【課題】洗浄設備を短時間で十分に洗浄することができる設備洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】超純水ライン２から超純水を配管３、５，８、半導体洗浄機１０、配管１５、循環水槽１７に流した後、循環水槽１７内の水を循環ポンプ２０、配管２１を介して循環させ、薬液槽１１〜１３から薬液を添加する。主要な配管や、薬液槽１１〜１３、循環水槽１７、カラム３０，３３、フィルタ６等はケーシング５０内に設置されてユニット化されている。 （もっと読む）

【課題】複数の伝熱プレートを備えたプレート式触媒層反応器の、隣り合う２枚の伝熱プレートに挟まれた空間に充填された使用済みの触媒を抜き出した後に、伝熱プレートをプレート式触媒層反応器に固定した状態で、触媒が接触していた側の伝熱プレート表面を効率よく清掃する方法を提供すること。
【解決手段】複数の伝熱プレートを備えたプレート式触媒層反応器の、隣り合う２枚の伝熱プレートに挟まれた空間に充填された使用済みの触媒を抜き出した後に、伝熱プレートをプレート式触媒層反応器に固定した状態で、突起を備えた治具を用いて触媒が接触していた側の伝熱プレート表面を清掃することを特徴とする、プレート式触媒層反応器の伝熱プレートの清掃方法。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で安価にタッチパネル式機器の表示画面をクリーニングする。
【解決手段】表示画面（２１）上に設けられ接触の位置と接触の有無を検出するタッチパネル式機器（２０）のクリーニング装置（１０）であって、長辺又は短辺に前記タッチパネル式機器を挿入する挿入口（１１ｃ）を有するケース（１１）と、前記ケースの挿入口付近に設けられ、前記タッチパネル式機器の挿入動作で前記表示画面を清掃する清掃部材（１２）と、前記ケース内に設けられ、挿入された前記タッチパネル式機器の表示画面に殺菌光を照射する殺菌灯（１３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】位相欠陥と表面異物とを識別できるＥＵＶマスク検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＥＵＶマスク検査装置は、ＥＵＶ光を出射するＥＵＶ光源１００ａと、ＥＵＶ光を伝播する第１多層膜楕円面鏡１０３ａ、第２多層膜楕円面鏡１０３ｂ、落とし込みＥＵＶミラー１０５を含む光学系と、ＥＵＶ光の光軸と同軸に導入され、光学系で伝播される紫外光を出射するＡｒＦエキシマレーザ１００ｄとを備える。紫外光は、ＥＵＶ光の光軸上に挿入された振り込みミラー１１３により反射され、ＥＵＶ光と同軸に導入される。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄面に打痕傷や細かな傷を付けることが無く、高い洗浄性が発揮される各種洗浄ブラシ、各種清掃ブラシに使用されるブラシ用毛材を安価に提供する。
【解決手段】 ブラシ用毛材１は、基部６と、中間部７と、先端部８とから構成されている。また、基部６及び中間部７は、熱可塑性樹脂で構成された複数本の概柱形状からなるモノフィラメント糸２、２、・・が溶融接合された接合部を有して集束されたセミマルチフィラメント糸４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】固定治具に固定される洗浄対象物に対して、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを吹き付け、前記対象物の表面を洗浄する。前記ドライエアーは、露点が、−６０°ないし−８０°である。前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍである。前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状、あるいは長方形である。前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍで、長さが１ｍｍないし５ｍｍ、より好ましくは、長さが１ｍｍないし５ｍｍである。前記対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。 （もっと読む）

【課題】装置全体を大型化することなくチャックテーブルの保持面を洗浄するチャックテーブル洗浄機構を装備した研削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル洗浄機構８は、搬入・搬出領域６０ｅに位置付けられたチャックテーブル４の保持面に対して垂直な回転軸に装着されチャックテーブル４の保持面に当接して保持面を平坦化する平坦化工具と、搬入・搬出領域６０ｅに位置付けられたチャックテーブル４の保持面に洗浄水を供給する洗浄水噴射ノズルと、平坦化工具および洗浄水噴射ノズルをチャックテーブル４の保持面に対して垂直な方向に移動して洗浄位置と退避位置に位置付ける洗浄位置付け手段と、平坦化工具の下側において平坦化工具から滴下する水滴を受ける水滴受け位置と平坦化工具の洗浄位置への移動を許容する退避位置へ位置付け可能に構成された水滴受け手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】スケールの溶解率を高めることができるとともに、スケールの溶解時間を短縮することができ、スケールの除去効率を向上させることができる酸によるスケールの洗浄方法を提供する。
【解決手段】酸によるスケールの洗浄方法は、機器又は配管の内壁面に付着したスケールに洗浄剤としての酸を作用させて発泡させながらスケールの洗浄を行うにあたり、該洗浄を減圧状態で行うものである。前記洗浄剤の酸は無機酸又は有機酸であり、無機酸としては塩酸、スルファミン酸等が挙げられ、有機酸としてはクエン酸、グリコール酸等が挙げられる。減圧状態における圧力は０．００１〜０．０９ＭＰａであることが好ましい。また、洗浄時における洗浄液のｐＨは５以下であることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】タイルやガラス等に傷をつけることがなく、消しゴムで字を消す如く、手軽に汚れを除去することができる、タイル及びガラスの汚れ除去用消しゴム状クリーナーを提供する。
【解決手段】スチレン系エラストマー５〜８５重量％と、モース硬度が２．０〜４．０の研磨剤９５〜１５重量％を混練し成形してなることを特徴とする、タイル及びガラスの汚れ除去用消しゴム状クリーナーである。 （もっと読む）

【課題】再結合器からのセラミック触媒の取り出しに要する時間を短縮できるセラミック触媒吸引装置を提供する。
【解決手段】セラミック触媒吸引装置１は、先端部の外面に目盛りを付した吸引ノズル２、ペール缶１３及びコンプレッサ１７を有する。ペール缶１３は、上端部に、フィルタ１４及び監視カメラ１５を設けた蓋１６を取り付けている。蓋１６に接続されてペール缶１３内と連通する吸引ホース２１が、吸引ノズル２に接続されている。監視カメラ１１が吸引ノズル２の先端部に取り付けられる。吸引ノズル２を再結合器３０の排ガス入口３１に取り付ける固定具５が吸引ノズル２に取り付けられる。蓋１６の上面に設置されたサイレンサー１８に接続されたエアホース２２がコンプレッサ１７に接続される。レギュレータ１９がエアホース２２に設けられる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で測定値に影響を与えることなく、洗浄時に砂や結晶等の固形物がセンサに衝突するのを防いで、その破損を防止することができる水質検出器の洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄部１４の内部に配置された第１のエア流路１５と、第１のエア流路１５に連通する第２のエア流路１６と、第１のエア流路１５と第２のエア流路１６の連接部位近傍に連通する第３のエア流路１７と、第２のエア流路１６に連通してセンサ１３の方向に開口された洗浄エア噴出口１８と、第３のエア流路１７に連通する異物排出口１９とを具備する洗浄装置とする。 （もっと読む）

【課題】プラント用機器内の清掃をその高さ位置にかかわらず安全にかつ容易に行うことが可能な清掃方法を提供する。
【解決手段】この方法は、点検口１３が設けられた側壁１２を有するプラント用機器１０の内側面に付着した異物１８の除去に適用されるものであり、前記点検口１３から清掃用工具２０を挿入してその先端部２６を異物１８に突き当てることにより当該異物１８に機械エネルギーを与えてこれを除去することと、清掃用工具２０の長手方向の中間部分に索状体４８を接続し、この索状体４８を介して清掃用工具２０に上向きの弾性力を与えることにより、異物１８の除去中に清掃用工具２０の上下方向の動きを許容しながら当該清掃用工具２０の自重に起因する下向きの力を低減させることと、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で測定値に影響を与えることなく、洗浄時に砂や結晶等の固形物がセンサに衝突するのを防いで、その破損を防止することができる水質検出器の洗浄装置を提供する。
【解決手段】センサホルダ１１の下端部に連結された保護筒１２と、保護筒１２に固着されている洗浄部１４と、洗浄部１４の内部に配置されたエア流路１５と、エア流路１５と連通して保護筒１２の内周面に配置された洗浄エア噴出口１６とを具備する洗浄装置とする。 （もっと読む）

【課題】使用者の誤使用や装置の誤動作に伴う非正常事象を回避することができるプラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。 （もっと読む）

【課題】
この発明は、廃液が生ぜず、しかもフィンへのダメージが生じないドライアイスを使用した洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、液化二酸化炭素を断熱膨張させてドライアイス粒子を含む二酸化炭素を生成させ、エアコンプレッサーからの圧縮空気又は高圧ボンベからのキャリアガスを導入してリング状の噴流を形成させ、前記ドライアイス粒子を含む二酸化炭素を前記リング状の噴流を通過させて、ドライアイスの粉末を形成させ、ライアイスの粉末を含むガス噴流を被洗浄物に噴霧することによって、洗浄により生じた汚物は、排気ホースから除去することによって、廃液が生ぜず、フィンへのダメージも生じないようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】視聴者の映像コンテンツの視聴を妨げないようにすることが可能な投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】プロジェクタ１は、映像を表示するための光学部品を収納する筐体１０と、筐体１０の内部へ流入しようとする塵埃を捕捉するエアフィルタ３２と、エアフィルタ３２を掃除するフィルタ掃除機構４とを備えている。そして、プロジェクタ１は、フィルタ掃除機構４を制御する制御部５３を備え、制御部５３が、人の存在を検出する人感センサ６１により出力された検出結果に基づいて、フィルタ掃除機構４を制御する。 （もっと読む）

【課題】複数の清掃吸引部の吸引力が不足することを回避して、複数の清掃対象箇所の清掃を適切に行える天井搬送設備の清掃装置を提供する。
【解決手段】搬送用台車の走行ガイド部Ｌが天井側に設けられ、走行ガイド部Ｌに沿って走行自在な清掃用台車Ｗに、走行ガイド部Ｌにおける複数の清掃対象箇所に対して吸引作用する複数の清掃用吸引部Ｋと、それら複数の清掃用吸引部Ｋに連通接続された吸引式掃除機Ｇとが設けられ、複数の清掃用吸引部Ｋが、複数の作用単位に区分けされ、それら複数の作用単位の夫々と吸引式掃除機Ｇとの連通を選択的に断続する断続手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄に好適な洗浄ノズル、洗浄装置、及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明は、内部が洗浄水の圧送通路とされ、該圧送通路内に通路絞り部２９を設けて圧送される洗浄水にキャビテーション気泡を発生させて先端開口部から噴出させる洗浄ノズル８であって、圧送通路内には、前記キャビテーション気泡が発生する領域においてガスを供給するガス供給部材５１が備えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 回転機構を持たない基板処理装置であっても、基板と接触する部位を清掃することができる基板処理装置の清掃装置を提供する。
【解決手段】 清掃装置２は、処理されるウエハＷと同じ外形のベース４００と、ベース４００の下面の周縁部に下向きに植設された清掃具であるブラシ４０２と、ブラシ４０２を動かす駆動源の振動発生装置４０４とからなり、ハンド１１上で清掃装置２の振動発生装置４０４が振動してブラシ４０２が振動し、ハンド１１のウエハ支持部材８１の支持面８６ａを清掃する。 （もっと読む）