【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】光干渉ＭＥＭＳディスプレイ素子を備えている光干渉変調器ディスプレイを提供する。
【解決手段】第一の電極７０２と可動物質７１４の間にかけられた電圧でＭＥＭＳデバイスが電気的に動作される。第一の電極から離れているラッチ電極７３０ａ、７３０ｂによってデバイスが動作状態に維持されうる。 （もっと読む）

【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 （もっと読む）

【課題】向上した発光効率を有する、低電力のディスプレイを提供する。
【解決手段】ディスプレイ装置の正面から離れるように光を反射するための、複数の光透過領域２０６を画定する前部反射面２０２と、ディスプレイ装置の正面の方へ光を反射するための、前部反射面に少なくとも部分的に面した後部反射面２０４と、前部反射面によって画定されたそれぞれの光透過領域を選択的に遮ることによって複数のディスプレイピクセルを形成するための、後部反射面とディスプレイ装置の正面との間に配置された光変調器のアレイとを備え、光変調器のアレイ内の光変調器は、それぞれの光透過領域に対応する。 （もっと読む）

【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイのコントラスト比および輝度を増加させるために、機械的光変調器の表面上に、または機械的光変調器の表面を通して光を集中させるための、集光装置のアレイを利用する、ディスプレイのための装置および方法を提供する。
【解決手段】光ガイドと、意図される見る人に面した前面と、光ガイドに面した後面とを有し、光ガイドからギャップによって隔てられた基板と、基板の後面上に形成されたＭＥＭＳベースの光変調器のアレイ１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マスキングを減少させた微小電子機械システム(MEMS)デバイスを製作する方法と、その方法によって形成されたMEMSデバイスが開示される。
【解決手段】一実施形態では、MEMSデバイス(900)は、事前形成された構成要素を各々が有する、前面基板(910)と保持体(950)を積層することによって製作される。前面基板(910)には、その上に重ねて形成された静止電極が提供される。その上に重ねて形成された可動電極(1360)を含む保持体(950)は、前面基板(910)に結合される。いくつかの実施形態の保持体(3500)は、可動電極(3510)を前面基板(3570)に移転させた後で除去される。他の実施形態では、保持体(3450)は、前面基板(3410)上に留まり、MEMSデバイス(3400)のための背面板として機能する。フィーチャは、付着およびパターン形成によって、型押しによって、またはパターン形成およびエッチングによって形成される。 （もっと読む）

【課題】テーパ縁を実現するために、ＭＥＭＳデバイス内に層を形成するための方法が提供される。
【解決手段】特定のＭＥＭＳデバイスは、テーパ縁を有するようにパターン形成された層を含む。テーパ縁を有する層を形成するための１つの方法は、エッチング誘導層を使用することを含む。テーパ縁を有する層を形成するための別の一方法は、上方部分が下方部分よりも速い速度でエッチング可能な層を堆積することを含む。テーパ縁を有する層を形成するための別の一方法は、複数の反復エッチングを使用することを含む。テーパ縁を有する層を形成するための別の一方法は、リフトオフマスクの上に層が堆積され、そのマスク層が除去された後、テーパ縁を有する構造が残されるように、負の角度を含む開口を有するリフトオフマスクを使用することを含む。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】可動部を正確に揺動させることが可能な光偏向装置および光偏向装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部と、可動部を基板の上方に離反した位置で揺動軸の周りに揺動可能に支持する可撓梁と、可動部を揺動させるアクチュエータと、基板上に設置されているとともに可撓梁の下方から可撓梁に接離可能な下限規制部と、を備えている。揺動軸に垂直な断面における可撓梁の下面の形状が、下限規制部の上方に位置する領域において、曲面を有して下方へ突起している形状とされているか、または、揺動軸に垂直な断面における下限規制部の上面の形状が、曲面を有して上方へ突起している形状とされている。 （もっと読む）

光ファイバスイッチ（230）は、それぞれが第1および第2の端面（203、204）を有する第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）を有する。第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）の各々は、コア屈折率（n₁）を有するコア（235、236）、および前記コアを取り囲み、前記コア屈折率とは異なるクラッド屈折率（n₂）を有するクラッド（237、238）を有する。光ファイバスイッチ（230）は、さらに、第1の屈折率整合エラストマー固体層（240）であって、前記第1の端面（203）に結合された隣接面、および該隣接面とは反対の、繰り返し可能に、光学的に前記第2の端面（204）に結合される先端面を有する第1の屈折率整合エラストマー固体層を有する。第1の屈折率整合エラストマー固体層（240）は、前記コアおよびクラッドの屈折率に整合する屈折率プロファイルを有する。光ファイバスイッチ（230）は、さらに、少なくとも一つのアクチュエータ（255）を有し、第1および第2の角度付き光ファイバ（231、232）は、結合位置と非結合位置の間で相対的に動かされる。
（もっと読む）

【課題】 既存の表示装置より色表現を容易に行うことができる表示装置を提供する。
【解決手段】
本発明の一実施形態に係る表示装置は、第１基板、前記第１基板と対向する第２基板、前記第１基板と前記第２基板との間に配置されるメムス素子、前記第１基板と前記第２基板のいずれか一つと前記メムス素子との間に配置される色変換部材、および前記第１基板に向かって光を発する光源を含み、前記色変換部材は前記光源の光を吸収して、吸収した光エネルギーによって少なくとも一つの色を表示する光を発光する。 （もっと読む）

液体または気体の流体を含む保持部（１）に取り付けるための区域（２．３）と、非動作位置から可逆的に変形できる中央区域（２．１）とを含む変形可能ダイアフラム（２）と、取付け区域（２．３）と中央区域（２．１）との間の中間区域のダイアフラム（２）を動かして流体（４）を移動させるための作動手段とを有する光学デバイスに関する。作動手段は、複数のアクチュエータを受け取り、中央区域（２．１）を囲む連続圧電冠状部を含み、少なくとも中間区域（２．２）でダイアフラム（２）に取り付けられ、作動手段（５）と、それが取り付けられているダイアフラム（２）とが、少なくとも１つの圧電バイモルフ（Ｂ）を形成し、作動手段（５）が、ダイアフラムの中間区域（２．２）から中央区域（２．１）の方にまたは逆の方に流体（４）の移動をもたらし、中央区域（２．１）をその非動作位置に対して変形させるように作動の間半径方向に収縮または拡大する。
（もっと読む）

【課題】一体化された光学補正構造物を有する空間光変調器及びこれの製造方法を提供する。
【解決手段】空間光変調器４０は、一体化された光学補正構造物、例えば、基板４２と複数の個々にアドレス可能な光変調素子４４との間に、又は、基板に関して光変調素子の反対側に配置された光学補正構造物４１、を具備する。該光変調素子は、透明基板内を透過された光又は透明基板から反射された光を変調するように構成される。該空間光変調器を製造する方法は、光学補正構造物を基板上方に製造することと、複数の個々にアドレス可能な光変調素子を該光学補正構造物上方に製造すること、とを含む。該光学補正構造物は、受動的光学補正構造物であり、補足的フロント照明源、ディフューザ、ブラックマスク、回折光学素子、カラーフィルタ、反射防止層、光を散乱させる構造物、マイクロレンズアレイ、及びホログラフィー膜のうちの１つ以上を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】低コスト、且つ、高い機能を有するＭＥＭＳ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】微細構造体からなるデバイス層６１と、基材９１とにより構成されるＭＥＭＳ１０１の製造方法であって、成形可能な材料を型５１により成形することにより、デバイス層６１、及び基材９１を成形する成形工程Ｓ４２と、成形工程により成形されたデバイス層６１と、基材９１とを接合する接合工程Ｓ４４と、成形工程で生じた残膜６１ａを、デバイス層６１より除去する除去工程Ｓ４５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の慣性モーメントを簡易な構成で調整することによりミラー部の走査角や共振周波数を微調整可能にした光走査装置を提供する。
【解決手段】基板揺動部４ａの両面に各々重ね合わせて設けられる第１，第２ミラー４ｂと、を備え、第１ミラー４ｂと第２ミラー４ｂとは、基板揺動部４ａを支持する揺動軸３を中心として軸対称となるように反対方向にずれ量を持たせて積層されている。 （もっと読む）

【課題】基板をパッケージングするための方法及び装置。
【解決手段】干渉変調器をパッケージングするパッケージ構造及び方法である。薄膜材料が、干渉変調器及び透明基板を覆って堆積されて、干渉変調器を封入する。干渉変調器と薄膜との間のギャップ又はキャビティは、その中で干渉変調器の機械的部品が移動できる空間を提供する。ギャップは、干渉変調器を覆って堆積された犠牲層の除去によって創り出される。 （もっと読む）

【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

【課題】パッケージ構造と、干渉変調器をパッケージ化するための方法。
【解決手段】透明基板810の上部に干渉変調器830が形成されている。バックプレーン820はシール840を使用して透明基板810へ接合され、干渉変調器は、バックプレーンまたはシール内の開口部850を通して、周りの環境に露出されている。透明基板とバックプレーンとを接合し、望ましい乾燥剤、剥離材料、および／または自己整合性単分子膜をパッケージ構造800内へ取入れた後で、開口部をシールする。 （もっと読む）

【課題】高速動作に対応し、信頼性の高い光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、表面に光学素子４が形成された第１基板２と、光学素子４に対向する部位を有し、該部位が光を透過する第２基板３と、第１基板２と第２基板３との間で、光学素子４の周囲に位置する光吸収部材１６と、光学素子４および光吸収部材１６を取り囲む封止部材１５とを備える。 （もっと読む）