a、15bと、光反射性を有する光反射部12を備える可動板11と、1対の第1の軸部材13a、13bと、枠状部材14に設けられ、長手形状をなす第2永久磁石20aと、可動板11に設けられ、長手形状をなす第1永久磁石20cとを備え、第2永久磁石20aは、その軸線が第2の軸部材15a、15bの軸線に対して直交するように配置され、第1永久磁石20cは、その軸線が第1の軸部材13a、13bの軸線に対して傾斜するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー(10)の自由端に形成された櫛歯電極を有する第1の櫛歯部(13a,13b)と、第1の櫛歯部(13a,13b)と対向し互いの櫛歯が噛み合うように配置された櫛歯電極を有する第2の櫛歯部(15a,15b)と、反射ミラー(10)および第2の櫛歯部(15a,15b)の一方の面に対向するようにスペースを開けて配置された透光性基板(22)と、透光性基板(22)を固定端として第2の櫛歯部(15a,15b)の一部であって第2のトーションバー(16)の軸から外れた位置を押圧する押圧部材(23)と、具備する構成とする。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー(10)の自由端に形成された第1の櫛歯電極(13a,13b)と、第1の櫛歯電極(13a,13b)と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第2の櫛歯電極(15a,15b)と、第2の櫛歯電極(15a,15b)と梁(18)を介して結合された接触部(19)と、接触部(19)の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部(20)と、を有し、接触部(19)と電極部(20)との間に静電引力を発生させて、接触部(19)を変位させる構成とする。 (もっと読む)


【課題】ターゲットに照射されるビームの焦点ずれ及び位置ずれを独立に調整することが可能な光軸調整装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る光軸調整装置は、光学ベースと、受発光素子と、光学部品と、反射部材と、ターゲットと、支持部材とを備える。前記受発光素子と、前記光学部品と、前記反射部材と、前記ターゲットと、前記支持部材とは、前記光学ベース上に接着等により固定されて実装される。前記反射部材は、前記光学ベース上に接着された支持部材と接着されて前記光学ベース上に実装される。前記反射部材は、第1の反射面と、第2の反射面とを備え、ビームは、前記反射部材によって2回反射されて、前記ターゲットに照射される。 (もっと読む)


【課題】より容易にアライメントを行うことができるミラーアレイ、ミラー素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】基板51上には、ミラー52’の下面を押圧する突起51bが設けられている。この突起51bによりミラー52’が予め所定の角度に傾向しているので、そのミラー52’を所定の角度に傾向させるための駆動電圧を供給しなくてもMEMSミラーアレイのアライメントを行うことができる。この結果、簡易な装置構成でアライメントを容易に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】低コスト化を図りつつ、可視光領域での波長分離を高精度に行うことができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス1は、可動部21の第2の構造体3側の面上に設けられた第1の駆動電極28と、第2の構造体3上に第1の駆動電極28に対向するように設けられた第2の駆動電極33とを有し、第1の構造体2および第2の構造体3は、金属を主材料として構成された金属層4を介して接合され、かつ、金属層4を導体として第1の駆動電極28と第2の駆動電極33との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】コンパクトな構成でありながら正確に動作可能な光学素子を提供する。
【解決手段】第1および第2の基板と、第1の基板の内面に第1の方向において隣り合うように立設し、かつ、第1の方向と異なる第2の方向へ延在する複数の壁部と、第1の基板の、隣り合う一対の壁部に挟まれた領域に設けられた第1および第2の貫通孔と、壁部の壁面に、互いの一部が対向するように設けられた第1および第2の電極と、第1および第2の電極をそれぞれ覆う絶縁膜と、第2の基板の内面に設けられた第3の電極と、第1の基板と第3の電極との間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体および無極性液体とを備える。第1および第2の電極は、それぞれ、第1の基板の外面に設けられた第1および第2の引出線と第1および第2の貫通孔を通じて接続されている。 (もっと読む)


【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ21のミラー部21aの光反射面側に開口部16を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極12,13を有する第1の基板11と、その開口部16に光反射面が向くように第1の基板11上に実装された光スキャナチップ21と、光スキャナチップ21の光反射面と反対側の面に装着された第2の基板31とでパッケージ化される。光スキャナチップ21の電極22は、第1の基板11の一方の面の電極12と金属の溶融又は圧接によって接続され、第1の基板11の他方の面の電極13,14を介して給電される。 (もっと読む)


【課題】平衡ばねの負荷調整をより容易に行なうことのできる光スイッチを得る。
【解決手段】光スイッチ100の電磁石装置2は、ばね性を有した板ばねからなり、一部が器体1に対して定位置に固定されるとともに他の一部がアマチュア21に結合される平衡ばね27と、両端部に磁極片25a,25bを備える鉄芯25と、当該鉄芯25を励磁するコイル23と、を備えている。そして、平衡ばね27は、アマチュア21の移動方向に対して略直角に延設される板ばね部27aと、当該板ばね部7aの延在方向に変位可能な撓み部27gと、を備えている。 (もっと読む)


【課題】複数の偏向角に自動的かつ高精度に位置決めされた状態で偏向させることが可能であり、構造や制御アルゴリズムの設計が容易な静電偏向素子を提供する。
【解決手段】静電偏向素子100は、支持基板110と、支持基板110に対して偏向し得るマイクロミラー121から構成される。支持基板110は、マイクロミラー121に対向する面に設けられた複数個の駆動電極111A〜111Mと、駆動電極111A〜111Mの上に設けられた絶縁層113を有している。マイクロミラー121は、支持基板110に対向している対向面123が円筒面で構成されている。対向面123の一部は互いに連結されない状態で支持基板110に接している。 (もっと読む)


【課題】必要となるポート数が少ないユーザが、ポート数の多い波長選択スイッチの一部のポートを利用した場合、機能しないポートが数多く存在する。
【解決手段】本発明にかかる波長選択スイッチは、波長多重された光を入力または出力可能なポートを複数備えた光入出力部と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光を波長ごとに偏向可能な第1の偏向部材と、光入出力部および第1の偏向部材の間の光路中に配置された分散素子と、光入出力部および分散素の間の光路中に配置された第1の光学系と、分散素子および第1の偏向部材の間の光路中に配置された第2の光学系と、第1の光学系および第1の偏向部材の間の光路中に配置可能な光学部材と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光のうち、光学部材からの光を波長ごとに偏向可能な第2の偏向部材とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は三次元構造体の製造効率の低下を招くことなく、電極パッドをシリコン基板に形成可能な三次元構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の三次元構造体の製造方法は、シリコン基板T、B、Hを用いて形成された三次元微細構造体の電極パッド16P3、16P4の形成領域16P3’、16P4’に金Auを堆積させる金属堆積工程と、シリコン基板T、B、Hを熱により酸化させて金Auの形成領域以外の表面にシリコンの酸化膜SiO2を形成する酸化膜形成工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】
MEMS基板とAP基板との貼り合わせ作業におけるセルフアライメントが可能であり、外部衝撃に対する信頼性の高い表示装置を提供すること。
【解決手段】
透明基板(SUB1)上に可動式のシャッターを備えたMEMS基板と、他の透明基板(SUB2)上に光を透過するアパーチャを該シャッターの開口に対応して備えたAP基板とを有し、両基板を所定の間隔で対向配置する表示装置において、該AP基板の面上には、複数の支柱(CO)が形成され、該MEMS基板の該可動式のシャッターが形成された面上には、該支柱が挿入され、該支柱を保持するコンタクトホール(CH)が形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】中間部材を設けずに対向する基板間を容易に接続する光フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52と、固定基板51に形成された第1反射膜54と、可動基板52に設けられ、第1反射膜54とギャップを介して対向する第2反射膜55と、固定基板51に設けられた第1駆動電極561と、可動基板52に設けられ、第1駆動電極561と対向する第2駆動電極562と、固定基板51に設けられた第1接続電極571と、可動基板52に設けられ、第1接続電極571の一部と対向する位置に可動基板52の厚み方向の寸法が小さく形成された薄肉部582と、第2駆動電極562に接続され、第1接続電極571に対向して薄肉部に形成された第2接続電極572と、を備え、第1接続電極571と薄肉部582に形成された第2接続電極572とが接続されている。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を検出でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定反射膜56を有する固定基板51と、可動反射膜57を有する可動基板52と、固定電極541および可動駆動電極542を備えた静電アクチュエーター54と、固定検出電極551および可動検出電極552を備えたギャップ検出電極と、を具備し、固定検出電極551は、互いに絶縁された第一固定部分検出電極553Aおよび第二固定部分検出電極553Bを備え、可動検出電極552は、第一固定部分検出電極553Aに対向する第一対向検出領域554Aと、第二固定部分検出電極553Bに対向する第二対向検出領域554Bと、を具備する。 (もっと読む)


【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、光反射性を有する光反射部211と、光反射部211を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部21と、可動部21に連結し、かつ前記可動部21の回動に伴って捩り変形する連結部23、24と、連結部23、24を支持する支持部22と、を有し、可動部21は、可動部21の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状(十字状)をなし、連結部23、24の回動中心軸に垂直な断面は、可動部21の第1の面から前記第1の面に対向する第2の面側に向けて幅が漸増する形状をなす。 (もっと読む)


【課題】複雑な可動フレーム構造を必要とせず簡便に作製でき、耐久性に優れたミラー駆動装置及びミラー駆動方法を提供する。
【解決手段】ミラー部12の両側に一対のアクチュエータ部30が連結され、さらにその外側の両側に一対のアクチュエータ部20が連結される。外側アクチュエータ部20の一端は固定部22として支持部材に固定され、他端は内側アクチュエータ部30に連結される。各アクチュエータ部20,30は、圧電体の変形によって屈曲変位を行うものであり、それぞれ対応する駆動電圧供給部28,38から駆動電圧が印加される。一方の駆動電圧供給部(例えば28)から、対応するアクチュエータ部(例えば20)に対して共振を励起する周波数の駆動電圧が供給され、これと同時に他方の駆動電圧供給部(例えば38)から、他のアクチュエータ部(例えば30)に非共振でミラー部12を傾ける駆動電圧を供給する。 (もっと読む)


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