【課題】広い領域で電場振幅分布がほぼ一様なテラヘルツ波を効率良く発生できるテラヘルツ波発生装置を提供する。
【解決手段】第１の電磁波Ｌ_１を射出する電磁波源１と、第１の電磁波Ｌ_１の照射により第２の電磁波Ｌ_２を発生する非線形光学結晶６と、第１の電磁波Ｌ_１を非線形光学結晶６に照射する光学系(2,3,4,5)と、を備え、第２の電磁波Ｌ_２は、パルス状のテラヘルツ波であり、第１の電磁波Ｌ_１は、テラヘルツ波よりも波長が短いパルス状の電磁波であり、光学系(2,3,4,5)は、非線形光学結晶６内で非線形光学効果によって第２の電磁波Ｌ_２を発生するための位相整合条件を満たすように、非線形光学結晶６内で第１の電磁波Ｌ_１のパルスフロントを傾斜させるように構成され、非線形光学結晶６は、第２の電磁波Ｌ_２の射出方向に対する厚さがほぼ均一な平行平板形状からなる。 （もっと読む）

【課題】大きなエネルギーを持ったレーザを出力することなく且つ高精度に温度チューニングを行う。
【解決手段】温度チューニング中は、まず、第二高調波発生素子（４）の温度を最適温度近傍から外した温度にした状態で第三高調波発生素子（５）の温度をスイープして第三高調波発生素子（５）の最適温度Ｔｔｐを求める。次に、第三高調波発生素子（５）の温度を最適温度近傍から外した温度にした状態で第二高調波発生素子（４）の温度をスイープして第二高調波発生素子（４）の最適温度Ｔｓｐを求める。
【効果】温度チューニング中に大きなエネルギーのレーザがレーザ照射対象物などに不要に照射されてしまうことがなくなる。温度チューニング中の出力の変化範囲を大きくすることが出来るため、精度の高い温度チューニングを行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波発生器やテラヘルツ波検出器等のテラヘルツ帯デバイスにおいて優れた特性を発揮できるテラヘルツ帯デバイス用ＺｎＴｅ薄膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】テラヘルツ帯デバイス用ＺｎＴｅ薄膜において、気相成長法によって基板上に気相成長され、厚さが５〜１０μｍであり、厚さのばらつきの範囲が厚さの１０％以内である。
また、テラヘルツ帯デバイス用ＺｎＴｅ薄膜の製造方法において、基板上にＺｎＴｅ下地層を１０〜２００オングストロームの厚さで形成する工程と、前記ＺｎＴｅ下地層上にＺｎＴｅ層を５〜１０μｍの厚さで気相成長させる工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】疑似位相整合型の波長変換光学素子におけるフォトリフラクティブ効果を抑制し得る手法を提供し、同効果に起因した問題を解決可能なレーザ装置等を提供する。
【解決手段】レーザ装置ＬＳは、レーザ光を出力するレーザ光出力部１と、レーザ光出力部から出力されたレーザ光を波長変換して出力する波長変換部３とを備える。波長変換部３には、波長λのレーザ光を波長λ／２のレーザ光に波長変換する疑似位相整合型の波長変換光学素子３１を備え、この波長変換光学素子３１の入射面及び出射面の少なくともいずれかに、波長がλ〜λ／ｎ（ｎ≧３）の光の反射率を低減する反射率低減コーティングが施されて構成される。 （もっと読む）

【課題】出力光の吸収による位相不整合を低減して波長変換効率を向上可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明を例示する態様のレーザ装置は、第１のレーザ光Ｌ₁₀を出力する第１レーザ光出力部１０と、第１のレーザ光を波長変換して変換光Ｌ₃₀を出力する波長変換光学素子３０と、第１のレーザ光と異なる波長の第２のレーザ光Ｌ₂₀を出力する第２レーザ光出力部２０と、第２のレーザ光Ｌ₂₀を第１のレーザ光Ｌ₁₀と重ね合わせて波長変換光学素子３０に入射させる合成光学素子３１とを備える。第２のレーザ光Ｌ₂₀は、波長変換光学素子３０における第２のレーザ光Ｌ₂₀の吸収によって発生する熱量が、波長変換光学素子における変換光Ｌ₃₀の吸収によって発生する熱量と略等しくなるように設定される。 （もっと読む）

【課題】出力光のパワー制御を安定的に行うことができるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、波長が紫外領域のＵＶレーザ光を出力するＵＶ光出力部Ｉと、波長が可視〜赤外領域のＶＩＲレーザ光を出力するＶＩＲ光出力部II,IIIと、ＵＶ光出力部Ｉから出力されたＵＶレーザ光とＶＩＲ光出力部から出力されたＶＩＲレーザ光とから、波長変換により波長がＵＶレーザ光よりも短いＤＵＶレーザ光を発生して出力するＤＵＶ光変換部IVと、ＵＶ光出力部及びＶＩＲ光出力部の作動を制御する制御部８とを備える。制御部８は、ＤＵＶレーザ光のパワーを変化させるときに、ＵＶレーザ光のパワーを略一定とし、ＶＩＲレーザ光のパワーを変化させる制御を行うように構成される。 （もっと読む）

【課題】複数段のファイバ光増幅器を備えたレーザ装置において、ファイバ光増幅器の励起を下流側から停止させ、意図しない発振に基づく機器の損傷を抑制する。
【解決手段】レーザ装置は、信号光を出力する信号光出力部１０と、複数のファイバ光増幅器２１〜２３を有し信号光を順次増幅して増幅光を出力する増幅部２０とを備える。ファイバ光増幅器２１〜２３は、各々増幅用ファイバ(添え字ａ)と、励起光源(添え字ｂ)と、励起光源により発生された励起光を増幅用ファイバに伝送する伝送用ファイバ(添え字ｃ)とを備える。ファイバ光増幅器２１〜２３は、各段の伝送用ファイバのファイバ長を上流側からＬ₁，Ｌ₂，Ｌ₃としたときに、Ｌ₁＞Ｌ₂＞Ｌ₃となるように構成される。 （もっと読む）

【課題】耐光強度マップ等の作成に多大な工数を要することなく、波長変換光学素子を効率的に利用可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置ＬＳは、基本波レーザ光Ｌａを出力するレーザ光出力部１と、基本波レーザ光を波長変換して変換光Ｌｖを出力する波長変換部３とを備える。波長変換部３には、波長変換光学素子から放射される光の状態変化を検出することにより、波長変換光学素子のビーム伝播領域で損傷が発生したことを検出して検出信号を出力する損傷検出装置６０（７０）が備えられて構成される。 （もっと読む）

【課題】形成が容易であって、高い波長変換効率が実現される波長変換素子及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】周期的分極反転構造が形成された強誘電体結晶基板10に被波長変換光及び波長変換光を導波するリッジ型光導波路14が強誘電体結晶の主表面10aを含んで形成されている。このリッジ型光導波路14の幅Wは、被波長変換光に対して高次伝播モードカットオフ条件を満たす寸法に形成されている。そして、このリッジ型光導波路のリッジ部分14hにはZnが拡散されている。リッジ型光導波路は、強誘電体結晶基板の主表面10aに、被波長変換光及び波長変換光が伝播する方向に沿って平行な2本の溝16-1及び16-2を穿つことによって形成される。 （もっと読む）

【課題】頻繁に結晶シフトを行うことなく、従来よりも高いパワー領域において安定的に紫外レーザ光を出力可能な紫外レーザ装置を提供する。
【解決手段】紫外レーザ装置ＬＳは、基本波レーザ光Ｌａを出力するレーザ光出力部１と、基本波レーザ光を紫外レーザ光Ｌｖに波長変換して出力する波長変換部３と、各部の作動を制御する制御部８とを備え、制御部８が基本波レーザ光の出力を制御することにより紫外レーザ光の出力を制御可能に構成される。制御部８には、基本波レーザ光の出力に応じて時間の経過とともに変化する波長変換光学素子の位相整合条件を予め設定記憶する位相整合条件記憶回路を有し、制御部８が基本波レーザ光の出力及び経過時間に応じた位相整合条件を読み出して波長変換光学素子３５，３６の角度位置を調整し、波長変換光学素子が紫外レーザ光の出力パワーに合致した位相整合状態で動作するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 周波数変化に伴う、２つのポンプ光間の交叉角度の制御も不要で、テラヘルツ波の出力側に複雑な光学系を設けることなく、簡単な装置構成で、周波数可変のテラヘルツ帯の電磁波を発生することの可能な電磁波発生装置を提供する。
【解決手段】第１のポンプ光を出射する第１のポンプ光出射部２４と、第１のポンプ光とは異なる波長の第２のポンプ光を、波長可変で出射する第２のポンプ光出射部２５と、周期的な分極反転構造を有し、第１のポンプ光と第２のポンプ光との差周波数の電磁波を生成する擬似位相整合素子１９と、第１のポンプ光と第２のポンプ光との交叉角を位相整合範囲角に調整して固定し、第１のポンプ光及び第２のポンプ光を擬似位相整合素子１９に入射させる光学系（Ｍ₆，１８）とを備え、第２のポンプ光の周波数を変えることにより、擬似位相整合素子１９から可変波長のテラヘルツ電磁波を発生させる。 （もっと読む）

【課題】現実の光ファイバの劣化に即して交換寿命を報知し、経済性と安定作動の確保とを両立可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明の態様は、ファイバ光増幅器２２３を有するレーザ光出力部と、波長変換光学素子３４を有する波長変換部とを備えたレーザ装置である。レーザ装置ＬＳは、ファイバ光増幅器２２３の励起光のパワーを検出して第１検出信号Ｐａを出力する励起光検出器６１と、波長変換光学素子に入射させるべき偏光方向の光の強度等を検出して第２検出信号Ｐｂを出力するｓ偏光検出器６２と、ファイバ光増幅器２２３の作動状態を判断するＦＡ判断部６８とを備える。ＦＡ判断部６８は、第１検出信号Ｐａの変化量に対する第２検出信号Ｐｂの変化量（ｄＰｂ）／（ｄＰａ）が寿命基準値以下になったときに、寿命判定信号を出力するように構成される。 （もっと読む）

【課題】現実の光ファイバの劣化に即して交換寿命を報知し、経済性と安定作動の確保とを両立可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明の態様は、ファイバ光増幅器２２３を有するレーザ光出力部と、波長変換光学素子３４を有する波長変換部とを備えたレーザ装置である。レーザ装置ＬＳは、ファイバ光増幅器２２３の励起光のパワーを検出して第１検出信号Ｐａを出力する励起光検出器５１と、波長変換光学素子３４により波長変換された光のパワーを検出して第２検出信号Ｐｂを出力する第２高調波検出器５３と、ファイバ光増幅器２２３の作動状態を判断するＦＡ判断部５８とを備える。ＦＡ判断部５８は、第１検出信号Ｐａの変化量に対する第２検出信号Ｐｂの変化量（ｄＰｂ）／（ｄＰａ）が寿命基準値以下になったときに、寿命判定信号を出力するように構成される。 （もっと読む）

【課題】多くの環境ガスにおいて最も吸収が強くなる波長４μｍ帯の中赤外領域にて発光する光源を実現する。
【解決手段】第１の励起光を発生する第１のレーザと、第２の励起光を発生する第２のレーザと、前記第１の励起光と前記第２の励起光とを入力し、差周波発生により変換光を出力する非線形光学結晶からなる波長変換素子とを含む中赤外光源において、前記第１のレーザは、波長０．９７μｍから１．０４μｍの間の波長範囲で前記第１の励起光の波長を可変することができ、前記第２のレーザは、波長を１．２５μｍから１．３６μｍの間の任意の波長の前記第２の励起光を出力し、前記波長変換素子は、波長３．５μｍから５．８μｍの間の中赤外光を変換光として出力する。 （もっと読む）

【課題】１つの光学結晶で異なる分光特性のテラヘルツ波を発生することができる光学結晶、及びテラヘルツ波発生装置を提供する。
【解決手段】光学結晶１０は、ＤＡＳＴ結晶１０ａとＤＡＳＣ結晶１０ｂとをａ軸を一致させて貼り合わせて構成されている。この光学結晶１０に、励起光をＤＡＳＣ結晶１０ｂ側から入射するとＤＡＳＴ結晶１０ａに起因するテラヘルツ波が発生し、励起光をＤＡＳＴ結晶１０ｂ側から入射するとＤＡＳＣ結晶１０ｂに起因するテラヘルツ波が発生する。光学結晶１０へ入射する励起光の入射方向を切り替えることで、１つの光学結晶１０で異なる分光特性のテラヘルツ波を発生することができる。 （もっと読む）

【課題】簡明な構成で、異なる波長の光を任意に選択して出力可能な出力波長選択型のレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明は、波長変換部に複数の波長変換光学素子を有し、レーザ光出力部から出力された基本波レーザ光を波長変換して出力するレーザ装置である。そのうえで、複数の波長変換光学素子を透過して出射される複数波長の多成分光を個々の波長の光に分光するプリズム５１と、プリズム５１を回動させる回動ステージ５５と、回動ステージ５５の作動を制御するステージ制御部８０とを備え、ステージ制御部８０は、選択された波長の光が出力ポート３ｐから出力されるように回動ステージ５５の作動を制御する。 （もっと読む）

【課題】分極反転核を均一で高密度に生成することで、分極反転領域の寸法を制御し易い光波長変換素子の製造方法およびその製造装置を提供する。
【解決手段】強誘電体結晶基板の裏側面に裏面電極を形成する裏面電極形成工程３００と、前記強誘電体結晶基板の表側面に微細ラインパターンを有する微細電極を形成する微細電極形成工程３０１と、前記強誘電体結晶基板の前記表側面をエッチングして前記微細ラインパターン部分に溝を形成するエッチング工程３０２と、前記裏面電極と前記微細電極との間に電圧を印加する第１分極反転工程３０３と、前記微細電極を除去する微細電極除去工程３０４と、複数の前記溝を覆うように周期的な複数の周期電極を形成する周期電極形成工程３０５と、前記裏面電極と前記周期電極との間に前記第１分極反転工程の電圧とは逆極性の電圧を印加する第２分極反転工程３０６とを備える光波長変換素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】複数の波長変換処理を組み合わせて行う際、また波長変換処理と光変調処理とを組み合わせて行う際に、これらの組み合わせ処理を安定的に、かつ高い効率で行うことができる優れた光学性能を有する光学デバイス、当該光学デバイスを用いて所望波長のレーザ光を安定して発生するレーザ装置、および当該光学デバイスを用いて所望波長の光を被露光面に照射して露光する露光装置を提供する。
【解決手段】強誘電体基板３１では、波長変換部３１５と出射面３１１ｂとの間に空間光変調部３５が設けられ、波長変換部３１５から出力されるレーザ光を変調するとともに特定波長の０次光のみが基板に導光されてＬＳＩデータに対応するパターンが描画される。また、単一の強誘電体基板３１内で波長変換部３１４、３１５とともに空間光変調部３５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】２００ｎｍ程度以下の波長域の連続光を高い変換効率で安定して発振することができる小型のレーザ光発生装置を提供する。
【解決手段】第１のレーザ光発生器１０および第２のレーザ光発生器１１から出力される波長λ₁ の光および波長λ₂ の光がそれぞれ第１の共振器１３および第２の共振器１４に投入され、第１の共振器１３と第２の共振器１４の両方に含まれる非線形光学素子１５においてこれら２つの入射光の和周波混合により波長λ₃ の光が発生する。このとき、波長λ₁ ，λ₂ ，λ₃ の光は、互いに空間的に分離した状態で非線形光学素子１５に入射・出射され、互いに異なる光路を有する。波長λ₁ ，λ₂ の光は、非線形光学素子１５の内部で光軸が完全に一致しないよう設定され、少なくとも一方の入射角または出射角をブリュースター角とすると、更に反射損が低減できる。 （もっと読む）

【課題】混在している赤外線レーザ光と微弱なテラヘルツ波から赤外線レーザ光を除去して、テラヘルツ波を高効率に取り出す。
【解決手段】テラヘルツ波濾波材の赤外線レーザ光入射側表面に、赤外線レーザ光の波長程度の粗さの赤外光散乱層を形成したテラヘルツ波濾波器を備える。 （もっと読む）