本発明は、リサジュー図形を観察フィールドへ投射する投射装置用の偏向システムに関する。偏光ユニットは、リサジュー図形を生じさせるために、少なくとも第１及び第２の偏向軸について光線を偏向させるように設計され、また、偏向軸に関する振動を生じさせるための偏向ユニットと、おおむね偏向ユニットの共振周波数に相当する、第１及び第２の作動周波数を有する、偏向ユニットのための作動信号を発生させる制御装置とを備え、前記偏向ユニットは、３．０００未満のＱ値を有し、前記制御装置は、振動の最大振幅が偏向ユニットの共振範囲内に留まるように、偏向ユニットの振動の測定された位相位置に応じて第１及び／又は第２の制御周波数を制御するように設計された、制御回路を備える。本発明は更に、このような偏向システムを備えた投射装置及び相当する偏向システムを作動させる方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 可動部に磁石を設置し、電磁石を磁石との間に作用する磁力によって可動部を揺動させることが可能な光学装置において、可動部の磁石を設置するためのスペースを小さくする。
【解決手段】 可動部の上面に上部磁石が設置されており、下面に下部磁石が設置されている。上部磁石は、可動部から突出して可撓梁の上方または側方に可撓梁と離間して延在している上部延在部を有しており、下部磁石は、可動部から突出して可撓梁の下方または側方に可撓梁と離間して延在している下部延在部を有している。可動部が設置されていない領域（可撓梁の上方、下方、側方）に磁石（上部磁石、下部磁石）が突出しているので、磁石の平面方向の面積に対して、可動部の磁石を設置する部分の面積を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の平面度を改良した光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー部４は、金属基板１上にシリコン基材にミラー面が形成されたシリコンミラー８が弾性接着剤９を介して貼り合わせて形成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、周囲温度が変化した場合であっても可動部の揺動角度を精度よく検出できるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状の固定部の内側にトーションバーで揺動可能に支持された可動部を有し、この可動部を揺動駆動するプレーナ型アクチュエータであって、可動部の揺動動作による応力の影響を受けて抵抗値が変化するピエゾ抵抗素子Ｒ１，Ｒ２と、可動部の揺動動作による応力の影響を受けても抵抗値が変化せず抵抗温度係数の小さい抵抗素子１３，１４とで構成したブリッジ回路２１を備え、ブリッジ回路２１は、一方の対辺２１ａ，２１ｃに抵抗素子１３，１４を配置し、他方の対辺２１ｂ，２１ｄにピエゾ抵抗素子Ｒ１，Ｒ２を配置し、ブリッジ回路２１の出力値Ｖｏｕｔに基づいて可動部の揺動角度を検出する構成とした。 （もっと読む）

本発明は、剛体エレメント（例えばミラーのような光学エレメント）を動かすためのアクチュエータに関する。エレメントは、曲げ可能な連結部を有するフレームに機械的に連結される。アクチュエータエレメントは、フレームとエレメントとの間で連結部上に載置される。連結部およびアクチュエータエレメントは、信号発生器から信号を受けるときに、エレメントに動きを提供するのに適している。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部の破断を防止することができる光偏向器の製造方法を提供する。
【解決手段】反射膜１１を有する可動板１０を形成する工程と、可動板１０とは異なる部材で、可動板１０を取り付けるための取付部２１と、取付部２１に取り付けられた可動板１０を所定の軸の周りに回動可能に支持する弾性支持部２２とを有する軸部材２０と、軸部材２０と連結する支持部材３０とを一体で形成する工程と、軸部材２０と支持部材３０に丸め処理を施す工程と、取付部２１に可動板１０を取り付ける工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動部の振動特性（Ｑ値）を簡易に調整できるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】可動部４に備えられる駆動コイル５への通電を行うアルミニウム配線６ａ，６ｂを、固定部２に対して可動部４を揺動可能に支持するトーションバー３ａ，３ｂ上に形成する。また、トーションバー３ａ，３ｂ上に、アルミニウム配線６ａ，６ｂを挟んで線対称に、可動部４の振動特性（Ｑ値）を調整するための特性調整部１１を、アルミニウム配線６ａ，６ｂと同じ材料又はアルミニウム配線６ａ，６ｂの配線保護膜と同じ材料によってアルミニウム配線６ａ，６ｂ又は配線保護膜の形成工程で同時に形成する。そして、特性調整部１１の形成パターンの選択によって、可動部４の振動特性（Ｑ値）を要求特性（要求Ｑ値）に調整する。 （もっと読む）

【課題】 背面照明を使用して光干渉変調器を照明するシステム及び方法。
【解決手段】 背面照明を用いた光干渉変調器アレイ装置が開示される。光干渉変調器アレイ装置は、複数の光干渉変調器素子を具備し、ここでは、光干渉変調器素子の各々は、光学的キャビティを具備する。光干渉変調器アレイは、光学的開口領域を含み、少なくとも１つの反射素子は、光学的開口領域を通過する光を受光するように、そして受光された光の少なくとも一部を光干渉変調器素子のキャビティの方へ反射するように、置かれる。複数の実施形態において、光干渉変調器素子は、光学的開口領域が隣接する複数の光干渉変調器素子の間に形成されるように、互いに分離されることができる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳを基本にしたディスプレイデバイスを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳを基本にしたディスプレイデバイスであり、インターフェロメトリックモジュレータアレイが透明基板を通じて光を反射させるように構成されている。該透明基板は、シールを介してバックプレートに取り付けられており、該バックプレートは、該インターフェロメトリックモジュレータアレイを制御するための電子回路を内蔵することができる。該バックプレートは、該ディスプレイの状態を制御するために使用することができるデバイス構成要素（例えば電子構成要素、等）に関する物理的支持物となることができる。さらに、該バックプレートは、該デバイスに関する構造上の主支持物として利用することもできる。 （もっと読む）

【課題】ミラーが帯電することを防止してミラー同士の貼り付きをなくすことのできる光フィルター、光フィルター装置、分析機器、および光フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の光フィルター１は、互いに対向配置された第１基板２および第２基板３と、第１基板２の第２基板３側に設けられた第１ミラー４Ａおよび第１電極６Ａと、第２基板３の第１基板２側に設けられた第２ミラー４Ｂおよび第２電極６Ｂと、を備え、第１ミラー４Ａと第２ミラー４Ｂとが配線１０Ａ，１０Ｂを介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】表示内容を簡単に入力して表示させることが可能で、取扱いが容易なシート状の表示デバイス、表示システム、及び、表示制御方法を提供する。
【解決手段】受光表示シート１は、可撓性を有するベースシート１０１に、外部から入射した光のファブリ・ペロー干渉による光干渉効果によって外光を反射する誘電体ミラー１４２と、ベースシート１０１に並べて配置され、周囲の電界に応じて変形することにより誘電体ミラー１４２の反射率を変化させる複数の駆動用ピエゾ素子１４０と、駆動用ピエゾ素子１４０の位置毎に所定波長の外光の受光状態を検出する受光検出部と、受光検出部により検出した受光状態に基づいて、駆動用ピエゾ素子１４０に電界を印加して変形させる制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバー(52)を介してミラー部がフレーム(53)に対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、
上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)を備え、この二つの層の屈折率を異ならせて交互に積層した積層構造から構成される応力制御反射層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

ＭＥＭＳデバイス等のためのシステムおよび方法は、親水性官能基を含む層を片側に含む、接触部分を有する構成要素と、層上に形成される被覆とを含むことができる。被覆は、層の親水性官能基と相互作用するように適合される親水性官能基を含むことができる。被覆はまた、被覆の親水性官能基の反対側に疎水性官能基を含むこともできる。層は、構成要素に結合することができ、被覆は、層に結合することができる。被覆は、蒸気形態である間に層上に形成されるように適合することができ、かつ潤滑剤を含むことができる。層は、酸化アルミニウム等の単原子層または多層であり得、被覆は、パーフルオロデカン酸等のフッ酸を含むことができる。
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【課題】本発明は、小型かつ低消費電力で、高感度の傾動駆動を実現できる圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】第１の方向に延在し、駆動対象物３０を前記第１の方向の両側から支持する１対の中心梁４０、４０ａと、
前記第１の方向と略直交する第２の方向に平行に延在する複数の梁５７、５７ａ、５８の、隣接する端部同士が両端で交互に連結されたジグザグ状の梁群を含んで構成されるとともに、各梁が圧電素子２０を備え、該圧電素子の伸縮変形により前記第２の方向の傾き角度の蓄積が可能な１対の蛇行型梁５０、５０ａと、
前記駆動対象物、前記中心梁及び前記蛇行型梁を取り囲む固定枠１２０と、を有する圧電アクチュエータであって、
前記１対の蛇行型梁は、一端が前記固定枠に連結され、他端が前記固定枠との連結位置から遠い方の前記中心梁の端部に連結されるとともに、前記駆動対象物及び前記中心梁を両側から囲むように配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ基板を用いて作製されるミラー構造体の両面に、より容易に所望とする形状の金属膜が形成できるようにする。
【解決手段】金属膜１０６の表面に電着レジストを電着することで、電着レジスト層１０７を形成し、電着レジスト層１０７をフォトリソグラフィーによりパターニングし、ミラー部１３１の金属パターン１４１と対向する領域に、電着レジストパターン１７１を形成する。電着レジストパターン１７１は、ミラー部１３１の裏面側の金属パターン１４１に対向して形成する金属パターンの領域を被覆するように形成する。 （もっと読む）

【課題】媒体にホログラムを高速で作成することが可能であり、かつ、消去や再形成が可能なホログラムを作成するホログラム作成装置、ホログラム作成方法、及び、ホログラム作成システムを提供する。
【解決手段】ベースシート１０１に、外部から入射した光のファブリ・ペロー干渉によって所定波長の光を反射する誘電体ミラー１４２と、ベースシート１０１の一面にマトリクス状に並べて配置され、周囲の電界に応じて変形することにより誘電体ミラー１４２の反射率を変化させる複数の駆動用ピエゾ素子１４０と、各々の駆動用ピエゾ素子１４０に重なるようにマトリクス状に並ぶ複数の分極用ピエゾ素子１２０と、分極用ピエゾ素子１２０に電圧を印加する配線部１１０、を設けた表示用シート１に、反射率の差によって干渉縞を形成する。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成でありながら、所望の光学的作用を高精度に調整することのできる可変焦点レンズを提供する。
【解決手段】 互いに対向配置された透明基板３２および透明変形部材３３と、これらの間に充填された透明材料からなる充填層３５と、透明基板３２の表面３２Ｓおよび透明変形部材３３の表面３３Ｓにそれぞれ設けられた透明電極層３６，３７とを備える。透明電極層３６，３７間に電圧を印加することにより、その層面に沿った方向に電界強度分布が形成される。その電界強度分布に応じて透明変形部材３３が変形するので、所望の非球面形状を高精度に確保しつつ、焦点距離を変化させることができる。 （もっと読む）

【課題】第１の基板と第２の基板との体積が違っていても、第１の基板と第２の基板との接合部において、所望な機械的強度を確保することができるＭＥＭＳデバイスを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス１０は、第１の接合パッド４を有する第１の基板１と、第２の接合パッド５を有し、第１の基板１に積層する第２の基板２と、第１の基板１と第２の基板２との間に介在し、第１の接合パッド４と第２の接合パッド５接合することで、第１の基板と第２の基板２とを接合させる接合部材３と、第１の基板１と第２の基板２との少なくとも一方に配設され、第１の基板１と第２の基板２との熱容量差を均一にする温度変化急峻領域６と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバーを介してミラー部がフレームに対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)とを交互に積層した応力制御層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

【課題】一体化された光学補正構造物を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】光学補正構造物を基板上方に製造し、光学補正構造物上方に複数の光変調素子を製造する。光変調素子は、個々にアドレス可能で透明基板内を透過された光又は透明基板から反射された光を変調するように構成される。また光学補正構造物は、補足的フロント照明源、ディフューザ、ブラックマスク、回折光学素子、カラーフィルタ、反射防止層、光を散乱させる構造物、マイクロレンズアレイ、及びホログラフィー膜のうちの１つ以上を含んでいる。 （もっと読む）