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Fターム[2H147FA09]の内容

光集積回路 (45,729) | 膜形成、結晶成長 (3,006) | 膜形成方法、結晶成長方法 (2,523) | 気相成長 (1,163) | 物理的気相成長、蒸着 (696) | スパッタ (336)

Fターム[2H147FA09]に分類される特許

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【課題】光素子と光導波路とを容易かつ正確に結合可能であり、高品質で安定した光通信を行い得る光導波路モジュール、かかる光導波路モジュールを効率よく製造可能な光導波路モジュールの製造方法、および、前記光導波路モジュールを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路モジュール10は、光導波路1と、その上方に設けられた回路基板2と、回路基板2上に搭載された発光素子3と、回路基板2と発光素子3との間隙に設けられた透明な光透過部61、および、光透過部61と一体的に形成されており、発光素子3の本体の外縁と当接する当接部62を備えた素子実装部6と、を有している。当接部62に対して発光素子3の本体の外縁を当接させることにより、発光素子3の位置が正確に規制される。 (もっと読む)


【課題】
金属装荷型偏光子を構成する金属膜の酸化や製造プロセスの後工程によるエッチングを抑制し、光学特性の優れた光導波路デバイス及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】
電気光学効果を有する基板1と、該基板に形成された光導波路2と、該光導波路の少なくとも一部を覆うように形成された金属装荷型偏光子3とを有する光導波路デバイスにおいて、該金属装荷型偏光子には、金属膜30の露出部分を全て覆うように保護膜33が形成されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】広波長帯域にわたり消光比が高い復調用遅延回路および光受信器を提供する。
【解決手段】入力側カプラ6,10と出力側カプラ7,11とを接続する第一のアーム導波路8,9と第一のアーム導波路よりも光路長が短い第二のアーム導波路12,13とを有し、入力光信号を遅延させて干渉させる光干渉計を備え、光伝搬方向が入力側カプラと出力側カプラとで略180度異なる。入力側および出力側カプラはそれぞれ第一および第二の導波路を有し、第一の導波路は第二の導波路よりも光路長が長く、第一の導波路と第二の導波路とは長手方向2箇所において第一の方向性結合器と第二の方向性結合器とが形成されており、略50%の結合率の波長無依存カプラとして構成され、入力側カプラの長手方向に対して入力側カプラの第一の導波路が配置されている側と、出力側カプラの長手方向に対して出力側カプラの第一の導波路が配置されている側とが同一である。 (もっと読む)


【課題】ミラー部と上部クラッド層が剥離しにくく、光導波路の膜厚を容易に制御できるミラー付き光導波路を提供する。
【解決手段】下部クラッド層2、金属膜5で被覆されたミラー部4が形成されたコア層3、上部クラッド層6,7が順に積層されてなるミラー付き光導波路であって、上部クラッド層6,7が複数層であることを特徴とするミラー付き光導波路。 (もっと読む)


【課題】クラッドによるX線の閉じ込め効果を高めることで、高い伝搬効率で位相の揃ったX線を導波することが可能なX線導波路を提供する。
【解決手段】波長が1pm以上100nm以下のX線15を導波させるためのコア10とクラッド11、12を有するX線導波路において、コア10は、X線15の導波方向に垂直な方向において屈折率実部が異なる複数の物質を含む周期構造を有し、コア10とクラッド12間に平坦化層13が設けられており、平坦化層13とクラッド12の界面における全反射臨界角は、コア10の周期性に起因するブラッグ角よりも大きい。 (もっと読む)


【課題】 クラッドによるX線の閉じ込め効果を高めることで、高い伝搬効率で位相の揃ったX線を導波することが可能なX線導波路を提供する。
【解決手段】 X線を導波させるコアとクラッドを有するX線導波路であって、前記コアは、X線の導波方向に垂直な方向において、屈折率実部が異なる複数の物質を含む周期構造を有し、前記コアと前記クラッドとの間に平坦化層が設けられ、前記コア及び前記平坦化層は、前記クラッドと接しており、前記クラッドと前記平坦化層および前記コアとの界面における全反射臨界角が、該コアの周期性に起因するブラッグ角よりも大きいことを特徴とするX線導波路。 (もっと読む)


【課題】マイクロディスペンサ法を用いて微小領域に滴下する際に、光導波路の上面や側面に滴下し易くかつ安全に液状の充填材料を滴下する構造を備えた光導波路素子を提供すること。
【解決手段】伝搬する光のフィールドが光導波路5の外に染み出すように光導波路コア及びクラッドの幅が設定されているメサ型1またはリッジ型6の光導波路を備えた光導波路素子において、前記光導波路の近傍に、光導波路の高さよりも高い突起構造3a、3b、3cを設けた光導波路素子。または、前記突起構造の代わりに、前記光導波路の近傍から当該光導波路の上方に突出して形成した梁状の構造を設けてもよい。さらに、前記突起構造の代わりに、前記光導波路の片側に、当該光導波路の長手方向に沿って、該光導波路の高さよりも高い壁構造を設けてもよい。 (もっと読む)


【課題】材料を無駄にすることなく、希土類化合物を用いた光素子が製造できるようにする。
【解決手段】エルビウムの酸化物よりなる希土類含有層105をスパッタ法などの物理蒸着法により、基板を加熱することなく形成し、例えば1000℃に加熱することで、希土類含有層105を溝部104に凝集させ、酸化エルビウムの結晶からなる希土類コア部106を形成する。希土類の酸化物は、加熱することで、下地に形成されている凹部に凝集する。また、この加熱により、アモルファス状態の酸化エルビウムが結晶化するので、希土類コア部106は、酸化エルビウムの結晶から構成されたものとなる。 (もっと読む)


【課題】典型的な2次元フォトニック結晶構造を有する光共振器において、Q値等の性能が十分高い構造を実現する。
【解決手段】光共振器100は、所定の穴径で一列に一定周期で並んだ結晶穴5を持つ1次元のフォトニック結晶2を利用する。フォトニック結晶部材の厚さを所定の範囲に設定する。光波回路・電子回路において層間分離膜や封止膜としての役割を果たす低屈折率のシリコン酸化膜3,4を使用して1次元フォトニック結晶共振器を埋め込み、必要十分なQ値を確保できる。前記層間分離膜または封止膜を利用して、フォトニック結晶と光波回路または電子回路とを集積化する。 (もっと読む)


【課題】低温プロセスでゾルゲルガラスからなるクラッド・コア材の作製、屈折率の任意制御、光損失の極小制御が可能なポリマー光変調器の製造方法の提供。
【解決手段】下記式(1)
Si(OR4−n (1)
で表されるシリコンアルコキシド、その加水分解・縮合物、またはこれらの混合物と、光酸発生剤とを含む硬化性組成物を調製する工程と、
該硬化性組成物を基板上に塗布・硬化し、更にパターン形成を行い、ゾルゲルガラスから形成される下部クラッド層、コア層、側部クラッド層及び上部クラッド層を形成する工程と、
上部クラッド層中に、電気光学ポリマーから形成されるコア層を、該ゾルゲルガラスから形成されるコア層の上部に接触して埋設する工程とを含み、且つ、上部クラッド層と電気光学ポリマーから形成されるコア層との接続部の一部が、導波光の進行方向に対しテーパー構造を有する、ポリマー光変調器の製造方法。 (もっと読む)


【課題】バッファ層中へのLiイオン等のキャリアの拡散を抑制し、長期間に渡り駆動電圧が安定した光導波路素子を提供する。
【解決手段】電気光学効果を有する基板1と、基板1に形成された光導波路2と、基板1の上に形成されたバッファ層5と、バッファ層5上に形成され、光導波路2を伝搬する光波を変調する変調電極3,4とを有する光導波路素子において、光導波路2とバッファ層5との間に、基板1に含まれる金属イオンがバッファ層5内に拡散し偏在することを抑制するための偏在抑制層6を設ける。 (もっと読む)


【課題】DCドリフトが抑制された光導波路素子の製造方法を提供する。さらには、製造プロセスの途中で、DCドリフトを調整することを可能とし、製造の歩留まりを改善する、光導波路素子の製造方法を提供する。
【解決手段】電気光学効果を有する基板に、光導波路を形成する工程と、バッファ層を形成する工程と、電極を形成する工程とを有する、光導波路素子の製造方法において、該バッファ層を形成した後に、該バッファ層内の特定物質の濃度分布を加熱によって調整するための1段階又は複数段階の界面拡散層熱調整工程(S1,S2)を組み込む。 (もっと読む)


【課題】偏光維持大コア中空導波路を提供する。
【解決手段】偏光維持フォトニックガイドシステムは、導波路内で光の進行方向にほぼ垂直で直交する第2の寸法606と、この第2の寸法606よりも大幅に大きい第1の寸法602とを有し、第1の寸法602と平行な電界604の光波が、第2の寸法606と平行な電界の光波よりも大幅に少ない損失で伝搬する大コア中空導波路と、第1の厚さを有し、大コア中空導波路において第1の寸法602と平行な内壁に適用される第1の誘電体コーティング610と、第2の厚さを有し、大コア中空導波路において、第2の寸法606と平行な内壁に適用される第2の誘電体コーティング612とを有する。 (もっと読む)


【課題】テーパ構造のC型開口を有する90°に曲がっている金属導波路、導波路の製造方法、導波路を利用した光伝送モジュール及び導波路を採用したHAMR(熱補助磁気記録)ヘッドを提供する。
【解決手段】光を伝送する開口113が内部に形成された導電性金属からなる金属導波路111において、開口は、入力端111aと出力端111bとの間で光の進行方向を変えるように曲がっている構造を有し、曲がっている部分と出力端との間で出力端側に幅が次第に狭くなるテーパ構造を有し、開口を形成する金属の内面にリッジ部114が突出して形成されることによって、開口がC型の形状を有する金属導波路である。 (もっと読む)


【課題】熱分布の発生を抑制して、ビーム品質を高めることができるようにする。
【解決手段】入射面2aから励起光6を導入して、その励起光6を伝搬させる平板状の励起光導入部2と、励起光導入部2より高い屈折率を有しており、その励起光導入部2により伝搬された励起光6を導入する入射面が、その励起光導入部2の下面2cに接合され、その入射面から導入した励起光6を吸収して利得を発生する平板状のレーザ媒質1とを備え、その励起光導入部2における励起光6の入射方向の長さがレーザ媒質1より長く、その励起光導入部2の入射面2a付近にはレーザ媒質1が接合されていないように構成する。 (もっと読む)


【課題】限られたスペース内に複数個の光学素子を効率よく設置することが可能なミラー付き光導波路を提供する。
【解決手段】下部クラッド層2と、下部クラッド層2上に間隔をおいて並設された複数本のコア3a〜3dと、コア3a〜3dのそれぞれに形成されたミラー面6とを有するミラー付き光導波路5であって、各コア3a〜3dは、長手方向に間隔をおいて第1〜第2の傾斜面11,21を有しており、コアの第kの傾斜面(kは1〜2の整数)11,21同士がコアの短手方向に1列に配列しており、コアの傾斜面11,21よりなる総ての傾斜面のうち、一部の傾斜面が金属層30の形成されたミラー面6となっており、残部の傾斜面が金属層30を有しない透光面7となっており、ミラー面6に対して短手方向に隣接する傾斜面は、いずれも透光面7となっているミラー付き光導波路5。 (もっと読む)


【課題】光導波路の表裏両面に光学素子を設置することができ、光学素子の設置個数を増加することが可能なミラー付き光導波路を提供する。
【解決手段】下部クラッド層2と、前記下部クラッド層2上に間隔をおいて並設された複数本の棒状のコア3a〜3dと、前記複数本の棒状のコア3a〜3dを通過する光信号の光路変換を行う複数個のミラー面6,6Aとを有するミラー付き光導波路5であって、前記複数個のミラー面6,6Aは、前記コア3a〜3dの長手方向に対してミラー付き光導波路5の表面側に傾斜する表面通信用ミラー面6A及び裏面側に傾斜する裏面通信用ミラー面6を有しており、前記複数本の棒状のコア3a〜3dとミラー付き光導波路5の表裏両面との間で光信号の送受信が可能とされていることを特徴とするミラー付き光導波路5。 (もっと読む)


【課題】 X線の伝搬損失が少なく、位相のそろった、大きな断面積の単一の導波モードを実現できるX線導波路を提供する。
【解決手段】 X線を導波させるためのクラッドとコアからなるX線導波路であって、前記コアが屈折率実部の異なる複数の物質が周期的に配列された周期構造をもつ材料からなり、前記クラッドと前記コアが、電磁波の導波方向に垂直な面において、前記クラッドが前記コアを取り囲むように配置されており、かつ、前記コアにおける電磁波の導波方向に垂直な面における周期構造の周期性を表す基本ベクトル、または複数の基本ベクトルの和または差で形成されるベクトルの少なくとも一つの周期方向における、前記周期構造の周期性に起因するブラッグ角が、前記クラッドと前記コアの少なくとも1つの界面における全反射臨界角よりも小さくなるように、前記コアと前記クラッドが構成されているX線導波路。 (もっと読む)


【課題】非常に優れた検出感度を有するSPRセンサセルおよびSPRセンサを提供すること。
【解決手段】本発明のSPRセンサセルは、検知部と、該検知部に隣接するサンプル配置部とを備える。検知部は、アンダークラッド層と、少なくとも一部が該アンダークラッド層に隣接するように設けられたコア層と、コア層を被覆する金属層とを有する。コア層の屈折率は1.43以下であり、かつ、吸収係数は9.5×10−2(mm−1)以下である。 (もっと読む)


【課題】光路変換される迷光を抑制する光伝送基板を提供する。
【解決手段】光伝送基板は、基板1と、基板1上に設けられた、コア部2bおよびコア部2bを光軸方向の途中で分断する溝部を有する、樹脂材料からなる光導波路2とを備えた光伝送基板であって、光導波路2の前記溝部内に、コア部2bが露出した端面2dと、端面2dから離れた位置にあって光導波路2の光軸方向に対して傾斜している光路変換面3と、光路変換面3の下端に繋がっているとともに基板1に対して光路変換面3よりも大きく傾斜した傾斜面4cを持つ、下方向に凹んだ凹部4とを有する。 (もっと読む)


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