説明

Fターム[2H141MZ18]の内容

機械的光制御・光スイッチ (28,541) | その他 (4,576) | 製法、材質、材料 (2,069) | マイクロマシンの製造法、材質、材料 (1,935)

Fターム[2H141MZ18]の下位に属するFターム

Fターム[2H141MZ18]に分類される特許

1 - 20 / 180



【課題】可動部上にミラー等の反射膜が形成されるアクチュエータを、反射膜の損傷を適切に抑制又は防止しながら製造する。
【解決手段】
反射膜(170)が形成される可動部(120)と、可動部を取り囲む支持部(110)と、可動部が揺動可能なように可動部と支持部とを接続するトーションバー(130)とを備えるアクチュエータの製造方法は、基板(201)上に可動部、支持部及びトーションバーを形成する第1工程(S106)と、可動部上に、反射膜を形成する第2工程(S105)と、可動部のうち反射膜が形成される側に、(i)反射膜の表面から突き出る高さを有し且つ(ii)他の構造物が反射膜に接触することを抑制する突起部(180)を形成する第3工程(S103)とを備える。 (もっと読む)


【課題】波長可変干渉フィルターにおける接続信頼性が高い分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光カメラは、測定対象光が入射するテレセントリック光学系11と、測定対象光のうち赤外光を第一光路L1に分離し、可視光を第二光路L2に分離する第一ダイクロイックミラー121と、第一光路L1内に配設され、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、第一光路L1の赤外光及び第二光路L2の可視光を射出光路L3に射出する第二ダイクロイックミラー126と、測定対象光を撮像する撮像部13とを具備した。 (もっと読む)


【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第1反射膜25が設けられ、第1反射膜25間のギャップ寸法を変位させることができる第1波長可変干渉フィルター20と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第2反射膜35が設けられ、第2反射膜35間のギャップ寸法を変位させることができる第2波長可変干渉フィルター30と、を備え、第1波長可変干渉フィルター20と同じ光軸上に、第2波長可変干渉フィルター30が配置され、第1反射膜25は誘電体多層膜、第2反射膜35は金属膜で形成されている。 (もっと読む)


【課題】より正確なアライメントを行うことができる偏向素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】アライメントパタン6は、X軸に平行な軸から離れるにつれて波長分離方向の反射面の幅が変化する形状を有する。これにより、そのアライメントパタン6に入力光を照射したときに、そのアライメントパタン6による反射光の帯域幅が、MEMSミラーアレイチップ5がY軸に位置ずれしていない場合に極値をとるようにすることが可能となる。結果として、その反射光の帯域幅に基づいてMEMSミラーアレイチップ5のY軸方向の位置を調整するだけで、MEMSミラーアレイチップ5のY軸方向におけるアライメントを行うことができる。 (もっと読む)


【課題】静止摩擦の影響を低減し、ディスプレイ装置の光学的および電気機械的性能を改良する方法を提供する。
【解決手段】静止摩擦の影響を低減するとともにディスプレイ装置の光学的および電気機械的性能を改良する液体530に実質的に囲まれた構成要素を有する複数の光変調器を含むMEMSディスプレイ装置およびその組立方法。複数の光変調器503と、装置を通る光の透過を調節する複数のアパーチャとの対応関係を設定するためにMEMSディスプレイの構成要素をアライメントする方法。 (もっと読む)


【課題】圧電アクチュエータの力を効率よく利用してミラーの回転方向に大きな変位を得るとともに、垂直方向の並進運動を大幅に抑制する。
【解決手段】ミラー部(12)を挟んで両側に一対の圧電アクチュエータ部(14)が配置される。圧電アクチュエータ部(14)の一端(14A)は連結部(16)を介してミラー部(12)の端部(12A)に接続され、圧電アクチュエータ部(14)の他端(14B)は固定部(30)に固定支持される。また、ミラー部(12)は、垂直方向への並進運動する抑制する垂直移動抑制構造(32)を介して固定部(30)に接続されている。回転軸(18)付近に接続されるトーションバー(20)とトーションバー(20)の基端部を支持するトーションバー支持部(22)とにより垂直移動抑制構造(32)を構成できる。 (もっと読む)


【課題】高速画像形成のために高エネルギ光源を利用する単一通過の画像形成システムを提供する。
【解決手段】予め決められたスキャンライン画像データに応答して、略一次元スキャンライン画像を1200dpi以上で発生する。略均一な二次元均質光場119Aは空間光変調器120を用いて、変調された光が二次元変調光場119Bを形成するように、予め決められたスキャンライン画像データに従って変調される。変調された光場は、次に、略一次元スキャンライン画像を形成するようにアナモルフィックに画像化されかつ集中される。光変調素子125−11〜125−43は、個々に変調「オン」状態と変調「オフ」状態との間で調整可能であって、これにより、変調「オン」状態において各変調素子がその受け入れた光部分をアナモルフィック光学系の対応する領域上へ方向づけ、かつ「オフ」状態において光部分を阻止または迂回させるように配置される。 (もっと読む)


【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成にいて、比較的簡単に、長寿命化を図ることができるアクチュエーター、アクチュエーターの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー(アクチュエーター)1の製造方法は、基板をエッチングした後に平坦化処理することにより、所定の軸まわりに回動可能な可動部と、前記可動部に連結された連結部と、前記連結部を支持する支持部とを有する基体を形成する第1の工程と、基体上に絶縁層を形成する第2の工程と、基体の一方の面の絶縁層上に導電性を有する導体部を形成する第3の工程とを有している。 (もっと読む)


【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたMEMS走査型ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】空洞HOが形成されるハンドル層Hと表面が鏡面仕上げされたデバイス層B、Tとがシリコン酸化膜を介して接合されたウエハを準備する工程、デバイス層にMEMS走査型ミラーの下層構成要素に対応しかつデバイス層に形成すべき下層構造体を形成する工程、下層構造体形成後のウエハのデバイス層にシリコン酸化膜を介して上層のデバイス層を形成するためのウエハを接合する工程、上層のウエハを加工して所定厚さの上層のデバイス層を形成する工程、上層のデバイス層にMEMS走査型ミラーの上層構成要素に対応しかつ上層のデバイス層に形成すべき上層構造体を形成する工程、ハンドル層Hに空洞を形成する工程、下層構造体のシリコン酸化膜を除去してMEMS走査型ミラーを完成させる工程とからなる。 (もっと読む)


【課題】専用装置を必要とせず、製造スループットを低下させることなく端子上のパッシベーション膜を除去した表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置は、基板上にマトリクス状に配置され、スイッチング素子及びスイッチング素子によって駆動されるMEMSシャッターを有する複数の画素と、基板上に配置され、外部端子と接続される複数の端子と、
を含む。MEMSシャッターは、開口部を有するシャッター、シャッターに接続された第1バネ、第1バネに接続された第1アンカー、第2バネ、及び第2バネに接続された第2アンカーを有し、シャッター、第1バネ、第2バネ、第1アンカー及び第2アンカーの基板の表面に対して垂直方向の面に絶縁膜を有し、複数の端子の表面、並びにシャッター、第1バネ、第2バネ、第1アンカー及び第2アンカーの基板の表面に対して平行方向であり且つ基板に対面する側と反対側の面には、絶縁膜がない。 (もっと読む)


【課題】製造コストが小さく、信頼性が高い光走査装置を提供する。
【解決手段】走査部11は、2軸方向に揺動することにより光を走査する。梁部12は、走査部11が第1の方向の揺動可能なように、走査部11を支持する。可動支持部15は、梁部12を支持する。駆動部14は、走査部11を第1の方向に揺動させるように駆動する。ワイヤ17は、可動支持部15が第1の方向と直交する第2の方向の揺動可能なように、一端側において可動支持部15を支持し、駆動部14と電気的に接続する。導電性材料31は、ワイヤ17の一端側と可動支持部15とを固定する。固定支持部21は、ワイヤ17の他端側においてワイヤ17を支持する。 (もっと読む)


【課題】画素のシャッタ機構により表示制御を行う表示装置において、構造を強化すると共に、耐久性を向上させる。
【解決手段】表示装置は、絶縁性のある基板である絶縁基板部215と、絶縁基板部215上で各画素に薄膜トランジスタが形成されている薄膜トランジスタ部220と、薄膜トランジスタ部220の薄膜トランジスタにより電気的に駆動され、各画素の光の透過を制御するシャッター機構部300と、を備え、シャッター機構部300は、構造的部分であるメカニカル層352と、メカニカル層352上に形成された導電層354と、を有し、メカニカル層352と導電層354とは共に、薄膜トランジスタ部220に形成された導電部226に接して固定されている。 (もっと読む)


【課題】基板面に対して大きく傾斜した(或いは垂直に近い)半透過反射面に酸化シリコン膜を均一に形成し得る光学部品の製造方法、並びにこの方法により製造された光学部品を提供する。
【解決手段】光透過性光学部品12を製造する方法であって、板状部材のシリコン領域11をエッチングして凹部を形成する第1のエッチング工程と、凹部の内側面を熱酸化させて酸化シリコン膜14を形成する熱酸化工程と、酸化シリコン膜14を覆う窒化シリコン膜16を形成する窒化膜形成工程とを含む。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で分解能の低下を抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、平坦な固定対向面51Aを有する固定基板51と、固定対向面51Aに対向する平坦な可動対向面52Aを有する可動基板52と、固定対向面51Aに設けられた固定電極561と、可動対向面52Aに設けられ、電極間ギャップG2介して固定電極561に対向する可動電極562と、可動対向面52Aに設けられ、固定対向面51A及び可動対向面52Aと平行で、かつ固定対向面51Aに対向する平坦な反射膜固定面57Aを有し、固定電極561より厚み寸法が大きい中間層57と、反射膜固定面57Aに設けられた可動反射膜55と、固定対向面51Aに設けられ、反射膜間ギャップG1を介して可動反射膜55に対向する固定反射膜54と、を具備した。 (もっと読む)


【課題】分解能の低下を抑制可能な干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定反射膜54が設けられた反射膜固定面512A、及び固定側初期ギャップ形成面513Aに平行で、固定側ギャップ形成電極部561Bが設けられた固定側初期ギャップ形成面513Aを有する固定基板51と、反射膜間ギャップG1を介して固定反射膜54に対向する可動反射膜55が設けられた可動面520A、及び可動面520Aと同一平面で、可動側ギャップ形成電極部562B及び絶縁層57が順に積層された可動側初期ギャップ形成面520Bを有する可動基板52と、を具備し、絶縁層57は、微小ギャップG3を介して固定側駆動電極部561Aに対向し、当該微小ギャップG3は、反射膜間ギャップG1より小さく形成されている。 (もっと読む)


【課題】機械的および電気的機能から分離された光学的機能を備えた微小電気機械デバイスを提供する。
【解決手段】微小電気機械(MEMS)デバイス(800)が、頂部表面(88)を有する基板(20)と、基板(20)の上方の可動エレメント(810)と、駆動電極(82)とを備えている。可動エレメント(810)は、変形可能層(34)および変形可能層(34)に機械的に結合された反射エレメント(814)を備えている。反射エレメント(814)は反射表面(92)を備えている。駆動電極(82)は、反射表面(92)から横方向に配置されている。可動エレメント(810)は、基板(20)の頂部表面(88)に概ね直角の方向に移動することによって、駆動電極(82)と可動エレメント(810)の間に印加される電圧差に応答する。 (もっと読む)


【課題】振動系を有する基体上に迷光防止層を設けた構成において、比較的簡単に、長寿命化を図ることができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー1は、光反射性を有する光反射部211が設けられた可動板21と、支持部22と、可動板21を支持部22に対して回動可能に連結する1対の連結部23、24とを備え、これらがシリコンで一体的に形成された板状の基体2と、基体2の板面上に設けられ、光の反射を防止または抑制する機能を有する迷光防止層61とを有し、迷光防止層61は、基体2を平面視したときに、連結部23、24の縁部、および、可動板21および支持部22の縁部のうちの連結部23、24近傍部分を除くように設けられている。 (もっと読む)


【課題】外部から干渉フィルターへ伝達される振動を低減することができ、分光精度の高い光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール(測色センサー)は、可動反射膜57を備える可動基板52、および可動反射膜57にギャップを介して対向する固定反射膜56を備え、可動基板52に接合される固定基板51、を備える干渉フィルター5と、干渉フィルター5を保持する筐体6と、を備える。可動基板52は、固定基板51の外周縁よりも外側に突出する突出部524を備える。この突出部524は、突出先端側に設けられ、筐体6に固定される固定部525を備える。可動基板52と筐体6によって閉じられている密閉空間58は筐体6にある充填孔61を介して充填物質59を密閉空間58に充填することが出来る。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高い共振周波数で駆動を行った場合であっても、非線形線振動の発生を低減しつつ、発生する応力を低減させ、ミラーの変形を防ぐことができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラー支持部20を軸方向両側から捻れ梁30により支持し、該捻れ梁30の捻れにより前記ミラー支持部20を軸周りに揺動させて駆動する光走査装置であって、
前記捻れ梁30には、前記軸方向に略平行なスリット31が設けられたことを特徴とする。 (もっと読む)


1 - 20 / 180