【課題】 金属フッ化物エキシマ光学素子の表面形成を改良する。
【解決手段】 本発明は、２５０ｎｍ未満の光学リソグラフィ、特に２００ｎｍ未満のリソグラフィにおいて用いるのに適した改良コーティングされた金属フッ化物単結晶の光学素子に関する。本発明のコーティングされた素子は、リソグラフィ法において用いられるレーザ光源をはじめとするレンズ、窓、プリズムおよび他の素子であってもよい。本発明はまた、成形された光学素子が研磨されるときに形成される準ビールビー層を除去する方法に関する。コーティング前に準ビールビー層を除去することは、コーティングされたレンズの耐久性および光学的透過特性を向上する結果となる。コーティング材料は、２５０ｎｍ未満の電磁放射線の透過を妨げない任意の材料であってもよい。フッ素ドープ二酸化ケイ素が、好ましいコーティング材料である。 （もっと読む）

【課題】 広い入射角度に対して優れた反射防止特性を有すると共に、偏光による反射率の差を低減して、優れた光学性能を達成可能な反射防止膜、当該反射防止膜を有する光学系、露光装置、並びに、デバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 基板上に施され、光の反射を防止する反射防止膜であって、前記基板側から順に、前記基板より屈折率の低い第１の層と、前記基板より屈折率の高い第２の層と、前記基板より屈折率の低い第３の層とを有し、前記光の波長λ_０に対して、前記第１の層の光学的膜厚ｄ１、前記第２の層の光学的膜厚ｄ２及び前記第３の層の光学的膜厚ｄ３が、１．０２λ_０≦ｄ１≦１．０７５λ_０、｛（−２．６０７８×ｄ１／λ_０＋２．９９８４）−０．０２｝×λ_０≦ｄ２≦｛（−２．６０７８×ｄ１／λ_０＋２．９９８４）＋０．０２｝×λ_０、及び、｛（−１．３００７×ｄ１／λ_０−１．０９０６）−０．０２｝×λ_０≦ｄ３≦｛（−１．３００７×ｄ１／λ_０−１．０９０６）＋０．０２｝×λ_０、を満足することを特徴とする反射防止膜を提供する。 （もっと読む）

【課題】 無機微粒子が高濃度で、かつ分散安定性に優れた反射防止膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる反射防止膜形成用組成物は、表面が、分岐構造を有するポリシロキサンで被覆されている無機微粒子、および多官能性（メタ）アクリル化合物を含有する。 （もっと読む）

【課題】様々な入射角度の光線に対して優れた反射防止効果を示し、かつフレアやゴースト等の光学系に対する悪影響を低減することのできる反射防止膜を提供すること。
【解決手段】この反射防止膜は、基材表面に形成された少なくとも８層からなる所定波長の光に対する反射防止膜であって、基材表面から順に第１層、第３層、第５層、及び第７層が所定波長に対して基材の屈折率より屈折率の高い高屈折率材料で構成され、基材表面から順に第２層、第４層、第６層、及び第８層が基材の所定波長に対する屈折率より屈折率の低い低屈折率材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】
偏光依存性を低減し、良好な分光特性を有するエッジフィルタを提供すること。
【解決手段】
本発明にかかるエッジフィルタは、光学基板１上に少なくとも２種類の屈折率が異なる光学薄膜を交互に積層してなるエッジフィルタ膜４を有し、エッジフィルタ膜４に入射する第１の波長帯域の波長を有する信号光を透過し、エッジフィルタ膜４に入射する第２の波長帯域の波長を有する信号光を反射し、第１の波長帯域と第２の波長帯域が予め定められた分離幅を有するエッジフィルタであり、さらに、Ｓ偏光の分光特性とＰ偏光の分光特性との乖離幅が、上述の分離幅以下になるように前記多層膜に対する前記信号光の入射角を定めたものである。 （もっと読む）

本発明は、実質的に均一な厚さの及び一般に平行な、連続した隣接層が屈折率で異なる非常に薄い層の光学効果熱可塑性樹脂ラミネ−トフィルムに関する。該フィルムは連続した隣接層に平行であるが、連続した隣接層と異なってフィルムの光学的または物理的性質に変化を与える内部層を含む。 （もっと読む）

【課題】可視域の波長より微細な周期で、断面が波型をなすレジストパターンを用いても、下層の被エッチング膜に同じ周期をも持たせ、しかも、アスペクト比が高くてエッチング形状が矩形を成す微細構造を有する光学素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】可視域の波長より微細な周期で、断面が波型を成すレジストパターンの下層に金属膜或は金属化合膜を少なくとも１層形成した構成において、金属膜或は金属化合膜をスパッッタリングし、波型を成すレジストパターンの側壁面に該金属膜或は金属化合膜を形成し、これをマスクとして下層の被エッチング膜をドライエッチングする。 （もっと読む）

【課題】可視光域で高い反射率を有し、耐湿性や耐塩水性等の耐久性に優れ、かつ入射角依存性が特に小さい（光の入射角によって反射率が変動しにくい）高反射鏡の提供。
【解決手段】基板上に、銀膜、低屈折率膜、高屈折率膜がこの順で積層された高反射鏡であって、前記銀膜の基板と反対側には密着改善膜が形成され、かつ前記密着改善膜が酸化亜鉛膜であり、前記酸化亜鉛膜は他の金属を含み、前記他の金属はガリウム、スズおよびチタンからなる群から選ばれる１種以上であり、前記密着改善膜はシリコンを含むことを特徴とする高反射鏡。 （もっと読む）

昇華性の蒸発材料を蒸着する真空蒸着において、噴射用開口１４を配しかつ内面からの放射熱により該蒸発材料を蒸気化する領域を有する気体密封型加熱容器１１と、蒸発材料を加熱容器１１からの伝導熱によっては蒸発しない領域に保持させる保持部１５とを備え、発生する蒸気を噴射用開口１４から容器外部の蒸着対象面に向けて噴射させるようにする。
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【課題】光学コーティングの腐食・傷耐性バリアを提供すること。
【解決手段】酸化可能な金属珪素化合物又は金属アルミニウム化合物を、光学コーティングの外層の１つとして使用する。この層は、未酸化又は一部酸化状態で付着され、この化学状態で、下の層を腐食から保護する。該金属化合物又は合金の層は、大多数の金属を超える硬さを有し、それにより傷からの保護を提供する。
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本発明はガラスからできているタイプの透明基板に関する。本発明の基板は、ケイ素またはアルミニウムまたはこの２つの混合物の［窒化物、炭窒化物、酸窒化物または酸炭窒化物］をベースとする少なくとも１つの層Ｃを上に配設した被覆層と共に含む被膜を含んでなる。本発明は、この被覆層が酸化物ベースの機械的保護層であり、この酸化物が場合によっては化学量論以下または化学量論以上の酸素含量を有し、および／または場合によっては窒化物であることを特徴とする。本発明を使用して、多層または合わせグレージングを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 長期に亘って安定した分光特性を有するＮＤフィルターを提供することを目的とする。また、多数の濃度または連続的に変化する減衰率を有する薄膜型ＮＤフィルターを容易に且つ一体化して供給可能とするＮＤフィルターの構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る薄膜型ＮＤフィルターは、光透過性の基板上に１層以上の透明誘電体膜と低級金属窒化膜とが積層形成されてなることを特徴とする。また、本発明に係る他の薄膜型ＮＤフィルター６１は、光透過性の基板６２上に１層以上の透明誘電体膜６３ａ，６３ｂ，６３ｃと光吸収膜６４ａ，６４ｂとが積層形成されてなる薄膜型ＮＤフィルターであって、上記透明誘電体膜６３ａ，６３ｂ，６３ｃは同一膜内において略等しい膜厚を有し、上記光吸収膜６４ａ，６４ｂは同一膜内において異なる膜厚を有することを特徴とする。 （もっと読む）