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Fターム[2H141MZ18]の内容

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【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】金属材料からなる板材をプレス加工することにより、梁3をねじり回転軸として往復振動する、金属材料からなる振動子が成形される。次いで、当該振動子にミラーが固定される。そして、梁3の支持端部を一部除去する形状加工により梁3のばね剛性を変更し、共振周波数が調整される。ここで、梁3の支持端部とは、振動子と一体に成形された枠体2と梁3との接続部および上記ミラーを支持する支持部と梁3との接続部の双方を指す。これにより、振動ミラーの共振周波数を容易に調整することができる。また、必要に応じて、上記支持部が備える共振周波数調整片の一部または全部を除去することにより慣性モーメントを変更し、共振周波数を粗調整してもよい。 (もっと読む)


【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーおよび当該振動ミラーを使用したレーザスキャニングユニットを提供する。
【解決手段】梁をねじり回転軸として往復振動する、プレス加工により成形された金属材料からなる振動子と、当該振動子に支持されたミラー5とを備える振動ミラーにおいて、振動子が、同一プレス方向のプレス加工により成形された、ミラー5を支持する支持部4を備える。支持部4のプレス加工方向の上流側の面には、当該面外に一部が突出する状態でミラー5が支持される。また、支持部4のプレス加工方向の下流側の面内には、永久磁石6が配置される。これにより、プレス加工によるバリの有無に関わらず、ミラーと永久磁石とを常に同一の状態で支持部に固定することができる。 (もっと読む)


【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器A1は、反射面を有するミラー部1と、トーションバー2a,2bに一端が連結され他端が支持部10に連結されて支持された圧電アクチュエータ8a〜8dとを備え、圧電アクチュエータ8a〜8dに駆動電圧を印加することで、トーションバー2a,2bを介してミラー部1を回転駆動させる。光偏向器A1は、ミラー部1と支持部10との間に設けられた空隙10’に、支持部1のミラー部1に対向する部分に連結された衝撃緩和部9a,9bを有する。 (もっと読む)


【課題】マイクロミラーチップと電極基板とが高い間隔精度で貼り合わせられるマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス100は、マイクロミラーチップ110と、電極基板130と、マイクロミラーチップ110と電極基板130の間に接して配置されて両者の間隔を制御する中間部材150と、マイクロミラーチップ110と電極基板130を接合する複数の接合部材170とから構成されている。中間部材150は、接合部材170を収容する複数の貫通孔152を有し、その上下面には逃げ溝154Aと逃げ溝154Bがそれぞれ形成されている。逃げ溝154Aと逃げ溝154Bは、それぞれ、マイクロミラーチップ110と電極基板130と共働して、接合部材170の接合余剰物質を貫通孔152から排出するための排出経路を形成する。 (もっと読む)


【課題】オブジェクトの光沢感及び立体感を高めることができる反射特性制御層及び表示装置を提供する。
【解決手段】表示画面の前面に配され、所定領域毎に反射特性が切り替わる透明薄板2と、入力画像に応じて透明薄板2の反射特性を切り替える光沢感処理部1とを備え、入力画像の光沢領域を検出し、当該検出結果に応じて所定領域の反射特性を切り替える。 (もっと読む)


多ミラーアレイで配置され、かつ少なくとも1つのアクチュエータによって傾斜させることができるミラーとミラーのための駆動電子機器とを有するマイクロリソグラフィ投影露光装置のための照明系、及びこのミラーを駆動する方法を提供する。マイクロリソグラフィ投影露光装置のための光学系は、少なくとも1つのアクチュエータによって傾斜させることができて多ミラーアレイで配置されたミラーを提示する。更に、照明系は、第1の解像度を有する粗いデジタル/アナログ変換器(68)と、第1の解像度よりも高い第2の解像度を有する細かいデジタル/アナログ変換器(70)と、2つのデジタル/アナログ変換器(68、70)によって出力される出力量を加算することができて全体量をもたらす加算器(72)とを提示するミラーのための駆動電子機器を提示する。全体量は、ミラーの少なくとも1つのアクチュエータに少なくとも間接的に印加することができる。 (もっと読む)


【課題】気密パッケージされたMEMSアレイ・ベースのROADMモジュールを提供する。
【解決手段】筐体の側壁および上蓋はコバールから作られ、また基部はアルミナ・セラミックから作られて、筐体の側壁にAuSnではんだ付けされる。MEMSアレイはセラミック基部に取り付けられる。光学系は取り外し可能なテンプレートを使用して予めパッシブ・アライメントされ、光学台にエポキシ樹脂で接着される。光学台は全体としてアクティブ・アライメントされ、セラミック基部に取り付けられる。複数の電気フィードスルー接触ピンがセラミック基部の底部から延びて、MEMSをプリント回路基板上のコネクタへ接続する。本発明の一実施形態では追加の電子部品、たとえばMEMSドライバ回路チップを筐体のセラミック基部へ直接取り付けるために、セラミック基部はモジュールの筐体の側壁の実装領域を越えて延びる。 (もっと読む)


【課題】接合膜を介して接合される部材の構成材料によらず、気密性に優れた閉空間に可動板を収納してなる信頼性の高いアクチュエータ、およびかかるアクチュエータを備えた光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ1は、2自由度振動系を有する基体2と、支持体3、4とを有している。そして、基体2と支持体3とが接合膜81を介して、また、基体2と支持体4とが接合膜82を介して、それぞれ気密的に接合されている。これにより、2自由度振動系が閉空間内に封入されている。各接合膜81、82は、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するSi骨格と、このSi骨格に結合する脱離基とを含むものであり、これらの接合膜81、82は、エネルギーを付与したことにより、脱離基がSi骨格から脱離し、各接合膜81、82に発現した接着性によって基体2と支持体3および基体2と支持体4を気密的に接合している。 (もっと読む)


【課題】安定した駆動を行うことができる光学デバイス、およびかかる光学デバイスを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光学デバイス1は、光反射部29を有し、回動可能に設けられた第2の質量部23と、第2の質量部23を駆動する駆動手段とを有し、この駆動手段が第2の質量部23を回動させることにより、光反射部29で反射した光を対象物に走査するものであって、接合膜11を介して支持部24に接合されたヒートシンク10を有する。この接合膜11は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、このSi骨格に結合する脱離基とを含むものである。このような接合膜11は、エネルギーを付与することにより、一部の脱離基がSi骨格から脱離し、代わりに活性手が生じる。これにより、接合膜11に接着性が発現し、支持部24とヒートシンク10とが接合されている。 (もっと読む)


【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第1の反射膜25を備える可動板21が変位可能に設けられた第1の基体2と、第1の反射膜25に対向する第2の反射膜34が設けられた第2の基体3とを有し、第2の基体3は、第1の層3aと、第1の層3aに接合膜41を介して接合された第2の層3bとを有しており、接合膜41は、シロキサン(Si−O)結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、Si骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜41は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜41の表面付近に存在する脱離基がSi骨格から脱離し、接合膜41の表面の当該領域に発現した接着性によって、第1の層3aと第2の層3bとを接合している。 (もっと読む)


【課題】振動部と磁性体とを設計する際の設計自由度を確保することができ、振動部と磁性体とを接合した際の接合強度および寸法精度が高いアクチュエータ、および、かかるアクチュエータを有する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ1は、回動可能に支持された可動板21と、可動板21に設けられた磁石212と、磁石212の近傍で、通電により磁界を発生させるコイル212とを備えている。磁石212は、可動板21に接合膜5aを介して接合されており、接合膜5aは、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、Si骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜5aは、その少なくとも一部の領域にエネルギを付与したことにより、接合膜5aの表面付近に存在する脱離基がSi骨格から脱離し、接合膜5aの表面の領域に発現した接着性によって、可動板21と磁石212とを接合している。 (もっと読む)


【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス1は、第2の凹部32を有し、その底面に第1の反射膜25に光学ギャップG1を隔てて対向する第2の反射膜34が設けられた第2の基体3は、平面視にて第2の凹部32に対応する部分に設けられた第1の部材3aと、平面視にて第2の凹部32の外側の部分に設けられた第2の部材3b1、3b2とが接合膜41を介して接合され、接合膜41は、シロキサン(Si−O)結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、Si骨格に結合する脱離基とを含む。 (もっと読む)


【課題】 小型軽量であって、ユーザの頭部に日常的に装着可能であり、重度の弱視、近視、老眼などの視力障害を有するユーザであっても、映像や文字情報を見ることができる網膜投影ディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】 瞳孔2を通して網膜3に直接画像を投影するマクスウエル視を利用した網膜投影ディスプレイ装置1であって、ディジタル化された画像データを出力する画像データ出力部10と、画像データ出力部10から出力された画像データに応じてレーザ光を出力するレーザ光源部20と、画像データ出力部20から出力された画像データに応じて駆動され、レーザ光源部20から出力されたレーザ光をユーザの瞳孔に向けて反射するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)走査ミラー部30を備える。 (もっと読む)


【課題】揺動体の中立位置を調整して、それによる反射光ビームの照射位置の調整やそれと対象物間の距離の調整などを可能とした揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、中立位置を挟んで揺動軸2の回りに揺動可能に支持された揺動体1と、駆動手段4、5、6と、位置調整手段4、7、8とを有する。駆動手段は、揺動体1を揺動軸2の回りに揺動させるための手段であり、位置調整手段は、揺動体1の中立位置を調整するための手段である。 (もっと読む)


装置は、金属性表面を有する基板と、構造物と、金属性上部表面に対向する誘電物体とを含む。構造物は、金属性表面上を伝播する表面プラズモン・ポラリトンを光学的に生成するように構成される。誘電物体は、金属性表面に沿った、およびその近くの異なる位置のアレイにおいて誘電率の値を調節するように制御可能である。
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【課題】コンパクトな構成で製造コストを低減しつつも、複数のビームを精度よく偏向走査することが可能な光学走査装置及びそれを備える画像形成装置を提供する。
【解決手段】ビームを射出する複数の半導体レーザ41と、ビームを偏向する光偏向ユニット1と、偏向されたビームを感光ドラム32の表面に結像する複数の結像部材と、を備える光学走査装置において、光偏向ユニット1は、偏向面が形成される第1の偏向子3u及び第2の偏向子3dと、駆動力を受ける駆動子4と、駆動子4を駆動させるアクチュエータ9を有し、第1の偏向子3u、第2の偏向子3d、及び駆動子4がねじりバネ5、6によって直列に連結されると共に、駆動子4が揺動することで、第1の偏向子3u及び第2の偏向子3dがねじりバネ5、6の揺動軸O周りに揺動可能に構成される。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ミラー部7のY軸を中心とした回動角を大きくすることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成する為、本発明は、第一振動部8A、8Bとミラー部7との連結構造体13は、一つの第一振動部8Aと可動枠9との接続部位を固定端14とした片持ち梁構造であるものとした。これにより本発明は、ミラー部7と第一振動部8A、8Bの動きの自由度が高まり、結果としてミラー部7のY軸を中心とした回動角を大きくすることができる。 (もっと読む)


変調装置は、少なくとも二つの状態間で選択的に調節可能であり、光の特定の波長の透過及び/又は反射が変更される。特定の変調装置は、可視及び赤外波長を含む広範な波長に対して実質的に均一に調節可能である。他の変調装置は、赤外波長に顕著な影響を与えずに、可視波長に対して調節可能である。更に、変調装置は、固定された薄膜反射構造体と組み合わせて使用可能である。
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ディスプレイ(101)の前面および/または裏面として組み込まれた光起電力(PV)電池を有するディスプレイが開示される。周辺光(102)は、ディスプレイ(101)内の、完全に透過性のフィーチャまたは部分的透過性のフィーチャによってディスプレイ(101)の背後に位置するPV電池(120)に到達することができる。ディスプレイで発生された光(163)も、ディスプレイの背後のPV電池(120)に到達することができる。ディスプレイ(101)の前に位置する透過性PV材料(110)が、周辺光(102)ならびにディスプレイで発生された光(104)の両方を集めることができる。
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【課題】構成部材の熱膨張率の相違に基づく反りやクラック等の不具合の発生の防止を安価に実現することができる光学素子パッケージ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部105の上方に光学素子103が設けられた光学素子パッケージ110は、前記基部105と前記光学素子103との間に、熱膨張係数が異なる材料の層210、220が複数接合されて成る熱膨張緩和構造体200が配設されていることを特徴とする。 (もっと読む)


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