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Fターム[2H141MZ24]の内容

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【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 (もっと読む)


【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明は、MEMSベースの光変調器の動きを制御するための制御マトリクスを利用して、ディスプレイ上に画像を形成するための、方法および装置に関する。 (もっと読む)


集積空間光変調器を製造する方法。該方法は、ボンディング表面を含む第1の基板を提供するステップと、デバイス基板を処理して少なくとも1つの電極層を形成するステップであって、該電極層が複数の電極を含むステップと、該電極層上にスタンドオフ層を堆積するステップとを含んでいる。該方法はさらに、該スタンドオフ層からスタンドオフ構造を形成するステップと、該第1の基板の該ボンディング表面を該デバイス基板の該スタンドオフ構造に接合するステップとを含んでいる。具体的な実施形態では、該方法はさらに、スタンドオフ層を堆積する該ステップの後に、該スタンドオフ層の化学的機械的研磨を実行して該スタンドオフ層の上部表面を平坦化するステップを含んでいる。 (もっと読む)


本発明は、ブラッグミラーのような2つの部分反射装置10、12の間に配置された共振空洞を備える波長同調可能な選択性オプトエレクトロニックフィルタに関し、前記共振空洞は、高い屈折率をもつ固体材料でできており、2つの部分反射装置10、12間で導波管を構成しているディスク16から成る。前記フィルタは優れた選択性を示す。
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本発明の一観点は、静電アクチュエータを有するマイクロミラー・デバイスの偏向のドリフトに対する安定化方法において、前記マイクロミラーと前記マイクロミラーの下の少なくとも1つの電極とである少なくとも2つの部材を含むアクチュエータであって、前記少なくとも2つの部材の少なくとも1つが半導体材料で形成されているアクチュエータを提供する行為と、前記アクチュエータの前記他の部材に面する前記少なくとも1つの半導体部材上に、1017cm以上のキャリア密度を有する表面層を提供する行為とを含む方法を含む。 (もっと読む)


出力レーザ光パルスビームのパルスをパルスバーストで生成する、狭帯域DUV高出力高繰り返し率ガス放電レーザのための線幅狭小化装置及び方法が開示され、線幅狭小化モジュール内に収容される分散中央波長選択光学部品を含み、分散波長選択光学部品の分散表面上にそれぞれのパルスを含むレーザ光パルスビームの入射角により少なくとも一部が求められる各々のパルスに対する少なくとも1つの中央波長を選択し、分散中央波長選択光学部品に作動的に連結され、第1の方法により、分散表面の曲率を変化させるように作動する第1の分散光学部品曲げ機構と、分散中央波長選択光学部品に作動的に連結され、第2の方法により、分散表面の曲率を変化させるように作動する第2の分散光学部品曲げ機構と、を含むことができる。第1の方法は帯域幅の第1の測定値を変更し、第2の方法は帯域幅の第2の測定値を変更して、第1の測定値と第2の測定値の比率が実質的に変化するようにすることができる。第1の測定値はスペクトルピーク値の選択された割合におけるスペクトル幅であり(FWX%M)、第2の測定値はスペクトル強度の幾つかの選択された割合が含まれる幅(EX%)とすることができる。第1の分散光学部品曲げ機構は、第1の寸法において分散表面の曲率を変化させ、第2の分散光学部品曲げ機構は、第1の寸法に対して一般に直角である第2の寸法において分散表面の曲率を変化させることができる。レーザシステムは、異なる屈折率と隣接する光学素子とは反対の屈折率の温度勾配とを有する材料を含むビーム経路挿入体を含むことができる。第1の分散光学部品曲げ機構は、第1の寸法における分散表面の曲率を変化させ、第2の分散光学部品曲げ機構は、第1の寸法に対して一般に平行である第2の寸法において分散表面の曲率を変化させることができる。レージングキャビティにおける光学ビームねじり素子は、レーザ光パルスビームを光学的にねじって、ねじられた波面を分散中央波長選択光学部品に提示することができる。曲げは、例えば、バーストにおいて、曲率及び波長の選択を変化させることができ、2つの中央波長ピークを生成して、FWX%M及びEX%を独立して選択することができる。
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【課題】薄膜トランジスター製造技術を使用して反射表示デバイスを作る方法を提供する。
【解決手段】(光干渉変調器などの)MEMSデバイスは薄膜トランジスター(TFT)製造技術を使用して製造されうる。ある実施形態では、MEMS製造プロセスは、TFT生産ラインを識別することと、TFT生産ラインでMEMSデバイスの製造の準備をすることとを含んでいる。別の実施形態では、光干渉変調器は、あらかじめTFT生産のために構成された生産ラインで少なくとも部分的に製造される。 (もっと読む)


【課題】ディスプレイのアクティブ領域の方へ光を方向付けるための光学膜を提供する。
【解決手段】 本発明のさまざまな実施形態では、干渉計測ディスプレイデバイスは、光をディスプレイの非アクティブ領域からディスプレイのアクティブ領域に方向付ける複数の構造体を備えた外部膜を有する。一般にディスプレイの非アクティブ領域に向かって連続している外部膜への入射光が、光学キャビティを形成する可動反射面と静止反射面とを備えるディスプレイのアクティブ領域の方へ反射されるか回折されるか散乱される。 (もっと読む)


微小電気機械システム(MEMS)ミラーアセンブリは、基板上に形成され一面にスプリングを有するマイクロミラーのアレイを含む。マイクロミラーは基板上に配置された電極へ印加された電圧によって生じた静電的な力に反応してオンとオフ状態の間で斜めに傾斜する。少なくとも1つ、しかし好ましくは2つの薄い金属片の形態からなる2つのスプリングがミラー側縁の支柱に取り付けられ、電圧が印加されていない基板に対してミラーが平らなときに生ずるオフ状態と電圧が印加されてミラーが傾斜させられたオン状態との間で、ミラーが傾斜させられたときに復元力を与えるスプリングとして作用する。 (もっと読む)


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