本発明は、基板表面、特に光学素子上の円錐形のナノ構造、その製造方法、および、特に光学装置、太陽電池およびセンサにおけるその使用に関する。本発明に係る円錐形のナノ構造は、特に、非常に低い光反射性を有する基板表面を準備するために好適である。基板表面上に円錐形のナノ構造を作る本発明に係る方法は、少なくとも以下の工程を有する：ａ）ナノ粒子で被覆された基板表面を準備し、ｂ）ナノ粒子で被覆された前記基板表面を少なくとも１００ｎｍの深さまでエッチングし、ここで前記ナノ粒子はエッチングマスクとして作用し、前記ナノ粒子の下方に双曲面構造が生じるようにエッチングパラメータを設定し、ｃ）機械的な力を加えることによって前記双曲面構造を最小の直径の領域において破壊し、ここで前記基板表面に残る構造が一層の双曲面の実質的に半分に対応する円錐形の形状を有する。 （もっと読む）

本開示は、３００ｎｍ未満のレーザ系において使用するための、種々の種類の基板に適用可能な薄膜に関する。この薄膜（５７）は、選択された材料から成るブロッキング層（５４）と、１〜７層の選択された材料から成るマッチング構造（５６）とで構成される。ブロッキング層は、３００ｎｍ未満のレーザ光を、基板（５２）をホルダに接合するために使用される接着剤（６０）へと透過させないように、あるいはその透過を最小限に抑えるようにする役割を果たす。マッチング層は、ブロッキング層（５４）から基板（５２）へと戻る３００ｎｍ未満のレーザ光の内部反射率を最小にする。
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【課題】屋外を含む過酷な環境下においても、反射防止膜とベースシートの密着性の低下を防止して、長期にわたり安定した反射防止性能を発揮することが期待できる反射防止シートの提供を目的とする。
【解決手段】紫外線硬化型アクリル樹脂からなるベースシート２の片面に、反射防止膜として、厚み１ｎｍ超１０ｎｍ未満の第一層（Ｓｉ−Ｓｎ合金層）３、オルガノポリシロキサンからなる第二層（低屈折率層）４を順次積層して反射防止シート１を構成する。第二層４はオルガノシロキサンを加水分解して調整されたゾルをウェットコート法により塗布した後、加熱硬化して形成する。 （もっと読む）

【課題】金属・金属酸化物の酸化による光減衰膜の分光特性の変化を抑制することにより、分光特性を安定させたＮＤフィルタを得る。
【解決手段】透明基板２１上に、第１、３、５、７、９層として誘電体層のＡｌ₂Ｏ₃膜２２、第２、４、６、８、１０層として光吸収層のＴｉ_xＯ_y膜２３とを交互に積層した光減衰膜を設け、第１０層のＴｉ_xＯ_y膜２３上に、第１１層として水蒸気バリア層として機能するＳｉ₃Ｎ₄膜２４を積層し、更に最表層に反射防止膜であるＭｇＦ₂膜２５を成膜し、計１２層から成るＮＤ膜２６を形成している。Ｓｉ₃Ｎ₄膜２４により水蒸気等の浸入を防止し、光吸収層のＴｉ_xＯ_y膜２３の劣化を防止する。 （もっと読む）

【課題】 金属フッ化物エキシマ光学素子の表面形成を改良する。
【解決手段】 ２５０ｎｍ未満の電磁放射線を用いる光学リソグラフィシステムにおいて用いるのに適した、コーティングされたアルカリ土類金属フッ化物単結晶の光学素子は、電磁放射線が入射および出射する素子の表面上に選択されたコーティング材料を有する成形された金属フッ化物単結晶を具備し、かつ０．１〜０．４ｎｍの範囲の表面粗さを有する。コーティングが、そのコーティング材料を施す前に多結晶のＣａＦ_２準ビールビー層が除去された表面上にあり、コーティング材料は、最終研磨前に、そのコーティング材料の下にある、準ビールビー層が除去されたアルカリ土類金属フッ化物単結晶の上面粗さを複製する。 （もっと読む）

【課題】膜強度が強く、ハードコート性、透明性、帯電防止性に優れ、かつ耐熱性、耐湿熱性、耐光性に優れた帯電防止層を備えた光学フィルム及び反射防止フィルム、これを用いた偏光板、並びに画像表示装置を提供すること。
【解決手段】透明支持体上に少なくとも以下に示す（Ａ）〜（Ｄ）を含有する組成物を硬化させてなる帯電防止層を少なくとも１層有する光学フィルム。
（Ａ）導電性ポリマー
（Ｂ）重合性基を二つ以上有する多官能モノマー
（Ｃ）特定の化合物
（Ｄ）光重合開始剤 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子の受光部以外の箇所に被膜される遮光用金属膜上に設けられる反射防止膜において、近赤外領域の光に対する反射防止効果を向上させる。
【解決手段】反射防止膜１は、遮光用金属膜３の上層にある位相反転用絶縁層４と、この位相反転用絶縁層４の上層にある表層金属層５と、表層金属層５の上層にある保護膜層６と、を備える。また、位相反転用絶縁層４は、その屈折率をｎ、対象波長の波長をλとしたときに、略λ／４ｎとなる膜厚に成膜され、表層金属層５は、シート抵抗が略１００〜４５０Ω／□となる膜厚に成膜される。この構成によれば、遮光用金属膜３の表面に入射した光の一部を、位相反転用絶縁層４の表面と遮光用金属膜３の表面との間で、位相反転させながら繰り返し再反射させて消衰させることにより、高い反射防止効果を実現できる。 （もっと読む）

【課題】反射防止膜などの機能膜の樹脂成形部に対する密着性を向上させたまま保持しつつ、耐光性を向上させる。
【解決手段】脂環式構造を有する樹脂から構成した樹脂成形部５０に対し反射防止膜６０を形成した光学素子の製造方法が開示されている。当該製造方法では、樹脂成形部５０に対し、Ｏ_２ガスを導入しながら、蒸着処理により第１のＳｉＯｘ層６２（１≦ｘ≦２）を形成する工程と、Ｏ_２ガス，Ｎ_２ガスを導入しながら、蒸着処理により第２のＳｉＮｙＯｚ層６４（ｙ≧ｚ，０＜ｙ≦４／３，０≦ｚ≦１）を形成する工程と、屈折率が１．４９未満の低屈折率材料で第３の層６６を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガラスに成膜した場合と同等の熱線遮蔽性や、防汚性を有する熱線遮蔽フィルムを提供する。
【解決手段】合成樹脂フィルム１上に、熱線反射膜３を有してなり、前記熱線反射膜３上に、高密度金属酸化物膜及び／又は高密度金属窒化物膜を有してなる熱線遮蔽フィルムとする。また、前記熱線反射膜３が、高密度銀薄膜である熱線遮蔽フィルムとする。さらに、合成樹脂フィルム１上に、誘電体膜２（Ａ）、前記熱線反射膜３、誘電体膜２（Ｂ）を有してなり、誘電体膜２（Ｂ）上に、前記高密度金属酸化物膜及び／又は高密度金属窒化物膜を有してなる熱線遮蔽フィルムとする。 （もっと読む）

【課題】微細凹凸構造が安定化し耐久性に優れた酸化物層付き光学部材、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学部材は、基材２１と、該基材表面に反射防止膜を有し、前記反射防止膜は少なくとも、表面に酸化アルミニウムの結晶による微細凹凸構造が形成された金属酸化物層を有し、前記金属酸化物層はアモルファス層２３を含み、前記金属酸化物層の少なくとも表面はリン酸アルミニウム２５となっている。また、前記微細凹凸構造の高さが０．１μｍ以上５μｍ以下である。あるいは前記酸化アルミニウムの結晶は、ベーマイトである。 （もっと読む）

【課題】塗液の水分混入が発生しやすい開放系の塗工方式において反射防止フィルムを製造する際、溶剤に親水性溶剤を用いても、ハジキ欠陥、色ムラの発生を抑えた反射防止フィルムを製造することができる方法を提供すること。
【解決手段】低屈折率層形成用塗液にモレキュラーシーブを脱水剤として使用する。開放系の塗工による塗液の水分吸収をモレキュラーシーブが抑制する。このため、ハジキ欠陥、色ムラの発生を防止して、高品質の反射防止フィルムを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】高屈折性の易接着層を持つＰＥＴフィルムに、導電性を持つ、透過率が高い高屈折性ハードコート層を形成し、その上に低屈折性コート層を形成して、擦傷性、耐アルカリ性に優れた２層法による反射防止フィルムを提供する。
【解決手段】高屈折性の易接着層を持つＰＥＴフィルムに、アンチモン酸亜鉛、酸化スズ等の高屈折性の微粒子を含有する樹脂からなる導電性高屈折樹脂層を第一層とし、第二層に紫外線硬化性の低屈折樹脂をコーティングして低温で乾燥したの後ＵＶ硬化する反射防止フィルム。 （もっと読む）

紫外線（ＵＶ）波長またはディープＵＶ波長で光を取り込むためのセンサは、多層反射防止膜（ＡＲＣ）を含む。２層ＡＲＣでは、第１の層が、基板または回路層のどちらかの上に形成され、第２の層が、第１の層の上に形成され、入射光ビームとして光を受光する。特に、第１の層の厚さは第２の層の少なくとも２倍であり、それによってＡＲＣでの電荷トラップに起因する基板表面での電場を最小限に抑える。４層ＡＲＣでは、第３の層が第２の層の上に形成され、第４の層が第３の層の上に形成される。 （もっと読む）

【課題】ＣＶＤ法を用いる場合に問題となる電極やチャンバー壁面の汚染によるアーキング等のロングランの安定性、大面積化、ロール・ツー・ロール化の困難さを解決し、酸素バリア性および水蒸気バリア性に優れた、ガスバリア性積層体を生産する成膜装置を提供する。
【解決手段】減圧下の成膜チャンバー内に、基材を搬送する機構と、電極に電圧を印加することでプラズマ化した成膜ガスを該基材表面に噴出させる成膜手段とを少なくとも具備する成膜装置で、該電極は、成膜ガスをプラズマ化する内部空間１８と、該内部空間１８へ成膜ガスを導入するガス導入路１７と、該内部空間１８から該基材表面へプラズマ化した成膜ガスを噴出させる穴部１５とを少なくとも具備し、該電極は、一対で成膜チャンバー内に設置され、該一対の電極は、電気的に接続され、カソード又はアノードに交互に切り替わる。 （もっと読む）

ナノ構造化物品は、マトリックス及びナノスケールの分散相を含む。このナノ構造化物品は、ランダムなナノ構造化異方性表面を有する。
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【課題】シート抵抗の低い反射防止層を備えた光学物品を提供する。
【解決手段】プラスチックレンズ基材１と、このレンズ基材１の上にハードコート層２を介して形成された透光性の反射防止層３とを有し、反射防止層３の１つの層３２上にゲルマニウムを含む透光性の導電層３３が形成されているレンズ１０を提供する。このレンズサンプルのシート抵抗値を１２乗程度あるいはそれ以下に低下させることが可能であり、ごみの付着を防止するのに十分な帯電防止機能を備えた光学物品を提供できる。 （もっと読む）

【課題】樹脂フィルムを基板とした低反射性と耐環境性に優れた吸収型多層膜ＮＤフィルターとその製造方法を提供する。
【解決手段】この吸収型多層膜ＮＤフィルターは、樹脂フィルム基板の少なくとも片面に誘電体膜層と吸収膜層とを交互に積層させて成る吸収型多層膜を具備し、吸収膜層が金属膜で構成され、誘電体膜層がＳｉＯｘ（但しｘは２未満）で構成されると共に、最表面側の誘電体膜層上にＭｇＦ_２膜層が積層され、更に、上記誘電体膜層はＳｉＣおよびＳｉを主成分とする成膜材料を用いた物理気相成長法により成膜された波長５５０ｎｍにおける消衰係数が０．００５〜０．０５のＳｉＯｘ（１．５＜ｘ＜２）膜により構成され、上記吸収膜層は物理気相成長法により成膜された波長５５０ｎｍにおける屈折率が１．５〜３．０かつ消衰係数が１．５〜４．０の金属膜により構成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】汎用材料であるメチルトリメトキシシランとグリシドキシアルキルトリアルコキシシランとを用いて、低屈折率で基材との密着性の高いハードコートを施すことができるハードコーティング剤を提供する。
【解決手段】メチルトリメトキシシラン化合物およびグリシドキシアルキルトリアルコキシシランを加水分解縮合して得られるポリシラノール組成物とアルミニウム系硬化触媒とを含み、総Ｓｉ原子に占める上記メチルトリメトキシシラン化合物由来のＳｉ原子の割合が５０％以上であり、得られるコーティング膜の屈折率が１．４５以下であるハードコーティング剤およびそれから得られるハードコート。 （もっと読む）

本発明は、赤外線又は太陽放射線反射特性を有し、特に銀又は銀含有金属合金から製造された、金属機能性層（４０）と、２つの反射防止コーティング（２０、６０）とを含む薄膜積重体を主要面に備えたガラス基材（１０）であり、該コーティングはそれぞれ少なくとも２つの誘電層（２２、２４、２６；６２、６４、６６）を含んでいて、該機能性層（４０）が両方の反射防止コーティング（２０、６０）の間に配置されているガラス基材であって、各反射防止コーティング（２０、６０）が機能性層（４０）と接触又は近接した、すなわち機能性層（４０）から１０ｎｍ以内に、少なくとも１つの高屈折率誘電層（２４、６４）を含むことを特徴とするガラス基材（１０）に関する。
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【課題】 プレス成形によって形成された光学素子において、表面にヤケやクモリなどの発生を抑え、かつ、波長帯域特性・入射角度特性にも優れた反射防止性能を実現した光学素子を提供する。
【解決手段】 プレス成形法によって形成されており、非球面の光学面を有する光学素子１であって、該光学面の光線有効部２ｂには、該光学素子の基材とは異なる成分を含み平均ピッチが４００ｎｍ以下の微細凹凸構造を有する反射防止構造体４が形成されている。 （もっと読む）