【課題】製造コストを抑制しつつ、所望の鏡面形状を得ることが可能な形状可変ミラーを提供する。
【解決手段】形状可変ミラー１は、ベース２と、ベース２と対向配置され、ベース２と対向する面と反対側の面に鏡面３ａが形成されるミラー基板３と、ベース２上に配置されてミラー基板３を支持する支柱４と、電圧を印加することにより伸縮する圧電体を有し、ベース２上に配置されて、ミラー基板３の支柱４に接合されていない可動部を変位させる圧電アクチュエータ５と、を備える。圧電アクチュエータ５は、電圧を印加されない状態で、支柱４より所定の高さだけ高く形成されており、前記所定の高さは、ミラー基板３を支柱４と接合することによって鏡面３ａに発生する歪みの最大量よりも大きい量である。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの伸縮によって鏡面の形状を変形可能に設けられる形状可変ミラーを効率良く製造する方法を提供する。
【解決手段】形状可変ミラー１の製造方法には、分離予定部に沿って切断されて複数のベース２が得られるベース用部材と、ベース用部材に重ねられた状態で分離予定部に沿って切断されて複数のミラー基板３が得られるミラー基板用部材と、ベース用部材１１に配置されて分離予定部に沿って切断された場合に、その切断片の全て又は一部が固定部４となる固定部用部材と、を一括して切断し、複数の形状可変ミラー１を取得する工程が含まれる。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、ＭＥＭＳベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 （もっと読む）

【課題】歩留まりおよび消費電力が改善される。
【解決手段】支持基板層１１ａおよび中間層１１ｂが順に積層された底面部１１ｃと、底面部１１ｃ上に形成され、内壁にトーションバー１２を介してマイクロミラー１３が一体的に形成され、上面にスペーサ１４を備えるデバイス部１１ｄとを有するミラー基板１１と、一対の透明電極１６が、マイクロミラー１３の両端部もしくは両端部近傍にそれぞれ重なるように配置され、スペーサ１４を介してミラー基板１１と接合する上部ガラス基板１５と、により構成するようにした。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ用光学シャッタを、より高速に動作させ、かつ、光の取り出し効率をより向上させることができるようにする。
【解決手段】ピクセルサイズが35（μm）×35（μm）のときよりも、20（μm）×20（μm）のときの方が、応答限界周波数が高くなっている。すなわち、ピクセルサイズを小さくするほど、無極性液体の膨張時の面積が小さくなる（すなわち、必要な膨張度が少なくなる）とともに、無極性液体の必要な液量も少なくなるので、液体デバイスの応答速度を速くすることができる。つまり、液体デバイスは、十分に小さなピクセルサイズのリブピクセルを有することにより、要求される速度を十分に満たす応答速度を得ることができる。本発明は、画像表示装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】光変調器モジュールパッケージを提供する。
【解決手段】本発明の光変調器モジュールパッケージは、光源から入射された入射光をミラーの上下離隔距離に応じて回折及び干渉させて変調された変調光を出射する光変調器と、前記光変調器を駆動するために前記光変調器の周辺に実装されるドライバＩＣと、前記入射光のうち前記光変調器のミラー領域に入射されない光を遮断するノイズ除去部材とを備える。これによれば、光源から出射された光のうち光変調器から反射しない光が光変調器から出射された変調光に及ぼす影響を最小化させることができる。 （もっと読む）

基板と、前記基板上に提供された少なくとも一つの半導体層と、前記少なくとも一つの半導体層上に提供され、駆動／検出回路を含む少なくとも一つのチップを備えた回路領域と、前記基板に取り付けられた支持構造と、前記支持構造に取り付けられた少なくとも一つの弾性デバイスと、前記少なくとも一つの弾性デバイスによって支持され、ｘ、ｙ、及びｚ軸方向の少なくとも一つにおいて自由に移動するプルーフマスと、前記少なくとも一つの弾性デバイス上に提供された少なくとも一つの頂部電極と、前記少なくとも一つの弾性デバイスの真下に位置した少なくとも一つの底部電極であって、初期キャパシタンスが前記少なくとも一つの頂部及び底部電極の間に生成されるような底部電極と、を備えており、駆動／検出回路、プルーフマス、支持構造、及び少なくとも一つの頂部及び底部電極は、少なくとも一つの半導体層上に製造されたＭＥＭＳデバイスを提供する。
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【課題】電磁気マイクロアクチュエータを提供する。
【解決手段】基板１１０の一面に回動自在に形成されたステージ１２０と、ステージ１２０の回転軸方向にステージ１２０の両側に連結された一対のトーションバネ１３２と、トーションバネ１３２を支持してステージ１２０を取り囲む固定フレーム１５０と、ステージ１２０の上面に所定深さで巻き回された駆動コイル１３０と、駆動コイル１３０形成部分から離隔した形成されたミラー部１４０と、駆動コイル１３０から離隔し、駆動コイル１３０を挟んで対向する位置に形成された一対の永久磁石１６０と、を備えることを特徴とする電磁気マイクロアクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】光変調器を用いて光源からの光を変調して線形映像を生成し、生成された映像を内部表示部に投射してスキャニングすることにより高画質の映像を表示し得るようにする、光変調器プロジェクターを備えた携帯用端末機の提供。
【解決手段】プロジェクション制御信号を出力し、映像データを出力する制御系と、前記制御系から映像データを受け取り、その映像データによる駆動制御信号を生成して出力するプロジェクション制御系と、前記プロジェクション制御系から入力された駆動制御信号に基づいて光を生成し、生成された光を変調して線形映像を生成し、生成された映像を内部表示部に投射してスキャニングする光変調光学系とを含んでなる、光変調器プロジェクターを備えた携帯用端末機を提供する。 （もっと読む）

【課題】リアプロジェクションディスプレイなどの投射型ディスプレイ装置で、設置面積を小さくすることが可能な表示システムを提供すること。
【解決手段】第一の面、第二の面、および第三の面を備える透明な先細プレートであって、該第一の面は、該第二の面および該第三の面よりも実質的に小さい、先細プレートと；チルト可能なミラープレートの行であって、該ミラープレートのそれぞれは反射表面を備え、入射光を「オン」方向に反射する「オン」位置にチルトするか、あるいは入射光を「オフ」方向に反射する「オフ」位置にチルトするように構成される、チルト可能なミラープレートの行と；該「オン」方向にある該ミラープレートに該反射光の方向を制御するように構成された光学的スキャニングシステムとを備える、表示システム。 （もっと読む）

【課題】犠牲層エッチングを行わずに微小構造体及びマイクロマシンを作製する。
【解決手段】基板１０１上に剥離層１０２を形成し、剥離層１０２上に可動電極となる層１０３を形成する。剥離層１０２を境界に、可動電極となる層１０３を基板から剥離する。別の基板１０５に固定電極となる層１０６を形成する。可動電極となる層１０３と固定電極となる層１０６が向かい合うように、部分的に設けられたスペーサ層１０３を挟んで、可動電極となる層１０３を基板１０５に固定する。これにより、犠牲層エッチングを行わずに、層１０３と層１０６の間に空間部分１０９が形成される。 （もっと読む）

光変調器装置は、第1の電気導管、第1の導管から電気的に絶縁された第2の電気導管、第1の表示素子、および第2の表示素子を備える。第1の表示素子は、第1の導管と第2の導管との間の電圧差の大きさが第1の動作電圧よりも大きいときには動作状態にあり、この電圧差の大きさが第1の解放電圧よりも小さいときには解放状態にある。第2の表示素子は、この電圧差の大きさが第2の動作電圧よりも大きいときには動作状態にあり、この電圧差の大きさが第2の解放電圧よりも小さいときには解放状態にある。各動作電圧が実質上等しく、各解放電圧が異なるか、または各動作電圧が異なり、各解放電圧が実質上等しいかのいずれかである。
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【課題】光変調器キャリブレーション装置を提供する。
【解決手段】光変調器のキャリブレーションを行う装置において、上記光変調器に所定の光を出射する光源と、上記光変調器から出射された光をスキャンして投射する光スキャン装置と、上記光源から出射される光を測定する光測定手段と、及び上記光スキャン装置に、非可視的でありながら上記光測定手段により感知可能なキャリブレーション光が出射されるように上記光源を制御する光源制御部と、を含む光変調器キャリブレーション装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】光変調器および光変調器によって光を制御する方法の提供。
【解決手段】基板２１０と、前記基板２１０から離間された透明板２２０であって、前記基板との間に空洞２４０を画定する透明板２２０と、前記基板と前記透明板の間に延在し、相互間に前記空洞を形成する側壁２３０と前記基板上に前記空洞と隣接して形成された反射面２５２を有する電極２５０と、前記空洞内に配置された１を超える屈折率を有する液体２７０とを具備し、前記側壁に前記空洞と隣接して形成された補助電極２６０とをさらに具備し、前記液体が、前記補助電極に電気信号が印加されたときに、前記電気信号が印加された補助電極の方に移動することで、前記液体の界面の角度を変化させ前記反射面を有する電極の前記反射面で反射する光の方向を変化させて光変調を行うように構成された光変調器。 （もっと読む）

光送信器および変調器を同期させる方法であって、送信器から変調器へと較正用の一連のパルスを送信すること、送信間隔タイミングおよび変調器の透過間隔タイミングからなるセットから選択される制御タイミングを変化させること、変調器によって送信される結果としてのパルスを監視し、好ましい制御タイミングを選択すること、および選択された制御タイミングに応答して光送信器および／または変調器を制御すること、を備える方法。この構成を実現または制御するための対応する装置、システム、信号、およびコンピュータプログラムも提供される。
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二重自由空間光通信を提供する方法であって、タイムシフトキーイング（ＴＳＫ）によってエンコードされた信号を受信すること、およびオン−オフキーイング（ＯＯＫ）信号を送信するために、受信したＴＳＫパルスを選択的に再変調し、場合によっては逆反射させること、を備える方法。関連の装置および信号も提供される。
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少なくとも１つのマイクロミラーを基板の上方に弾性的に支持して有する間隔制御式エタロンを備える光変調器。少なくとも１つの絶縁ストッパが、マイクロミラーが印加電圧によって基板に向かって引き寄せられるときの短絡を防止するために、マイクロミラーと基板との間に設けられている。光検出器が、第１のレーザパルスの到着時刻を検出する。制御回路が、第１のレーザパルスの到着時刻から次の入射レーザパルスの到着時刻を予測し、制御信号に応答して、変調器を透過する光を最大または最小にするために予測される時間に、マイクロミラーを絶縁ストッパに当接して保持されるプルダウン位置に拘束し、あるいはマイクロミラーを解放する。所定の回数の機械的振動を許容するように計算された時間間隔の後に、マイクロミラーが、ストッパへと引き戻される。
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発明は気密封止されたデバイス及びそのようなデバイスを作成する方法に向けられる。デバイスは、１つまたは複数の光、光電子、電子または超小型電気機械（ＭＥＭＳ）素子が、単独でまたは組み合されて、その上に配置された基板、上部及び上部からある距離まで延びるエクステンションを有するカバー部材、カバー部材のエクステンション部分を基板に接合するために用いられる接着剤及びカバー部材エクステンションが基板に接合されている領域を気密封止するための封止剤を有する、光、超小型電気機械、電子及び光電子デバイスを含む。発明の方法において、封止剤は原子層堆積法を用いて与えられる。
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本発明は、特に選ばれた範囲内の赤外線によるガス検出での使用のための調整可能な干渉フィルタであって、光が間で振動しうる反射面によって区切られたキャビティを定義する選ばれた距離によって分離された少なくとも２つの本質的に平行な反射面を有し、前記表面の少なくとも１つがキャビティへの、またはキャビティからの光の伝播に対して半透明であるような、干渉フィルタに関する。そのフィルタは、透明で高い屈折率材料と調整可能部分によって構成されるキャビティを得るために、キャビティ内に位置し、選ばれた厚さを備え、高い屈折率を持った透明な材料と、反射面間のキャビティ長さを調整するための調整可能な分離手段と、を有する。
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本発明の一実施例に従って、半導体デバイス（２００）は、半導体デバイスの基板（２２６）の上側表面上に配置される誘電性材料の第１の層（２０８）、及び誘電性材料の上側表面上に配置される金属の第１の非導電性層（２０６）を含む。誘電性材料の第１の層と金属の第１の非導電性層は、金属の第１の非導電性層が受ける電磁放射に対する光学トラップとして機能する。特定の実施例において、半導体デバイスは更に、金属の第１の非導電性層の上側表面上に配置される誘電性材料の第２の層、及び誘電性材料の第２の層の上側表面上に配置される金属の第２の非導電性層を含み得る。
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