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Fターム[2H141MZ24]の内容

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【課題】確実に、内部空間(可動板が設けられている空間)の気密性を確保することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること
【解決手段】アクチュエータ1は、内部空間Sを画成する壁部を有するパッケージ2と、内部空間Sに回動可能に収容された可動板32と、可動板32の一方の面側に設けられた永久磁石41と、コイル(駆動用コイル42、挙動検知用コイル51)とを有し、前記コイルは、少なくとも一部がパッケージ2の壁部に埋設されており、永久磁石41と対向するように、または永久磁石41が内側に位置するように設けられている。 (もっと読む)


【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 (もっと読む)


【課題】静電駆動式でミラーを揺動させ、光ビームを偏向させる光学装置において、可動部に設置されたミラーの傾斜角を精度よく調整する。
【解決手段】基板と可動部のうちのいずれか一方の部材に固定されているとともに他方の部材に向かって突出している第1突起部および第2突起部を備えている。第1突起部が第2突起部よりも、基板に垂直な方向の高さが高く、第1突起部が第2突起部よりも、可動部の揺動軸に近い位置に設置されている。基板に対して可動部が最大傾斜角で傾斜した場合に、第1突起部および第2突起部が、前記した他方の部材に当接する。これによって、可動部の傾斜角が精度よく調整される。 (もっと読む)


【課題】像内の不所望な強度最大値および/または強度最小値(スペックル)の発生を回避することができるマイクロメカニカル素子を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子が、第1の外面上に反射面を備えたミラー素子と、対向電極と、電圧制御装置とを有し、ミラー素子は、第1の外面とは反対方向に向けられているミラー素子の第2の外面上の第1の電極面に第1の電位が印加されるように構成されており、対向電極はミラー素子の第2の外面の近傍に配置されており、該対向電極の第2の電極面に第2の電位が印加されるように構成されており、電圧制御装置は第1のコンタクト素子を介してミラー素子の第1の電極面と接続されており、第2のコンタクト素子を介して対向電極の第2の電極面に接続されており、且つ、時間的に変化する電圧信号を第1の電極面と第2の電極面との間に印加するよう構成されている。 (もっと読む)


【課題】従来よりも開口率を増加させることができる光制御装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光通過部(8)を有する基板(2)と、基板に固定された櫛歯状の第1電極(3)と、第1電極と対向して移動可能に設けられた櫛歯状の第2電極(4)と、第2電極と共に移動し光通過部を遮蔽及び露出可能に設けられた遮蔽部材(5)と、第2電極及び遮蔽部材を移動可能に支持する梁部材(6,7)と、を備え、第1電極及び第2電極と、梁部材とが、基板上の異なる層(L1,L2)に設けられていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】減圧封止環境下で好適に使用可能なマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】マイクロミラーデバイス100は、可動ミラー112を有するマイクロミラーチップ110と、マイクロミラーチップ110に対向して配置される電極基板130と、マイクロミラーチップ110と電極基板130との間に配置されてマイクロミラーチップ110と電極基板130とを接合するハンダバンプ150とを有している。マイクロミラーチップ110はまた4つの薄膜永久磁石124を有している。電極基板130はまたシート状永久磁石138を有している。シート状永久磁石138と薄膜永久磁石124は互いに引き合うことにより、マイクロミラーチップ110と電極基板130とハンダバンプ150が相互に密着される。 (もっと読む)


【課題】 ミラー部を駆動させると共にミラー部の動きを検出可能とし、かつ、従来よりも小型化が可能な光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】 光偏向器1は、外部から照射された光を反射する反射面A21及び上記光を通過させるピンホール22b,22dを有するミラー部21と、ピンホール光偏向器を通過した光を受光する受光部11b,11dと、ミラー部21を所定の回転軸21aで駆動させ反射面A21で反射した光を所定の方向に偏向させる駆動手段30a,30bと、を備える。受光部11b,11dは回転軸21aに直交する方向に対して幅が異なる形状を有している。 (もっと読む)


【課題】第1の基板と第2の基板との体積が違っていても、第1の基板と第2の基板との接合部において、所望な機械的強度を確保することができるMEMSデバイスを提供すること。
【解決手段】MEMSデバイス10は、第1の接合パッド4を有する第1の基板1と、第2の接合パッド5を有し、第1の基板1に積層する第2の基板2と、第1の基板1と第2の基板2との間に介在し、第1の接合パッド4と第2の接合パッド5接合することで、第1の基板と第2の基板2とを接合させる接合部材3と、第1の基板1と第2の基板2との少なくとも一方に配設され、第1の基板1と第2の基板2との熱容量差を均一にする温度変化急峻領域6と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】梁の一部に形成されたステップ部、又はテーパ部にかかる応力集中が軽減される光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ1は、反射ミラー2と、可動梁3a、3bと、駆動部4a〜4dと、固定部5と、延出部6a〜6dとを備えている。反射ミラー2は、揺動軸線AXの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面7を備える。可動梁3a、3bは、第1梁部8a、8bと、第2梁部9a〜9dとから構成される。延出部6a〜6dは、各々、反射面7に平行な面上で、且つ揺動軸線AXに垂直な方向、即ちX軸方向において、第1梁部8a、8bと、第2梁部9a〜9dとが連結する連結部CPの近傍の両側から延出する。 (もっと読む)


【課題】小さな駆動電圧で、光スキャナの大きな光学振れ角を得られる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ1は、反射ミラー2と、可動梁3aと、駆動部4a、4bと、固定部5とを備えている。反射ミラー2は、揺動軸線AXの回りに揺動可能で、入射した光束を反射して、走査する反射面6を備える。可動梁3aは、第1梁部7aと、第2梁部8a、8bとから構成される。第1梁部7aは、反射ミラー2に連結する。第2梁部8a、8bは、第1梁部7a、及び固定部5に連結する。駆動部4a、4bは、各々、第2梁部8a、8bと固定部5とに跨って設けられ、可動梁3aを振動させる。第2梁部8a、8bは、各々、反射面6に平行な面上で、且つ揺動軸線AXに垂直な方向、即ち、X軸方向において、第1梁部7aと第2梁部8a、8bとが連結する連結部CPの近傍における第1梁部7aの連結梁11a、11bよりも幅広い。 (もっと読む)


【課題】共振周波数が充分に高く、且つ、揺動時に変形し難い揺動部材を備えたMEMSデバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】揺動軸周りに揺動可能な板状の揺動部材11を備えるMEMSデバイス1であって、揺動部材11は、肉抜部22と非肉抜部23とを同一平面上に有し、非肉抜部23は、揺動軸と該揺動軸に直交する直交軸との交点Cを中心とする第1楕円25aが内接可能な内縁部25と、該交点Cを中心とする第2楕円26aが外接可能な外縁部26とを具備する補強部領域27を有し、交点Cから第1楕円25a及び第2楕円26aの径方向に延びる直線Lと揺動軸とが成す角度θ(但し、θは0°≦θ≦90°)が大きくなるにつれて、直線Lに沿った第1楕円25aと第2楕円26aとの距離Dが小さくなることを特徴とするMEMSデバイス1を提供する。 (もっと読む)


【課題】駆動手段に入射した光による迷光を低減することのできる光学デバイス、光スキャナー及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光学デバイス1は、外部から入射される光の分布範囲B内に配置され、当該光を反射する金属膜11を有する可動板10と、可動板10を軸A周りに揺動可能に支持する軸部材20と、可動板10に設けられる永久磁石61と、永久磁石61との間に電磁力を発生させ、可動板10を揺動させるように構成されたコイル62及び交流電流信号発生器(電源)63とを備え、コイル62及び交流電流信号発生器(電源)63における光の分布範囲B内に含まれる部分が、光を所定範囲外に反射させるような法線ベクトルを有する面で構成されている。 (もっと読む)


【課題】複数の照射領域において、1画素に相当する距離を大幅に超える走査方向の位置ずれの補正を容易に実現する。
【解決手段】複数の光変調素子からの光がそれぞれ照射される基板上の複数の照射領域92a〜92cを、照射領域92a〜92cの配列に交差する走査方向に移動して描画を行う際に、1画素に相当する基板上の領域の走査方向の幅を単位幅として、基板上において複数の照射領域92a〜92cに対して相対的に固定された参照位置と各照射領域との間における走査方向の位置ずれ量と、単位幅のα倍(ただし、αは正の整数)との差が単位幅未満となる当該αだけ所定数から増減した数のダミー画素が、当該照射領域に対応する画素列の先頭に付加され、当該差が描画時に利用される位置補正シフト量として取得される。これにより、複数の照射領域において1画素に相当する距離を大幅に超える走査方向の位置ずれの補正が容易に実現される。 (もっと読む)


電気機械システムデバイスは、基板にわたって配置された複数の支持体と、該複数の支持体にわたって配置された変形可能な反射層とを含んでいる。前記変形可能な反射層は、第1の方向に延びている複数の実質的に平行な列を含んでいる。各々の列は、前記第1の方向に一般的に垂直な第2の方向に延びている一つ以上のスロットを有している。前記スロットは、下位部分を電気的に断線することなく部分的に機械的に分離するために、前記列の下位部分の境界縁部に生成されることができる。電気機械デバイスを製造する方法は、基板にわたって導電性の変形可能な反射層を堆積する段階と、複数の電気的に分離された列を形成するために前記変形可能な層の一つ以上の部分を除去する段階と、及び少なくとも一つの前記列内に少なくとも一つの横方向スロットを形成する段階と、を含んでいる。
(もっと読む)


【課題】小型化されたアクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明のアクチュエーター200は、基板18上に、いずれも櫛歯状を成し、互いの開放端側で対向する第1固定電極11及び第2固定電極12と、第1固定電極11と第2固定電極12との間に配置され、第1固定電極11と第2固定電極12との間を移動可能とされた平面視蛇行形状の可動電極13と、を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】複数ビームの光出力レベルの調整を、往復光走査時の任意の復路において、適正時間内に行える、新たな光走査装置を提供する。
【解決手段】複数光ビーム発生手段11と、発生した複数の光ビームを感光体19に向けて偏向するビーム偏向手段14と、複数光ビーム発生手段11からの光ビームの各々に対応し、対応する光ビームの偏向方向を選択的に変更可能な複数の光偏向素子を有するマトリックスビーム偏向手段10と、感光体19に対する往復走査の際、往路では任意のグループの光偏向素子が、対応する光ビームを感光体19に対する走査方向に偏向し、復路では任意のグループは、走査方向以外の方向(B1〜B3)に偏向するように光偏向素子の偏向方向を制御する制御手段Ctrと、偏向された光ビームの光量を検出する光検知素子17と、検知結果に基づいて、対応する光ビームの光量を複数光ビーム発生手段に調整させる光出力制御手段80と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板11と、光反射基板11を支持する一対の梁13と、を有する第1振動子10と、第1振動子10の一対の梁13をねじれ変形させて光反射基板11を一定の周波数で駆動させる磁石14およびコイル15と、第1振動子10と同一面に設けられた副振動子20と、副振動子20を一定の周波数で駆動させる磁石24およびコイル25と、を備え、副振動子20の駆動する周波数が第1振動子10と同一で、かつ、位相が逆位相である。 (もっと読む)


【課題】騒音を低減する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射性を有する光反射基板11と、光反射基板11を支持する梁13と、を有する第1振動子10と、可動基板21と、可動基板21を支持する梁23と、を有する副振動子20と、第1振動子10および副振動子20の梁をねじれ変形させて駆動軸Xまわりに駆動させる磁石14,24とコイル15,25と、を備え、第1振動子10の駆動軸Xに沿って各梁13,23が配置されることで、第1振動子10および副振動子20が駆動軸Xに対して直列に配置され、副振動子20の駆動する周波数が第1振動子10と同一で、かつ、位相が逆位相である。 (もっと読む)


【課題】高開口率の光制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の光制御装置は、基板と、前記基板に形成された光透過領域と、前記基板上で水平移動することで前記光透過領域に対して進退する複数の遮光板と、を有し、複数の前記遮光板のうち少なくとも2つの前記遮光板が、互いに異なる移動平面を有するとともに、前記光透過領域から後退した位置で少なくとも部分的に重なることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】バックプレートの内面側に電子回路を含むインターフェロメトリックモジュレータベースディスプレイを提供する。
【解決手段】ディスプレイを、透明基板104と、透明基板を通して光を反射するよう構成されたる反射素子を含むインターフェロメトリックモジュレータのアレイ102と、インターフェロメトリックモジュレータのアレイに隣接する第1の面を含み、第1の面上に、上記反射素子の変位を制御するよう構成された電子回路114が製作された、バックプレーン108と、バックプレーン上の電子回路とインターフェロメトリックモジュレータのアレイとの間に電子通信を提供する複数の電気的接続と、を具備するように構成する。 (もっと読む)


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