【課題】構成部材の熱膨張率の相違に基づく反りやクラック等の不具合の発生の防止を安価に実現することができる光学素子パッケージ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部１０５の上方に光学素子１０３が設けられた光学素子パッケージ１１０は、前記基部１０５と前記光学素子１０３との間に、熱膨張係数が異なる材料の層２１０、２２０が複数接合されて成る熱膨張緩和構造体２００が配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

特定の実施形態では、インターフェロメトリで反射される光および透過光の両方を利用するデバイスが提供される。デバイス上に入射する光は、第１の方向へ光を放射するように、インターフェロメトリでデバイスの複数の層から反射され、インターフェロメトリで反射された光は第１の色を有する。光源からの光は、デバイスから第１の方向へ放射するように、デバイスの複数の層を通って透過され、透過光は第２の色を有する。
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【課題】本発明は、第１軸周りの揺動と第２軸周りの揺動とを異なる周波数で行うことに適した２次元走査装置、及び、該２次元走査装置を備えた携帯端末機を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、共振現象を利用した第１軸周りの揺動が可能に支持された揺動部材３１を具備するＭＥＭＳデバイス３と、回転力を発生させるモータ５と、モータ５が発生させる回転力をＭＥＭＳデバイス３を揺動させる揺動力に変換し、該揺動力をＭＥＭＳデバイス３に伝達することによって、ＭＥＭＳデバイス３を第１軸と直交する第２軸周りに揺動させる動力伝達機構６とを備えたことを特徴とする２次元走査装置２、及び該２次元走査装置２を備えた携帯端末機１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 光路への戻り光を低減する。
【解決手段】 光部品は、第１の光導波路と第２の光導波路とを有する平面光波回路、及びミラーを備える。ミラーは、第１の光導波路に光学的に結合された第１の光路の第１の光軸と第２の光導波路に光学的に結合された第２の光路の第２の光軸とが成す角度の二等分線と交差する方向に移動する。ミラーの表面には、第１の光路から光を受け取るとその光を第２の光路へ反射する実質的に平坦な反射部が設けられている。反射部は、二等分線に対して実質的に垂直な平面上に配置された曲線状のエッジを有している。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の変位量が大きい圧電ミラーデバイスと、このような圧電ミラーデバイスを簡便に製造するための製造方法およびこのような圧電ミラーデバイスを使用した光学機器を提供する。
【解決手段】圧電ミラーデバイス１１は、中央に開口部１３を有するフレーム部１２と、開口部１３に位置するミラー部１４と、ミラー部１４をフレーム部１２に対して回動可能に支持する一対のミラー支持部１５と、下部電極１７と圧電素子１８と上部電極１９との積層体である一対の駆動部１６と、を備えたものとし、ミラー支持部１５はヤング率が１６０ＧＰａ以下の材料からなり、フレーム部１２は駆動部１６が位置する部位の一部に切欠き部１３ａを有し、この切欠き部１３ａは開口部１３に接するものとする。 （もっと読む）

本発明は、支持体の一方に面する一定の量のリキッド(４)を収容することを補助する支持体(１.５)に係留領域(２.３)と、静止ポジションから可逆的に変形可能な実質的な中央領域(２.１)と、中央領域(２.１)でリキッド(４)を変位させるための、中央領域(２.１)と係留領域(２.３)との間に位置する部分(２００)を押圧する作動手段(５)とを備える変形可能な膜(２)を有する光学デバイスに関するものである。作動手段(５.１)は、膜の周縁に分配されたマイクロビームタイプの複数の熱または圧電アクチュエータ(５.１)を備えており、これらのマイクロビームは、支持体に結合された少なくとも一つの固定部と、作動時に中央領域と係留領域との間に位置する領域において膜と接触する少なくとも一つの可動部とを有する。
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後面と称される膜の一方の面と接触する一定体積の液体（４）の収容に寄与する支持体（１．５）上の固定領域（２．３）と、休止位置から可逆的に変形することが可能な実質的な中央領域（２．１）と、厳密に前記中央領域（２．１）と前記固定領域（２．３）との間に位置する少なくとも１つの領域（２．２）において膜に応力を加えることによって、前記中央領域（２．２）において液体（４）を移動させる駆動手段（５）と、を備えた変形可能な膜（２）を有する光学素子であって、前記駆動手段（５）が静電性であり、少なくとも一対の対向する電極を備え、前記電極の対のうちの一方が前記膜の後面の位置に配置されるかまたは前記膜内に埋設され、他方が前記支持体の位置に配置され、これらの電極（５．１１、５．１２）が誘電体によって分離され、前記誘電体が少なくとも前記液体（４）によって形成されていることを特徴とする光学素子に関する。
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【課題】主走査方向に共振振動を伴った光線のラスター走査において安定した画像表示を簡易に行える画像表示装置を提供する。
【解決手段】水平走査方向(主走査方向)に共振振動を伴った光線のラスター走査により投影面への画像表示が可能な画像表示装置は、水平走査方向の機械共振周波数を検出する共振点検出部を備えている。そして、画像表示に係る垂直同期周波数ｆｖの倍数となる周波数群ｆｐ１〜ｆｐ４、ｆｍ１〜ｆｍ３から、例えば共振点検出部で検出された機械共振周波数ｆｏに最も近い周波数をラスター走査の水平走査周波数として設定する。これにより、画像表示装置において安定した画像表示を簡易に行えることとなる。 （もっと読む）

【課題】ラスター走査における主走査方向の歪みを簡易に補正できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】画像表示装置は、互いに直交する第１軸および第２軸の回りにミラー部(可動部)を揺動させる第１および第２のアクチュエータを備え、ミラー部の揺動振動に関する共振周波数近傍の周波数成分を有する駆動信号に基づき第１のアクチュエータを駆動して第１軸回りにミラー部を揺動振動させることにより、ミラー部で反射される光線をラスター走査に係る水平方向に走査する。そして、駆動信号として用いられる基準駆動信号に基づき第１のアクチュエータを駆動してミラー部を揺動振動させた場合に生じる表示画像の歪みに関して、この歪みを補正するための補正信号(ｂ)に基づき基準駆動信号(ａ)を調製して駆動信号(ｃ)を生成する。その結果、水平方向(主走査方向)の歪みを簡易に補正できる。 （もっと読む）

【課題】プレーナ型電磁アクチュエータの製造コストを上昇させることなく、可動板の大型化を可能にする電磁アクチュエータ構造を提供する。
【解決手段】可動板１０を、駆動コイル４を形成したフレキシブルシート１１、剛体の回動板１２及びミラー板１３で構成し、回動板１２中心部の第１の溝部１２ａにトーションバー３の中央部３ｂを貼り付け、トーションバー３の軸部３ｃを回動板１２の第２の溝部１２ｂ内で浮遊状態とする。回動板１２の上面にミラー板１３を組付け、駆動コイル４を形成したフレキシブルシート１１を回動板１２の下面に貼り付けて可動板１０を組み立てる。これにより、可動板１０の中心部にトーションバー３が連結し、可動板１０の下側にトーションバー３を潜り込ませるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、かつ生産性を向上させながら信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】高真空の中でも蒸発量が少ないシリコンオイルによって液体膨出部12を形成したことで、高真空ＣＶＤ法を用いて、液体状の液体膨出部12の液表面に保護膜13を積層形成できるようにした。かくして簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、また従来のようにを貼着する煩雑な組立工程を省くことができるので、その分生産性を向上させることができる。さらに、保護膜13を用いていることから、衝撃や重力などによって液体膨出部12が変形してしまうことを防止でき、一段と信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイス１を提供できる。 （もっと読む）

第１光経路と第２光経路との間で光信号をスイッチングするための光学装置であって、基板と、前記基板上に形成され、前記基板から分離された可動部を備え、前記第１光経路の少なくとも一部を形成している第１ガイドと、前記第１ガイドに隣接して配置され、前記第２光経路の少なくとも一部を形成している第２ガイドと、前記第１ガイドを前記第２ガイドへと光学的に連結させるように前記可動部を静電的に湾曲させる手段と、を備えた装置。
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【課題】 良品歩留まりの高い状態で可動する微細なミラーを備えた光スイッチ装置が製造できるようにする。
【解決手段】 ミラー基板１００のミラー１０５が形成された表面に、粘着力が変化する粘着層を備えたマウントフィルム（第１粘着フィルム）１０６を貼り付けて保護した状態で、ミラー基板１００を切断分割してミラーチップ１０９を形成し、マウントフィルム１０６の粘着層の粘着力を低下させてからミラーチップ１０９を取り外す。 （もっと読む）

【課題】光部品の組立を高精度、且つ簡便に行うことができる、基板部品およびこれを用いた光部品を提供する。
【解決手段】光学素子を保持するための基板部品であって、位置決め用の固定軸に設置可能な溝が前記光学素子を搭載する部分の両側に形成されており、前記溝における底から縁までの深さ寸法が基板部品中央側と基板部品端側で異なることを特徴とする。さらには、前記基板部品には前記光学素子に導かれる光路を通すための貫通孔又は開口部が前記溝の長手方向に沿って貫通して設けられていることを特徴とする。さらには前記溝は、該溝の長手方向に垂直な断面形状が半円形状、半長円形状または角型形状であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロ揺動素子について、可動部における回転変位量の大きな回転動作を高い動作速度で実現すること。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ３は、可動部３１０と、フレーム３２０と、可動部３１０およびフレーム３２０を連結し、且つ、フレーム３２０に対する可動部３１０の回転動作における回転軸心Ａ３を規定する、連結部３３０と、回転軸心Ａ３から相対的に遠い箇所に回転動作の駆動力を発生させるための駆動機構３４０，３５０と、回転軸心Ａ３に相対的に近い箇所に回転動作の駆動力を発生させるための駆動機構３６０，３７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】面外角度付構造部を有する構造体の作製において構造部の角度をつける際に、精度良く、所望の角度がつけられる作製方法を提供する。
【解決手段】構造部００３を基板の主面と平行な面Ａ１，Ａ２に対し角度をつけた構造体００１を作成するために第一の工程で、構造部００３の塑性変形を行う被加工部００３に、基板の主面と平行な面に対して交差する方向に突出した突出部００４を設ける。そして第２の工程で、前記構造部の突出部００４に型により力を加えることにより、被加工部００３を塑性変形させ基板の主面Ａ１，Ａ２に対し角度をつける。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の光学的性能を確実にするために、マイクロチャンバにおける望まれない散乱された光が透明な窓を出ることを防止すること。
【解決手段】カプセル化された空間光変調器であって、チャンバの中の基板上の空間光変調器と、該チャンバを部分的に画定するカプセル化カバーと、該基板と該カプセル化カバーとの間のスペーサ壁であって、該スペーサ壁は、該空間光変調器に隣接する内側表面を有する、スペーサ壁と、該スペーサ壁の該内側表面の第１の光を吸収する材料であって、該光を吸収する材料は、該チャンバ内の光を吸収するように構成されている、第１の光を吸収する材料とを備えている、カプセル化された空間光変調器。 （もっと読む）

【課題】小型で応答性に優れ、製作も容易なフォトニック結晶光共振器を用いた能動光フィルタ装置を提供する。
【解決手段】シリコン光導波路と、２次元フォトニック結晶内とフォトニック結晶の周期的配列を乱す少なくとも１つの点状の欠陥と、点状欠陥が形成されたフォトニック結晶であるフォトニック結晶光共振器を移動させることで、あるいはシリコン光導波路を移動させることで、点状欠陥がシリコン光導波路を伝搬する光のなかで、特定波長の光を捕獲してこれを放射し、あるいは外部からの特定波長の光を捕獲してシリコン光導波路内に導入する光の取り出しまたは取り入れ量を変化させることでシリコン光導波路を伝搬する特定波長の光の変量を行う。 （もっと読む）

本発明は、第１のセットの光ファイバ内の光ファイバから第２のセットの光ファイバ内の光ファイバにクロスコネクトするための２軸ＭＥＭＳミラーを利用した完全光クロスコネクト・スイッチを提供する。第１および第２のセットの光ファイバ内の光ファイバは、第１のファイバ‐マイクロレンズ位置決めアレイ内において精密に位置決めされて第１のセットの平行なコリメートされたクロスコネクト通信ビーム・パスを定義し、それぞれのコリメートされたクロスコネクト通信ビーム・パスが第１のセットの光ファイバ内の光ファイバを第１のＭＥＭＳミラー・アレイ内のＭＥＭＳミラーに接続する。整列ビームが、第１および第２のセットの平行なコリメートされたクロスコネクト通信ビームのそれぞれに追加され、かつ同軸に整列される。２つのビーム方向センサ・ユニットが、ダイクロイック・ミラーを通って透過される第１および第２のセットの整列ビーム内のそれぞれの整列ビームを検出するべく位置決めされ、ＭＥＭＳコントロール・システムが、ＭＥＭＳミラーの位置をコントロールして、第１のセットの光ファイバ内の光ファイバを第２のセットの光ファイバ内の任意の光ファイバに接続する。 （もっと読む）

【課題】外部衝撃による破損およびそれによるコストアップを抑制できるＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム１１１と、フレームと同じ層に形成され、フレームに対して相対運動可能に連結された駆動体１１５と、駆動体の高さ方向変位を制限する少なくとも一つのストッパ１４０、１５０と、を備えることを特徴とするＭＥＭＳデバイスである。また、第１基板１１０上に第２基板１３０を接着する工程と、第１基板を部分的に除去して、フレームおよびフレームに対して相対運動可能に連結された駆動体を形成する工程と、第２基板を部分的に除去して、駆動体の高さ方向変位を制限する少なくとも一つのストッパを形成する工程と、を含むことを特徴とするＭＥＭＳデバイスの製造方法である。 （もっと読む）