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Fターム[2H141MZ24]の内容

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【課題】 ミラーを有する片持ち梁を備えており、耐久性の高い光学素子及び光学装置を提供する。
【解決手段】 光学装置2は、光学素子4,6で構成されている。光学素子4は、基板10と密着用膜18と片持ち梁30とを備える。片持ち梁30は、密着用膜18と反対側の面に成膜されたアルミニウム膜26(反射面)を有する。片持ち梁30は、外力が作用しない場合、内部応力によって密着用膜18から大きく離反する屈曲形状をとっている。片持ち梁30と密着用膜18の間に外力を作用させた場合、片持ち梁30の密着面28と密着用膜18の密着用基準平面20とを密着させることができる。光学素子4は、外力を利用して形状を変化させることにより、光ビームの進行方向を切換えることができる。 (もっと読む)


【課題】本発明はレーザープリンタ、電子写真装置などのレーザースキャンユニットなどに用いる光学反射素子に関し、小型のレーザースキャンユニットを実現するための光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体1と、この支持体1に支持された第一の支持部2と、この第一の支持部2の他端に支持された第一のアーム3と第二のアーム4とからなる音叉振動子6と、この音叉振動子6の振動中心9に支持された第二の支持部11と、この第二の支持部11の他端に支持されたミラー部12とを備え、前記第二の支持部11をミアンダ形状と、この第二の支持部11の一部に振動を制御するためのモニター用圧電素子8を設けた構成とする。 (もっと読む)


【課題】 可動部を小さく変位させることによって光ビームの進行方向を大きく変化させる光学素子を提供する。
【解決手段】 第1物体10と第2物体20とアクチュエータ42,58,90を備えている。第1物体10は、光ビームに対して透明であり、屈折率がnであり、光ビームを射出する第1面14を持っている。第2物体20は、第1面14から射出された光ビームを入射する第2面21を持っており、光ビームに対して透明であり、屈折率がnである。アクチュエータは、第1面14と第2面21が当接する第1位置関係(a)と、第1面14と第2面21が光ビームの半波長以上離反する第2位置関係(b)のいずれかに切換える。
光学素子2が置かれている雰囲気の屈折率がnであるとすると、第1面14に対する光ビームの入射角θが、(n/n)<sin θ<(n/n)の関係を満たす。 (もっと読む)


【課題】小型でかつ半導体素子の設計レベルで光学的なアライメントが可能な回折格子装置および表示装置を提供することを可能にする。
【解決手段】表面に空洞部22が形成された半導体基板20と、半導体基板に形成され、光源からの光を伝搬する導波路25と、空洞部上に形成されるとともに導波路から伝搬される光を回折する格子周期が可変な回折格子を有し、格子周期を変えることにより回折光の方向を変化させるフォーカスグレーティングカプラ30と、一端が半導体基板と連結されフォーカスグレーティングカプラを支持する支持部40と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】本発明はレーザープリンタなどのレーザースキャンユニットなどに用いる小型の光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体1に支持された第一の支持部2a,2bと、第一の支持部2a,2bに支持された第一のアーム3a,3bと第二のアーム4a,4bを有する音叉振動子6a,6bと、振動中心9a,9bに支持された第二の支持部11a,11bとミラー部12とを備え、音叉振動子6a,6bをミラー部12に対向配置させ、振動中心9a,9bとミラー部12の回転軸とを同一線上に配置し、第一のアーム3a,3bと第二のアーム4a,4bに突起部を設けた構成とする。 (もっと読む)


【課題】本発明はレーザープリンタ、電子写真装置などのレーザースキャンユニットなどに用いる光学反射素子に関し、小型のレーザースキャンユニットを実現するための光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体1と、一端がこの支持体1に支持された第一の支持部2と、この第一の支持部2の先端部分に支持された第一のアーム3と第二のアーム4とからなる音叉振動子6と、この音叉振動子6の振動中心9に支持された第二の支持部11と、この第二の支持部11の先端部分に支持されたミラー部12とを備え、第一のアーム3と第二のアーム4に突起部7a、7bを設けた構成とする。 (もっと読む)


【課題】調芯工程を簡素化して工程時間を短縮すると共に、実装の際に発生した過剰損失を補正することができる光送信器及びその光路調整方法を提供する。
【解決手段】光送信器において、LDチップ5から出射されたレーザ光の光路を調整する光路調整器7を設け、LDチップ5、レンズ4、光路調整器7及び光ファイバ1が、各々の光学的中心が略一直線となるように配置されて、パッケージ3に固定された後に、光ファイバ1へのレーザ光の光結合が最大となるように、レーザ光の光路が光路調整器7により調整される。 (もっと読む)


【課題】複数層の圧電素子と電極とを積層させて各圧電素子を変位させることにより、アクチュエータの駆動力を向上させたアクチュエータを提供する。
【解決手段】基材4上の所定領域に第1電極層5A〜5D、第1圧電素子層6A、6B、第2電極層7A〜7D、第2圧電素子層8A、8B及び第3電極層9A〜9Dを順に積層し、アクチュエータ1を駆動する際には第2電極層7Aを接地するとともに、第1電極層5Aと第3電極層9Aとに逆位相の交番電圧をそれぞれ印加するように構成する。 (もっと読む)


【課題】設計自由度を高めつつ、優れた機械的特性および光学特性を発揮することができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第1の光反射部25を備える可動板21と、可動板21を変位可能に支持する弾性部23とが設けられた第1の基体2と、第1の光反射部25に対向する第2の光反射部34が設けられた第2の基体3とを有し、可動板21と弾性部23とが接合膜41を介して接合されており、接合膜41は、シロキサン(Si−O)結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、Si骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜41は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜41の表面付近に存在する脱離基がSi骨格から脱離し、接合膜41の表面の当該領域に発現した接着性によって、可動板21と弾性部23とを接合している。 (もっと読む)


【課題】安定した駆動を行うことができる光学デバイス、およびかかる光学デバイスを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光学デバイス1は、光反射部29を有し、回動可能に設けられた第2の質量部23と、第2の質量部23を駆動する駆動手段とを有し、この駆動手段が第2の質量部23を回動させることにより、光反射部29で反射した光を対象物に走査するものであって、接合膜11を介して支持部24に接合されたヒートシンク10を有する。この接合膜11は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、このSi骨格に結合する脱離基とを含むものである。このような接合膜11は、エネルギーを付与することにより、一部の脱離基がSi骨格から脱離し、代わりに活性手が生じる。これにより、接合膜11に接着性が発現し、支持部24とヒートシンク10とが接合されている。 (もっと読む)


【課題】設計自由度を高めるとともに低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第1の光反射部25を備える可動板21が変位可能に設けられた第1の基体2と、第1の光反射部25に対向する第2の光反射部34が設けられた第2の基体3とが接合膜41を介して接合されており、接合膜41は、シロキサン(Si−O)結合を含みランダムな原子構造を有するSi骨格と、Si骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜41は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜41の表面付近に存在する脱離基がSi骨格から脱離し、接合膜41の表面の当該領域に発現した接着性によって、第1の基体2と第2の基体3とを接合している。 (もっと読む)


【課題】コントローラを有する複数のアクチュエータまたはコントローラにより制御可能な複数のアクチュエータを制御する。
【解決手段】アクチュエータ(21)の少なくとも幾つかのグループがコントローラ(30)により個別に制御可能であり、各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに、少なくとも1つの記憶素子(24)が割り当てられており、この記憶素子が、1つ以上のアクチュエータを制御するための少なくとも1つのパラメータを記憶することができ、これにより、少なくとも2つのパラメータが、各アクチュエータまたは各アクチュエータグループに割り当てられ、アクチュエータの1つの位置がそれぞれのパラメータに割り当てられる。 (もっと読む)


より速くエッチングされる部分とより遅くエッチングされる部分とを備えた犠牲構造体を備えたMEMSは、その犠牲構造体をエッチングすることによってMEMS内にキャビティを形成する際に、構造特徴部に対する損傷の減少を示す。異なるエッチング速度が構造層を機械的に分離することによって、エッチングプロセス中の装置の応力を低下させる。方法及びシステムも提供される。
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MEMS装置(800)は、基板(802)と、基板(802)上の作動電極(804)と、作動電極(804)上の反射層(810)と、作動電極(804)と反射層(810)との間の支持層(808)とを含む。反射層(810)は、その反射層(810)を貫通する少なくとも一つの開口(814)を含む。支持層(808)は、作動電極(804)と少なくとも一つの開口(814)との間に凹部(812)を含む。制御信号を装置(800)に印加する際に、反射層(810)の少なくとも第一の部分(816)は凹部(812)内に移動するように構成されていて、反射層(810)の少なくとも第二の部分(818)は静止したままであるように構成されている。MEMS装置(800)の反射性は、第一の部分(816)から反射される光と第二の部分(818)から反射される光との間の位相差を変更することによって、支配的に変調される。
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【課題】多波長スイッチを提供する。該スイッチは、光線を受光するための、少なくとも1つの光入力と、少なくとも2つの光出力とを備える。分散素子は、前記光入力から前記光線を受光し、前記光線を空間的に複数の波長成分に分離する。平行性素子は、前記複数の波長成分を平行光化するために備えられる。作動可能な光学配置は、前記平行光化された複数の波長成分を前記平行性素子から受け取る。前記作動可能な光学配置は、少なくとも1つの波長成分を、選択されたいずれか1つの光出力に指向される前に、少なくとも2回反射するデジタルマイクロミラー装置(DMD)を含む。 (もっと読む)


本発明は、少なくとも1つのマイクロミラー(1)と、少なくとも1つのマイクロミラー(1)を、少なくとも1つの軸の周りに緩和静止位置から旋回させる、少なくとも1つのマイクロミラーアクチュエータ(2)と、フレームチップと、フレームチップに設けられた透明カバー(3)とを備え、フレームチップは、その上に、少なくとも1つのマイクロミラー(1)が、弾性的に旋回可能に関節接合されるチップフレーム(10)を有し、少なくとも1つのマイクロミラー(1)は、更に、チップフレーム(10)内、及び透明カバー(3)とキャリア層との間に形成された空洞(11)中に設けられる、マイクロシステムに関する。この目的を達成するために、少なくとも1つのマイクロミラー(1)は、少なくとも1つの軸の周りに、フレーム(14)上に旋回可能に関節接合され、フレーム(14)は、同様に、チップフレーム(10)上に旋回可能に関節接合され、フレーム(14)が、キャリア層によって規定されたチッププレーンから永続的に旋回されることで、マイクロミラー(1)は、その静止位置において、チッププレーンに対して、旋回していない角度に対して傾けられる。本発明は、更に、そのようなマイクロシステムを製造する方法にも関する。 (もっと読む)


本発明の1つの態様は、赤外範囲内の第1波長の光および可視スペクトル内の第2波長の光を選択的に反射するように構成されるディスプレイ要素(102)を備えるディスプレイ(100)に関する。本発明の別の態様は、少なくとも3つの反射性ディスプレイ要素(104、106、108)を備えるカラーディスプレイ(100)に関する。各ディスプレイ要素(104、106、108)は、可視範囲内の異なる波長の光を選択的に反射するように構成される。3つの反射性ディスプレイ要素(104、106、108)の少なくとも1つの反射性ディスプレイ要素はさらに、赤外範囲内の波長の光を選択的に反射するように構成される。
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【課題】本発明は、モニタ用の光学系を不要とする簡易な構成の波長選択スイッチを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチは、 光を反射するミラーと、光を反射する側において前記ミラーに相対して配置され、前記ミラーに向かって照射される光の一部を透過させ該光の光強度をモニタする透過型薄膜フォトダイオードと、前記ミラーの表面を前記ミラーに向かって照射される光の光軸に対して傾斜させ、該光の反射方向を制御するミラー駆動機構と、を備えるMEMSミラーを有する。 (もっと読む)


【課題】本発明では、簡易な制御アルゴリズムの光強度調整機能と簡易な構造でヒットレス動作ができるマイクロミラー構造のマイクロ液晶素子及びそのマイクロ液晶素子を用いた波長選択スイッチを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るマイクロ液晶素子は、光を反射するミラーと、光を反射する側の前記ミラーの表面に配置され、2枚の透明電極板間が液晶で充填されおり前記2枚の透明電極間に印加する電圧により前記ミラーで反射する反射光の光強度を制御する散乱層と、前記ミラーの表面を前記ミラーに向かって照射される光の光軸に対して傾斜させ、該光の反射方向を制御するミラー駆動機構と、を備える。 (もっと読む)


【課題】製造コストを抑制しつつ、所望の鏡面形状を得ることが可能な形状可変ミラーを提供する。
【解決手段】形状可変ミラー1は、ベース2と、ベース2と対向配置され、ベース2と対向する面と反対側の面に鏡面3aが形成されるミラー基板3と、ベース2上に配置されてミラー基板3を支持する支柱4と、電圧を印加することにより伸縮する圧電体を有し、ベース2上に配置されて、ミラー基板3の支柱4に接合されていない可動部を変位させる圧電アクチュエータ5と、を備える。圧電アクチュエータ5は、電圧を印加されない状態で、支柱4より所定の高さだけ高く形成されており、前記所定の高さは、ミラー基板3を支柱4と接合することによって鏡面3aに発生する歪みの最大量よりも大きい量である。 (もっと読む)


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