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Fターム[2H147FE03]の内容

光集積回路 (45,729) | 製造に用いるビーム、電磁場の種類 (1,446) | 紫外線より長波長の光 (190)

Fターム[2H147FE03]に分類される特許

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【課題】巨大な鋳型を高精度で作らなければならないため、困難であった長尺のコアの形成を可能にする製造方法を提供する。
【解決手段】Si基板3の一面にライン状の凹部6を形成する凹部形成工程と、Si基板3の他方の面からレーザー光を照射し、レーザー光の焦光点をSi基板3の内部に合わせSi基板3の内部に多光子吸収による溶融処理領域を形成することによりSi基板3をダイシングし、Si基板個片12を形成するダイシング工程と、Si基個片12を凹部が連続するようにライン状に整列させ、支持基板上8に接合し、原型13を形成する接合工程と、原型13上に電鋳して、原型13を剥離することにより、凹部6を反転した凸部11を有する反転型10を形成する電鋳工程と、反転型10により、凸部11を転写する転写工程とを、有する光導波路の製造方法。 (もっと読む)


【課題】プラスチック基板上に硬化エネルギー放射線によりイメージ通りに硬化ポリマーを形成する方法を提供する。
【解決手段】プラスチック基板上にコートされる光硬化可能なポリマー組成物における形体のフォトリソグラフィックパターニングのための方法であって、プラスチック基板は、金属製障壁のような反射膜でコートされる。また、プラスチック基板は、光硬化放射線を吸収する添加剤を含むポリマー障壁層でコートされるか又は同時押し出し成形される。さらに、プラスチック基板は、光硬化放射線を吸収する内在性添加剤を含む。これらの組み合わせもまた含まれる。プラスチック基板上に支持される光硬化可能なポリマーを含むいずれの素子又は目的物の製造にも適用できるが、プラスチック基板上に支持される光硬化可能なポリマーを含む光導波路の製造に有利に適用されてもよい。 (もっと読む)


【課題】クラッド部を伝搬する光をコア部から遠ざける手段を有することにより、信号光のS/N比を向上させ、高品質の光通信が可能な光導波路、およびかかる光導波路を備えた高性能の光配線、光電気混載基板および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路は、コア部と、コア部に隣接して設けられたクラッド部とを備える光導波路であって、クラッド部中に設けられ、コア部よりも屈折率が低く、コア部に接した低屈折率領域と、低屈折率領域よりも屈折率が高く、低屈折率領域を介してコア部から離間した平面視で粒状をなす複数の高屈折率領域とを有しており、複数の高屈折率領域は、クラッド部中に点在または整列している。また、各高屈折率領域は、それぞれコア部と同種の材料で構成されているのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】低温プロセスでゾルゲルガラスからなるクラッド・コア材の作製、屈折率の任意制御、光損失の極小制御が可能なポリマー光変調器の製造方法の提供。
【解決手段】下記式(1)
Si(OR4−n (1)
で表されるシリコンアルコキシド、その加水分解・縮合物、またはこれらの混合物と、光酸発生剤とを含む硬化性組成物を調製する工程と、
該硬化性組成物を基板上に塗布・硬化し、更にパターン形成を行い、ゾルゲルガラスから形成される下部クラッド層、コア層、側部クラッド層及び上部クラッド層を形成する工程と、
上部クラッド層中に、電気光学ポリマーから形成されるコア層を、該ゾルゲルガラスから形成されるコア層の上部に接触して埋設する工程とを含み、且つ、上部クラッド層と電気光学ポリマーから形成されるコア層との接続部の一部が、導波光の進行方向に対しテーパー構造を有する、ポリマー光変調器の製造方法。 (もっと読む)


【課題】光損失が少ない光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】下記(I)〜(III)の工程を含む光導波路の製造方法。(I)基板2上に形成された下部クラッド1上に、下から順に、光ラジカル開始剤及び重合性化合物を含有する光硬化性樹脂組成物層4、並びに水溶性非光硬化性樹脂組成物層3が形成される工程。(II)コア部8を形成するために、フォトマスク6を使用して上記光硬化性樹脂組成物層4を露光する露光工程。(III)上記光硬化性樹脂組成物層4の未露光部分及び上記水溶性非光硬化性樹脂組成物層3をアルカリ現像液で除去するアルカリ現像工程。 (もっと読む)


【課題】受発光素子との光結合効率が高く、高品質の光通信が可能な光導波路、および、前記光導波路を備えた信頼性の高い光電気混載基板および電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路1は、コア部14と、コア部14の側面を覆うように設けられたクラッド部と、コア部14の光路上に設けられ、光反射により光路を変換するミラー(光反射面)161、162と、ミラー161、162近傍のコア部14の光路を横切るように配置された、コア部14より屈折率が低い低屈折率層145と、を有する。ミラー161は、発光素子71から出射した信号光の進行方向を90°変換してコア部14へと導くが、この際、ミラー161近傍に設けられた低屈折率層145は、ミラー161に入射する信号光の入射効率を高めるよう、コア部14との界面で信号光を反射する。 (もっと読む)


【課題】受発光素子と光結合させた際の光結合損失が小さく、高品質の光通信が可能な光導波路、かかる光導波路を効率よく製造可能な光導波路の製造方法、および、前記光導波路を備え、高品質の光通信が可能な光導波路モジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路1は、コア部と、コア部の側面を覆うように設けられたクラッド部と、コア部の長手方向の途中または延長線上に到達する深さで設けられ、クラッド部の表面が部分的に凹没してなる凹部161の内壁面で構成されたミラー16と、クラッド部の表面が部分的に突出してなる凸部101で構成されたレンズ100と、を有し、凹部161および凸部101が、それぞれ成形型により形成されたものであることを特徴とする。また、コア部およびクラッド部は、複数の組成物を用いた多色成形体の一部に活性放射線を照射し、屈折率の偏りを形成することにより得られたものであることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】伝送効率および受発光素子等に対する光結合効率が高く、信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路1は、その光入射端部1A近傍が、横断面上に線を引いたときその線上における屈折率分布がステップインデックス型になっているSI部で構成され、光入射端部1A近傍以外の部位は、屈折率分布がグレーデッドインデックス型になっているGI部で構成されている。なお、ステップインデックス型の屈折率分布とは、屈折率が階段状に変化した分布を指し、グレーデッドインデックス型の屈折率分布とは、屈折率が高い領域とその両側にそれぞれ隣接する屈折率が低い領域とを有し、かつ屈折率が連続的に変化している分布を指す。 (もっと読む)


【課題】グレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路を効率よく低コストで製造可能な光導波路の製造方法、伝送損失が小さく信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】ポリマー915を含有する層910を形成する第1の工程と、層910に対して活性放射線のビーム930を相対的に移動させつつ照射し、ポリマー915中の化学構造の一部を異性化または二量化させ、層910中に屈折率分布を形成する第2の工程と、を有する。ここで、第2の工程において、ビーム930の移動経路の中心線近傍から離れるにつれて活性放射線の積算光量が連続的に減少するように、ビーム930の横断面形状およびビーム930中の強度分布の少なくとも一方を設定する。これにより、グレーテッドインデックス型の屈折率分布が形成される。 (もっと読む)


【課題】光の出射側における光の集光能力が高く、位置検知性能に優れたタッチパネルを実現することのできるタッチパネル用光導波路およびそれを用いたタッチパネルを提供する。
【解決手段】コア3と、このコア3を被覆した状態で形成されたオーバークラッド層4とを備えたタッチパネル用光導波路であって、光を出射するコア3の端部がレンズ部30に形成され、そのレンズ部30の平面視形状が、端面に向かうにつれて徐々に拡幅するテーパ部31と、その拡幅されたテーパ部31の先端側を外側に向かって楕円弧状に膨出させた楕円弧部32とからなり、上記楕円弧部32の長軸方向が上記テーパ部31の長手方向と一致する配置になっており、上記レンズ部30の長手方向の長さ(L)と、テーパ部31のテーパ角度(α)と、楕円弧部32を構成する楕円の長軸半径(a)とが、特定の条件を満たしている。 (もっと読む)


【課題】グレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路を効率よく低コストで製造可能な光導波路の製造方法、伝送損失が小さく信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】ポリマー915を含有する層910を形成する第1の工程と、層910に活性放射線930を照射し、ポリマー915中の化学構造の一部を切断し、屈折率を低下させることにより、層910中に屈折率分布を形成する第2の工程と、を有する。ここで、第2の工程において、活性放射線930の積算光量が徐々に変化するように、開口9351の形状が異なる複数枚のマスク935を順次介して活性放射線930を照射する。これにより、グレーテッドインデックス型の屈折率分布が形成される。 (もっと読む)


【課題】グレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路を効率よく低コストで製造可能な光導波路の製造方法、伝送損失が小さく信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】ポリマー915を含有する層910を形成する第1の工程と、層910に活性放射線のビーム930を照射し、ポリマー915中の化学構造の一部を変化させ、屈折率を低下させることにより、層910中に屈折率分布を形成する第2の工程と、を有する。ここで、第2の工程において、ビーム930の焦点を層910の厚さ方向に沿って往復移動させつつ、かつ、ビーム930を層910の面方向に沿って相対的に移動(面内移動)させつつ、ビーム930を照射する。これにより、焦点近傍とそれ以外の領域での積算光量の差に基づき、グレーテッドインデックス型の屈折率分布が形成される。 (もっと読む)


【課題】透明性、リフロー耐熱性、及び熱安定性に優れ、高精度な厚膜形成とアルカリ現像が可能であり、しかも生産性の高い光導波路形成用樹脂フィルムに特に有用な光導波路形成用樹脂組成物、該光導波路形成用樹脂組成物を用いた光導波路形成用樹脂フィルム、及び透明性、リフロー耐熱性、熱安定性、環境信頼性に優れた光導波路を提供すること。
【解決手段】(A)カルボキシル基を有するポリマー、(B)(メタ)アクリレート、(C)光ラジカル重合開始剤、及び(D)フェノール系酸化防止剤を含む光導波路形成用樹脂組成物、該光導波路形成用樹脂組成物を用いた光導波路形成用樹脂フィルム、及び下部クラッド層、コア部、上部クラッド層の少なくとも1つを該光導波路形成用樹脂組成物、又は該光導波路形成用樹脂フィルムを用いて形成した光導波路である。 (もっと読む)


【課題】如何なる偏光状態も縮退させるために所望の偏光を与える光学微小光共振器を提供する。
【解決手段】光学微小光共振器は、微小円筒42及び微小円筒上の共振導波管48として形成され、光源導波管50からの光を微小円筒上に光学的に結合するための円周リッジ41のような複数の離間した共振素子とを有する。共振素子は、所望の偏光を与え、且つ、偏光状態を縮退させる間隔、高さ、及び、角度を有する。共振導波管を覆って塗膜40a,41aも形成可能であり、塗膜は共振導波管と協働可能であり、如何なる偏光状態も縮退させる屈折率である。 (もっと読む)


【課題】光伝送性能を損なうことなく、コア層とクラッド層の密着力を向上させた光導波路を提供すること。
【解決手段】光導波路1は、コア部21と前記コア部21より屈折率の低いクラッド部22とを有するコア層2と、前記コア層2を挟んで配置される2つのクラッド層3、4とを備え、前記コア層2と前記2つのクラッド層3、4の少なくとも一方との間に厚さが1から100nmの薄膜層5を含む。薄膜層5はコア部21よりも屈折率の高い材料からなるものであることが好ましい。薄膜層5は、コア層2とクラッド層3、4の密着力を向上させ、層間剥離を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】伝送損失およびパルス信号の鈍りが小さく、信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路1は、コア層13を有する。コア層13は、少なくとも2つのクラッド部15と、2つのクラッド部15に隣接して設けられ、クラッド部15の平均屈折率より平均屈折率が高く、かつ屈折率が中心部からクラッド部15に向かって低くなっており、光を伝送するコア部14とを備え、ポリイミド系ポリマーと、このポリイミド系ポリマーと屈折率が異なるモノマーとを含む層に対して活性放射線を照射して、照射領域内において、モノマーの反応を進行させることにより、未照射領域から、未反応のモノマーを照射領域に拡散させ、結果として、照射領域と未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、照射領域および未照射領域のいずれか一方をコア部14とし、他方をクラッド部15としてなる。 (もっと読む)


【課題】伝送損失およびパルス信号の鈍りが小さく、信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路1は、コア層13を有する。コア層13は、少なくとも2つのクラッド部15と、2つのクラッド部15に隣接して設けられ、クラッド部15の平均屈折率より平均屈折率が高く、かつ屈折率が中心部からクラッド部15に向かって低くなっており、光を伝送するコア部14とを備え、フッ素系ポリマーと、このフッ素系ポリマーと屈折率が異なるモノマーとを含む層に対して活性放射線を照射して、照射領域内において、モノマーの反応を進行させることにより、未照射領域から、未反応のモノマーを照射領域に拡散させ、結果として、照射領域と未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、照射領域および未照射領域のいずれか一方をコア部14とし、他方をクラッド部15としてなる。 (もっと読む)


【課題】伝送損失およびパルス信号の鈍りが小さく、信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路1は、コア層13を有する。コア層13は、少なくとも2つのクラッド部15と、2つのクラッド部15に隣接して設けられ、クラッド部15の平均屈折率より平均屈折率が高く、かつ屈折率が中心部からクラッド部15に向かって低くなっており、光を伝送するコア部14とを備え、(メタ)アクリル系ポリマーと、この(メタ)アクリル系ポリマーと屈折率が異なるモノマーとを含む層に対して活性放射線を照射して、照射領域内において、モノマーの反応を進行させることにより、未照射領域から、未反応のモノマーを照射領域に拡散させ、結果として、照射領域と未照射領域との間に屈折率差を生じさせることにより、照射領域および未照射領域のいずれか一方をコア部14とし他方をクラッド部15としてなる。 (もっと読む)


【課題】製造効率の高い光電気複合配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板11上に形成された第1クラッド層12の表面に、コア部13を形成して、積層体を形成するコア部形成工程と、光を反射させるための傾斜面15aを、コア部13に形成する傾斜面形成工程と、積層体の、コア部13が形成された側の表面のうち、少なくとも傾斜面15a上及び電気回路を形成する箇所に金属層16を形成する金属層形成工程と、傾斜面15a上及び電気回路を形成する箇所に金属層16を残存させるように、金属層16を除去することによって、電気回路16bの形成と同時に、傾斜面15a上に金属層からなるミラー部16aを形成する金属層除去工程と、第1クラッド層12上に形成されたコア部13を埋設するように第2クラッド層17を形成するクラッド層形成工程とを備える光導波路の製造方法を用いる。 (もっと読む)


【課題】高速駆動が可能であり、駆動電圧のより一層の低減が可能な光制御素子を提供する。
【解決手段】電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板1と、薄板1に形成された光導波路52、53と、光導波路52、53を伝播する光を制御するための光制御部を複数有する光制御素子において、光制御部の少なくとも一部には、光導波路52、53に電界を印加するための制御電極が、第1電極と第2電極とから構成される。第1電極は信号電極33、34と接地電極61、62とを有すると共に、第2電極は少なくとも接地電極63を有し、第1電極の信号電極33、34と協働して光導波路52、53に電界を印加するように構成される。複数の光制御部の間は、コプレーナ型線路、コプレーナ型線路と裏面に配置された接地電極、又はマイクロストリップラインのいずれかで構成される制御信号配線で接続し、光と電気信号の到達時間がほぼ同じになるように設定する。 (もっと読む)


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