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Fターム[3B116AA04]の内容

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Fターム[3B116AA04]に分類される特許

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【課題】マイクロ波の損失を極力低減し、高密度プラズマを効率良く生成できるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置100は、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生装置21と、マイクロ波発生装置21に接続され、マイクロ波の伝送方向に長尺をなすとともに、該伝送方向に直交する方向の断面が矩形をした中空状の矩形導波管22と、矩形導波管22に接続されてその内部へ処理ガスを供給するガス供給装置23と、矩形導波管22の一部分であって、内部で生成したプラズマを外部で放出するアンテナ部40とを備えている。アンテナ部40は、その断面において短辺をなす壁40aに1又は複数のスロット孔41を有しており、大気圧状態の矩形導波管22内に供給された処理ガスをマイクロ波によってプラズマ化し、スロット孔41から外部の被処理体へ向けて放出する。 (もっと読む)


【課題】製作コストが比較的に安く済み、コンパクト化も容易な除塵装置を提供する。
【解決手段】回転操作される帯電ローラ12と、除塵の対象物Pと帯電ローラ12とを、同帯電ローラ12が対象物Pと対向した状態で相対移動させる搬送機構3とを備え、帯電ローラ12が、同帯電ローラ12と帯電傾向の異なる補助部材14との摩擦によって帯電されるように構成した。 (もっと読む)


【課題】有機溶剤を含んだ二酸化炭素を超臨界状態の洗浄剤として、この洗浄剤を洗浄チャンバー内に配された被洗浄物に接触させることにより、前記被洗浄物の洗浄を行う洗浄方法及び洗浄装置において、洗浄時間の短縮化を図ること。
【解決手段】界面活性剤と有機溶剤と超臨界状態の二酸化炭素を混合し、混合流体を被洗浄物に接触させて洗浄する洗浄方法において、前記混合を管内混合手段で行い、該管内混合手段の直後に被洗浄物を配置するとともに、前記混合流体においての重量割合は、二酸化炭素に占める有機溶剤の重量割合を20%以下とし、かつ界面活性剤の重量比率を有機溶剤と略同重量としたことを特徴とする洗浄方法及び洗浄装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】ロール部に吸収された液体を、迅速、且つ均一に吸引してロールの外部に排出すると共に、ロールの回転バランスが保持され、長期間に亘って、被洗浄面から均一に液体を除去、搾取、洗浄することができる耐久性に優れたロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】ロールはロール部及び台座を有し、台座は開口部が形成された本体部、及び本体部の両端に連接される継ぎ手部A及び継ぎ手部Bを有し、継ぎ手部A及び継ぎ手部Bは中空部が形成され、中空部は開口部と連通されてあり、本体部と継ぎ手部A及び継ぎ手部Bの接合部の近傍は、開口部の開口面積が、本体部の略中央部の開口面積より小となるよう徐変部が形成され、本体部の外周には流体導入溝部が形成されてあり、流体導入溝部には開口部に連通する孔部が開設されてあると共に、ロール部が形成され、ロール部は不織布からなる概円環状の複数のロール片が積層されている。 (もっと読む)


【課題】ロール部に吸収された液体を、迅速、且つ均一に吸引してロールの外部に排出すると共に、ロールの回転バランスが保持され、長期間に亘って、被洗浄面から均一に液体を除去、搾取、洗浄することができる耐久性に優れたロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】ロールはロール部及び台座を有し、台座は開口部が形成された本体部、及び本体部の両端に連接される継ぎ手部A及び継ぎ手部Bを有し、継ぎ手部A及び継ぎ手部Bは中空部が形成され、中空部は開口部と連通されてあり、本体部の外周には開口部に連通する孔部が開設されてあると共に、ロール部が形成され、ロール部は不織布からなる概円環状の複数のロール片が積層されると共に、内周に切欠き部が設けられたロール片を有し、切欠き部が本体部の長手方向に連なることにより複数の流体導入溝部が形成され、孔部のロール部側に流体導入溝部が位置するものである。 (もっと読む)


【課題】長期間に亘って、被洗浄面に付着した液体を確実に除去、搾取、洗浄することができるロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を、コストを抑えて安価にて提供する。
【解決手段】ロール1はロール部2及び台座3を有し、前記台座3は開口部10が形成された本体部7、及び前記本体部7の両端に連接される継ぎ手部A8及び継ぎ手部B9を有し、前記継ぎ手部A8及び/又は前記継ぎ手部B9は中空部11が形成され、前記中空部11は前記開口部10と連通されてあり、前記本体部7の外周には不織布からなる前記ロール部2が形成されてあると共に、流体拡散溝部13が形成されてあり、前記流体拡散溝部13には前記開口部10に連通する孔部14が形成されてあるものである。 (もっと読む)


【課題】微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。 (もっと読む)


【課題】被処理物の処理スピードを高め、しかもランプハウスへの白粉の付着によって処理ムラ等が発生することを防止できる紫外光洗浄装置を提供する。
【解決手段】ランプハウス30には、紫外線ランプ32群全体を四周から囲んで下面側を開放させた開放ハウジング33が設けられている。開放ハウジング33の天井部には、例えばステンレス板に1〜3mmの孔を多数形成した多孔のガス拡散板35を配置してあり、ここから清浄な窒素ガス(不活性ガス)を供給して、紫外線ランプ32の周囲からワークWの紫外線照射空間Xにかけて全体が窒素で満たされ、酸素がほとんど存在しない不活性ガス雰囲気に維持される。 (もっと読む)


【課題】高い処理能力を備えることができ、処理ガスの使用量を削減できるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置は、被処理基材の搬入口および搬出口を有する筐体と、前記筐体内に設けられプラズマを発生させて前記被処理基材を処理するプラズマ処理部と、前記搬入口とプラズマ処理部とを接続する搬入路と、プラズマ処理部と前記搬出口とを接続する搬出路と、前記被処理基材を前記搬入路と搬出路を通って搬送する搬送部と、前記搬入路および搬出路の少なくとも一方に吸引口が露出しプラズマ処理部から気体を吸引する吸引部と、プラズマ処理部に設けられ前記被処理基材の搬送方向に沿って配列された複数対の対向電極と、プラズマ処理部に設けられ処理ガスを各対向電極間へ供給する処理ガス吹き出し部と、処理ガス吹き出し部の処理ガス供給量を設定する設定部とを備え、前記設定部は前記吸引口に近い処理ガス吹き出し部ほど処理ガス供給量が少なくなるように処理ガス供給量を設定する。 (もっと読む)


【課題】被洗浄面にたいするグリップ力が高く、且つ被洗浄面からの液体除去性能に優れたロールを提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状からなる被洗浄面に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体の除去、搾取、洗浄、前記被洗浄面にたいする張力の付与、あるいは前記被洗浄面を搬送する為のロール1において、前記ロール1はロール部2及び台座3を有し、前記ロール部2は前記台座3の外周に形成されてあると共に、不織布からなり、外周に線状及び/又は斑点状の窪み部7a、7bが形成されてあるものである。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、紙葉類処理装置における紙葉類の搬送路上、特に給紙部及び検査部で飛散する紙葉類の異物を除去するための機構に関するものである。
【解決手段】 一定枚数に積層された紙葉類から1枚ずつ取り出す給紙手段を備えた給紙部と、その給紙部にて取り出した紙葉類の検査を行う光学式センサを備えた検査部を少なくとも有する紙葉類処理装置において、少なくとも一つの圧縮空気噴出手段と、それに対応するように異物吸引手段を備えたことを特徴とする紙葉類処理装置である。 (もっと読む)


【課題】 スポンジ板を搬送している間にスポンジ板の搬送姿勢を前縁が搬送方向に対して直角な方向になるように正すことができるスポンジ板洗い機を提供する。
【解決手段】 正逆回転可能な供給側絞りローラ対6と、正逆回転可能な排出側絞りローラ対7と、供給側絞りローラ対と排出側絞りローラ対の間に位置する正逆回転可能な送りローラ対8とを備え、供給側絞りローラ対6と排出側絞りローラ対7の距離をスポンジ板5の搬送方向長さより大きくし、供給側絞りローラ対6と送りローラ対8間及び排出側絞りローラ対7と送りローラ対8間の距離を夫々スポンジ板5の搬送方向長さより小さくし、送りローラ対8の上下ローラ間の間隙をスポンジ板5の厚みより僅かに小さくしてある。 (もっと読む)


【課題】被着体に対して十分な粘着力を有し、耐熱性に優れ、特に、引き剥がす際に被着体に粘着剤残りを生じることなく簡単に剥離する事が可能な、粘着テープを提供する。
【解決手段】本発明の粘着テープは、粘着剤組成物と該粘着剤組成物中に分散した親油性の層状粘土鉱物を含む粘着剤層を基材シート上に有し、該層状粘土鉱物が該基材シートに対して実質的に垂直方向に配列している。 (もっと読む)


【課題】自己粘着性を有する紙粉除去シートであって、シートに付着した紙粉は水洗等により容易に剥離でき、しかも自己粘着性を有する素材製であるため繰り返しかつ半恒久的に使用することができる上記シートを提供する。
【解決手段】シリコン樹脂90〜95重量%、二酸化ケイ素1〜5重量%、カーボン3〜7重量%を含む樹脂組成物を成型加工してなる、自己粘着性を有する紙粉除去シート。シリコン樹脂は下記一般式で表される。


(R1〜R3は炭素数1〜5のアルキル基、R4は末端にビニル基を有する炭素数0〜10のアルキレン基、mおよびnはm:n=4:1〜1:4を充足する正の整数である。) (もっと読む)


【課題】大気圧下での多湿放電から発生する水酸基ラジカルを積極的に利用することで、高速処理が可能でかつ、環境にやさしい大気圧放電表面処理方法およびその装置を提供する。
【解決手段】大気圧程度または大気圧より少し高い圧力雰囲気下で放電プラズマを発生させ、高分子材料基板の表面を処理する大気圧放電表面処理方法において、高分子材料基板を接地電極上に載置し、対向電極を有する放電電極部を前記接地電極に対向して設け、高分子材料基板の周囲に湿分含有ガスを供給し、高分子材料基板を取り囲む空間を多湿雰囲気とし、前記多湿雰囲気下で前記対向電極と前記接地電極との間に放電を生じさせ、前記多湿雰囲気中に含まれるH2Oから水酸基ラジカル(・OH)を生成させ、生成した水酸基ラジカル(・OH)を高分子材料基板に作用させて高分子材料基板の表面を処理する。 (もっと読む)


【課題】 摩擦によって発生するゴミの量を従来より減らすことによって、従来より洗浄性能を向上することができる表面洗浄装置を提供する。
【解決手段】 表面洗浄装置は、板状の対象物であるプリント基板90の表面90bに付着しているゴミ92を吸着する粘着ラバーロール21、26と、プリント基板90を粘着ラバーロール21、26に対して移動させる丸ベルト79と、丸ベルト79が架けられたプーリであって丸ベルト79のうち粘着ラバーロール21、26から押される部分である押圧部79a、79bを支持するプーリ76、77とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 製造コストを従来より下げることができる表面洗浄装置を提供する。
【解決手段】 表面洗浄装置は、板状の対象物であるプリント基板90の表面90bに付着しているゴミ92を吸着する粘着ラバーロール21、26と、プリント基板90を粘着ラバーロール21、26に対して移動させる丸ベルト79と、丸ベルト79が架けられたプーリであって粘着ラバーロール21、26との接触によって駆動されるプーリ76、77とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】フィルタによるパーティクルの捕捉性能を十分に引き出す。
【解決手段】高圧配管26に設けられたフィルタFFを通過するSCCOの温度を温度調節部TC1により処理温度T1より高い濾過温度T2に上昇させる。そして、温度調節部TC2によりSCCOの温度を処理温度T1に低下させて処理チャンバーに供給する。 (もっと読む)


【課題】微細プローブ(微細ピンセット)を用いて被処理物からパーティクルを除去した後のパーティクルを保持した微細プローブ洗浄を効率よく確実に行う。
【解決手段】微細プローブ2のパーティクルを保持した部分2Aのみを、微細口10から洗浄処理部9に挿入し、洗浄処理部9の洗浄液あるいはエアロゾルによって、微細プローブ2からパーティクルを除去する。 (もっと読む)


【課題】 被加工物の表面及び加工孔の内部の物質を確実に除去することができる被加工物のクリーニング方法及びクリーニング装置、並びにプリント配線板の信頼性を向上させることができるプリント配線板の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】 クリーニング装置100においては、貫通孔3が形成されたプリプレグシート1が搬送機構17で搬送されている。このとき、圧縮空気発生装置12で圧縮された空気が、空気清浄用フィルタ18及び空気イオン化装置20を介して、渦流発生装置を有するブロー噴射部7の吹出し口7bから、イオン化された清浄な渦流空気流として噴射され、吹出し口7bを形成する壁部7aの内壁面7c上を経由して外端部7dからプリプレグシート1に吹き付けられる。これにより、プリプレグシート1の表面及び貫通孔3の内部の物質を確実に除去することができる。 (もっと読む)


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